喷墨打印机打印头用驱动器制造技术

喷墨打印头用驱动器，将振动板和室内板用第一抗蚀膜来接合，在与室内板的第一抗蚀膜的接合面对应面形成与之一体的第二抗蚀膜，而提高了与形成流路的部件的接合力，提高了室内板的强度。其包括振动板；积层在振动板一表面的第一抗蚀膜；积层在第一抗蚀膜的振动板的积层面的对应面、其内含多个中间部比上下部往侧弯曲的液室的室内板；积层于室内板的第一抗蚀膜的积层面的对应面第二抗蚀膜。增加了室内板与其它板间的接合面，增强了接合力，提高了室内的强度。（*该技术在2019年保护过期，可自由使用*）

【技术实现步骤摘要】

本专利技术涉及一种驱动器，特别是涉及一种喷墨打印机打印头用驱动器。在其室内板的上下表面均形成硬质防止蚀刻膜，在室内板上形成的以其中部厚度小于上、下部的液室壁来分隔的液室，从而增加室内板强度以及与其它部件的接合强度。一般来说，喷墨打印机是一种将墨水以微滴状态喷射至纸张上的打印机。这种喷墨打印机决定其打印品质及性能的部份就是打印头，以前主要是利用墨水的电化或偏转方式，此时需要一高电压。然而，目前，打印机主要是利用待令喷墨方式。该待令喷墨方式是依指令将记录液喷射至纸张上，从而简化了打印方式。喷墨打印机里面的打印头随驱动部件的不同，其配置亦不相同。近来，打印头采用最多的材料是压电体材料，尤其采用氧化物压电体材料(参阅附图说明图1)。如图1所示，打印机打印头里依次设有以下层板喷嘴板100、储存板200、流路板300、限制板400、室内板500及振动板600，振动板600上设置有包括相隔一定距离的多个电极710和氧化物压电体720的微驱动器700。室内板500底部设置有喷嘴板100、储存板200、流路板300、限制板400它们均设有一通道，以便将墨水导入形成于室内板500上的液室或者将液室内墨水喷出到外部的流路。这些积层板根据需要例如根据制作者所选择的墨水，可省略一部份，形成多种结构的流路板。当以氧化物压电体作为驱动部件的打印头时，振动板和室内板的制造非常重要。为使打印机具备优良的性能，振动板与驱动部件间必须具备足够的机械强度，从而要求振动板的厚度更薄、更均匀。作为暂时储存墨水的室内板，必须具有充分的容量，使墨水流入或喷出时保持恒定状态。因此在制作打印头驱动器时，采用机械方式来加工室内板而形成液室，最近用电解沉积工艺将振动板和室内板形成一体，用蚀刻工艺形成室内板上的液室，以增加振动板的强度，同时形成多个所需形状及大小的液室，图2为图1所示打印头驱动器积成板的截面图。图中，由银Au或铂Pt材质构成的防止蚀刻膜830的对应面上各层叠有振动板810和室内板820，在室内板820上的防止蚀刻膜830的对应面上用照相平版印刷工艺和蚀刻工艺来形成液室。请参阅图3所示，在室内板820上以一定厚度均匀地涂敷光记录膜840后，再用面罩对光记录膜840，进行曝光、显象和冲洗形成如图4所示形状。经过该工艺成形后，光记录膜840曝光的部分的宽度通常比形成于室内板820上的液室的宽度小，室内板820的暴露部分通过蚀刻液进行浸渍，参见图5，然后开始慢慢蚀刻该室内板820形成液室。该蚀刻液利用其反应特性，快速对室内板进行蚀刻，直到遇到防止蚀刻膜为止。当对室内板820进行垂直方向蚀刻，直到遇到防止蚀刻膜830，其横向也有相同程度的蚀刻。然而当蚀刻以图5中虚线竖向渐渐扩散，直到遇到防止蚀刻膜830时，其横向与光记录膜840相连的部份比与防止蚀刻膜相连的部份受到更大程度的蚀刻，室内板820上形成的液室宽度从防止蚀刻膜830至光记录膜840方向渐渐增大。利用上述工艺来蚀刻室内板820，在室内板820里形成如图6所示形状的液室821，留在室内板820上的光记录膜840再经冲洗而被去除，然后在振动板810上与液室821同轴的垂直方向依次设置电极710和压电体720，由此制成打印头。这样形成的液室821是从防止蚀刻膜830的截面往其对应的断面渐渐增大其截面，而分隔液室的液室壁822的厚度则相应减小。液室壁822与防止蚀刻膜830接合的断面所对应的断面通常与形成墨水流路的流路板或者限制板相接合。于是，如果将与液室壁822的流路板或限制板接合的截面形成为比与防止蚀刻膜接合的截面更小，液室壁与流路板或者限制板的接合力比与防止蚀刻膜830的接合力低，结果降低了室内板820的强度，减小了接合力，具有不稳定接合液室821的缺点。还有，如果没有精确地控制形成液室821的蚀刻时间，则会使室内板与光记录膜接合部发生过度蚀刻，参阅图7所示，在光记录膜840的断开部会严重地变形，各液室821的形状变的不均等。为了在室内板800上制作出均等的液室形状，必须精确地控制蚀刻时间，然而用人力控制蚀刻结束时间非常困难。尤其是，这样的调整蚀刻时间之困难和液室形像的不均等则会引起液室中的墨水流出、流入性能上的偏差，还会引起打印头打印不稳定。本专利技术的主要目的在于克服上述
技术介绍
的问题和缺点，而提供一种打印头驱动器，其液室之间的液室壁的中间部位的厚度比上下部的厚度小，从而增大了室内板和其它部件间的接合力以增加室内板的强度。本专利技术的次一个目的在于提供一种打印头驱动器，其振动板和室内板由第一抗蚀膜接合，在室内板与第1蚀刻膜的接合面的对面经过照相平版印刷工艺形成与之一体的第二抗蚀膜，从而通过蚀刻工艺在第一、二防止蚀刻膜之间形成均等的液室。本专利技术的另一目的在于提供一种打印头驱动器，使形成液室的蚀刻工作更容易进行。本专利技术的目的是由以下技术方案实现的。依据本专利技术提出的喷墨打印机打印头用驱动器，其包括振动板；积累在此振动板的一面的第一抗蚀膜；积层在第一抗蚀膜上与振动板相对应面的室内板，板内设有多个由液室壁分隔的液室，液室的中部的宽度比上下部大；第二抗蚀膜，设置于室内板与第一抗蚀膜相对应的另一面，其中含有多个与液室同轴且其宽度小于液室的通孔。振动板，其具有薄膜结构及在纵向具有可挠性；第一抗蚀膜，其设置于振动板一表面并可防止振动板被蚀刻；室内板，其层压于第一抗蚀膜的表面上与振动板相对应，其内设有独立匀置的若干液室，并通过可挠的振动板导入或喷出墨；第二抗蚀膜，其设置于室内板与第一抗蚀膜相对的另一表面，其内含与液室在同一垂直线上的通孔，通孔截面小于液室截面，从而使第二抗蚀膜具有更大的接合面。本专利技术的目的还可以通过以下技术措施来进一步实现。前述的喷墨打印机打印头用驱动器，其中室内板的液室间通过一中间部比上、下部薄的液室壁来分隔。前述的喷墨打印机打印头用驱动器，其中第二抗蚀膜的厚度为0.1μm～10μm。前述的打印机打印头用驱动器，其中第二抗蚀膜上通孔的宽度(B)、室内板蚀刻深度(t)及蚀刻后形成的相应液室宽度(W)之间满足以下关系式B≤W-2t。本专利技术与现有技术相比具有明显的优点和积极效果。由以上技术方案可知，本专利技术本专利技术与利用机械加工来形成液室的方法相比，具有消除了各液室之间的差异，节省设备及材料费的优点。而与用限制蚀刻的方法相比，与使用光记录膜的方法相比，本专利技术在蚀刻结束后形成均等液室，增大了与限制板或流路板的接合面积，增大了其接合力和室内板的强度，同时达到改善喷墨打印头墨水喷出性能的功效。本专利技术由于在蚀刻室内板设有第一、二抗蚀膜30、40，蚀刻室内板可形成均等的液室，更可有利于大批量生产驱动器。本专利技术的具体结构由以下实施例及其附图详细给出。图1是一般喷墨打印头结构的断面图；图2是图1驱动器形成积层板的断面图；图3是图2室内板上接合光记录膜后的断面图；图4是把图3接合光记录膜曝光后的断面图；图5是在图4基础上形成液室而蚀刻室内板的断面图图6是经过图5工艺后在室内板形成液室的断面图；图7是用图5工艺蚀刻时变形后光记录膜的断面图；图8是按照本专利技术的喷墨打印头使用驱动器构成的断面图；图9是将图8所示驱动器的振动板、室内板和第二抗蚀膜积层成一体的断面图；图10是在图9的室内板上涂敷光记录膜后的断面图；图本文档来自技高网...

【技术保护点】
一种喷墨打印机打印头用驱动器，其特征在于其包括： 振动板：具有薄膜结构及在纵向具有可挠性； 第一抗蚀膜：其设置于振动板一表面并可防止振动板被蚀刻； 室内板：层压于第一抗蚀膜的表面上与振动板相对应，其内设有独立匀置的若干液室，并通过可挠的振动板导入或喷出墨水： 第二抗蚀膜，其设置于室内板与第一抗蚀膜相对的另一表面，其内含与液室在同一垂直线上的通孔，通孔截面小于液室截面，从而使第二抗蚀膜具有更大的接合面。

【技术特征摘要】
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【专利技术属性】
技术研发人员：金日，刘永锡，
申请(专利权)人：三星电子株式会社，
类型：发明
国别省市：KR[韩国]