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喷墨头装置制造方法及图纸
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文档序号:1025291
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本发明所要解决的技术问题是,在一种使用具有多个喷嘴的喷墨头,将材料涂布在基板上的多个位置的装置中,测量从头安装时的目标位置开始的偏差,通过有效且高精度的修正,成品率高地制造制品基板。本发明中,通过在多个设置于装置上的喷墨头中,以中央的头为基...
该专利属于株式会社日立工业设备技术所有,仅供学习研究参考,未经过株式会社日立工业设备技术授权不得商用。
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