一种弛豫铁电单晶热释电红外探测器及其制备方法技术

本发明专利技术提供一种弛豫铁电单晶热释电红外探测器及其制备方法，该探测器包括：设有引脚的底座；与所述底座封装在一起以形成容纳空间的带有窗口的壳体；设置于所述容纳空间中的灵敏元件，所述灵敏元件由弛豫铁电单晶制成，且其厚度在20μm以下；分别设置于所述灵敏元件的上表面和所述灵敏元件的下表面的上电极和下电极；覆盖于所述灵敏元件的上电极的吸收层；以及与所述灵敏元件相连的电流模式电路。本发明专利技术的探测器可具备高响应率、低噪声和高探测率。

【技术实现步骤摘要】
【专利摘要】本专利技术提供，该探测器包括：设有引脚的底座；与所述底座封装在一起以形成容纳空间的带有窗口的壳体；设置于所述容纳空间中的灵敏元件，所述灵敏元件由弛豫铁电单晶制成，且其厚度在20μm以下；分别设置于所述灵敏元件的上表面和所述灵敏元件的下表面的上电极和下电极；覆盖于所述灵敏元件的上电极的吸收层；以及与所述灵敏元件相连的电流模式电路。本专利技术的探测器可具备高响应率、低噪声和高探测率。【专利说明】
本专利技术属于红外
，具体地，涉及一种热释电红外探测器及其制备方法。
技术介绍
当今世界各国竞相发展红外探测和成像技术，其应用遍及军事、航天、科研、医疗、工业等众多领域。红外探测器主要分为光子型红外探测器和热型红外探测器两大类。目前常见的光子型红外探测器主要采用以碲镉汞为代表的窄禁带半导体材料和以砷化镓为代表的光电子半导体材料。但半导体红外器件一般需要低温致冷工作，体积大、成本高、功耗大。而利用材料热释电效应研制的热释电红外探测器由于其在紫外波段、可见波段、红外波段具有平坦的光谱响应，同时具有无需致冷、功耗低、噪声带宽小、结构紧凑、便于携带、成本低等优点，已经成为本文档来自技高网...

【技术保护点】
一种热释电红外探测器，其特征在于，包括：设有引脚的底座；与所述底座封装在一起以形成容纳空间的带有窗口的壳体；设置于所述容纳空间中的灵敏元件，所述灵敏元件由弛豫铁电单晶制成，且其厚度在20μm以下；分别设置于所述灵敏元件的上表面和所述灵敏元件的下表面的上电极和下电极；覆盖于所述灵敏元件的上表面的吸收层；以及与所述灵敏元件相连的电流模式电路。

【技术特征摘要】

【专利技术属性】
技术研发人员：罗豪甦，李龙，赵祥永，许晴，杨林荣，狄文宁，徐海清，王升，李晓兵，林迪，任博，焦杰，王西安，
申请(专利权)人：中国科学院上海硅酸盐研究所，
类型：发明
国别省市：上海;31