【技术实现步骤摘要】
【专利摘要】一种气液分离装置，具有：气液分离槽；气液导入管，其延伸到所述气液分离槽的内部，将气液二相流导入所述气液分离槽内；喷雾喷嘴，其将纯水喷雾到积存于所述气液分离槽的底部的液体；排放管，其与设在所述气液分离槽的底部上的液体排出口连通；以及与设在所述气液分离槽的侧部上的排气口连通的排气管，所述排气口位于所述气液导入管的下端的上方。采用本专利技术，即使积存在气液分离槽内部的液体产生泡沫，也能高效地将该泡沫除去。【专利说明】气液分离装置及研磨装置
本专利技术涉及一种气液分离装置，把使用了液体尤其容易产生气泡的液体的装置中所产生的气液二相流分离成气体和液体并予以排出、以及具有该气液分离装置的研磨装置。
技术介绍
已知有一种一边将研磨液(浆料)供给于研磨面一边对基板表面进行研磨的研磨装置。在该研磨装置中，产生研磨液和气体的气液二相流，研磨液含有研磨剂及研磨粉，气体是在研磨时或清洗时所供给的氮气等。该气液二相流，由用于清洗研磨面的清洗排出液和所述氮气等的气体混合所产生，此外,也由研磨液或清洗排出液混入气体所产生。为了防止该气液二相流流入排气管道内使排气管道被液体堵...
【技术保护点】
一种气液分离装置，其特征在于，具有：气液分离槽；气液导入管，该气液导入管延伸到所述气液分离槽的内部，将气液二相流导入所述气液分离槽内；喷雾喷嘴，该喷雾喷嘴将纯水向积存于所述气液分离槽的底部的液体进行喷雾；排放管，该排放管连通于设在所述气液分离槽的底部的液体排出口；以及排气管，该排气管连通于设在所述气液分离槽的侧部的排气口，所述排气口位于所述气液导入管的下端的上方。
【技术特征摘要】
...
还没有人留言评论。发表了对其他浏览者有用的留言会获得科技券。