一种LED衬底晶片倒角加工装置制造方法及图纸

本实用新型专利技术公开了一种LED衬底晶片倒角加工装置，包括装置本体(1)、机架(2)、金刚石砂轮(3)、筛选器(4)、刻刀(5)，装置本体(1)设置在机架(2)上，金刚石砂轮(3)通过筛选器(4)连接刻刀(5)，刻刀(5)安装在装置本体(1)内部。采用本装置可以有效的减少晶片应力集中造成塌边、崩边，并将原先最大塌边＞50um提高到塌边＜3um，使蓝宝石衬底晶片的质量提高的同时，降低了加工成本。（*该技术在2023年保护过期，可自由使用*）

【技术实现步骤摘要】
—种LED衬底晶片倒角加工装置
本技术涉及LED衬底的加工装置，尤其是蓝宝石衬底晶片的加工装置
。
技术介绍
蓝宝石是一种氧化铝单晶材料，具有非常高的硬度，是目前LED行业的普遍采用的衬底材料，用作氮化镓等外延生长的基质以生产蓝光等发光二极管，然而蓝宝石衬底晶片大部分依赖于国外进口砂轮倒角，加工成本高、效率低下，不利于我国LED行业发展，针对目前技术缺陷，专利技术设计了倒角砂轮新型技术工艺方法，解决了衬底片倒角工艺问题，提升衬底质量，实现高效的规模化生产，促成LED产业链的形成和壮大，对我国的经济发展和产业结构调整具有重要意义，不仅提高蓝宝石衬底晶片的质量，而且大大缩短制备周期，从而节约生产成本,又达到提高劳动生产率的目的。
技术实现思路
本技术在于解决衬底片倒角工艺问题，提升蓝宝石衬底晶片的质量，节约生产成本，提高生产效率。为解决上述技术问题，本技术采用如下所述的技术方案:一种LED衬底晶片倒角加工装置，包括装置本体(I)、机架(2)、金刚石砂轮(3)、筛选器(4)、刻刀(5)，所述的装置本体(I)设置在机架(2)上，金刚石砂轮(3)通过筛选器(4)连接刻刀(5)，刻刀(5)安装在装置本体(I)内部。所述的装置本体(I)上还设置有镀膜器(6)和烘干口(7)。所述的机架(2)下安装有方便移动、固定的双排滚轮(8)。本技术的有益技术效果在于:解决了
技术介绍
中存在的缺陷，使用金刚砂轮进行磨削蓝宝石衬底时，采用砂轮线固定，通过调节配重位置来均匀施加衬底片磨削进行给力，使衬底晶片不易出现塌边现象，将原先最大的塌边> 50um提高到塌边&lt; 3um,蓝宝石衬底晶片上的刻槽，可显著减少氮化镓晶体生长过程中因晶格不匹配而产生的应力，使得部分应力得到释放，大大提高了蓝宝石衬底晶片的成品率，镀膜材料与蓝宝石结合能很好的提高抗热冲击力、耐高温、透明，能抵挡固体粒子或是雨滴的冲蚀。【附图说明】图1是本技术的结构示意图。【具体实施方式】下面结合附图及实施案例对本技术作进一步的说明。如图所示，本技术公开的一种LED衬底晶片倒角加工装置，包括装置本体(I)、机架(2)、金刚石砂轮(3)、筛选器⑷、刻刀(5)，装置本体⑴设置在机架(2)上，金刚石砂轮⑶通过筛选器⑷连接刻刀(5)，刻刀(5)安装在装置本体(I)内部；装置本体(I)上还设置有镀膜器(6)和烘干口(7);机架(2)下安装有方便移动、固定的双排滚轮⑶。本技术一种LED衬底晶片倒角加工装置，有效的减少晶片应力集中造成塌边、崩边，并将原先最大塌边> 50um提高到塌边< 3um，使蓝宝石衬底晶片的质量提高的同时，降低了加工成本。本文档来自技高网...

【技术保护点】
一种LED衬底晶片倒角加工装置，包括装置本体(1)、机架(2)、金刚石砂轮(3)、筛选器(4)、刻刀(5)，其特征在于：所述的装置本体(1)设置在机架(2)上，金刚石砂轮(3)通过筛选器(4)连接刻刀(5)，刻刀(5)安装在装置本体(1)内部。

【技术特征摘要】
1.一种LED衬底晶片倒角加工装置，包括装置本体(I)、机架(2)、金刚石砂轮(3)、筛选器(4)、刻刀(5)，其特征在于:所述的装置本体(I)设置在机架(2)上，金刚石砂轮(3)通过筛选器⑷连接刻刀(5)，刻刀(5)安装在装置本体⑴内部。2....

【专利技术属性】
技术研发人员：潘相成，
申请(专利权)人：常州市好利莱光电科技有限公司，
类型：新型
国别省市：江苏;32