蓝宝石晶体生长炉观察系统技术方案

本实用新型专利技术蓝宝石晶体生长炉观察系统，包括：小炉盖；观察镜筒，所述观察镜筒设置在所述小炉盖上，在所述观察镜筒内设有冷却水道及气流通道；宝塔接头，所述宝塔接头设置在所述观察镜筒上，所述宝塔接头通过所述冷却水道与所述小炉盖内腔连通，所述宝塔接头与外界水路管道连接；卡套接头，所述卡套接头设置在所述观察镜筒上，所述卡套接头通过所述气流通道与所述观察镜筒的镜片连通，卡套接头与外界氩气总管路。本实用新型专利技术蓝宝石晶体生长炉观察系统配合CCD相机使用，可在显示屏上长时间显示引晶和长晶情况，方便直观，减轻操作人员劳动强度，提高引晶和长晶成功率。（*该技术在2023年保护过期，可自由使用*）

【技术实现步骤摘要】
【专利摘要】本技术蓝宝石晶体生长炉观察系统，包括：小炉盖；观察镜筒，所述观察镜筒设置在所述小炉盖上，在所述观察镜筒内设有冷却水道及气流通道；宝塔接头，所述宝塔接头设置在所述观察镜筒上，所述宝塔接头通过所述冷却水道与所述小炉盖内腔连通，所述宝塔接头与外界水路管道连接；卡套接头，所述卡套接头设置在所述观察镜筒上，所述卡套接头通过所述气流通道与所述观察镜筒的镜片连通，卡套接头与外界氩气总管路。本技术蓝宝石晶体生长炉观察系统配合CCD相机使用，可在显示屏上长时间显示引晶和长晶情况，方便直观，减轻操作人员劳动强度，提高引晶和长晶成功率。【专利说明】蓝宝石晶体生长炉观察系统
本技术属于半导体制造领域，特别是一种蓝宝石晶体生长炉观察系统。
技术介绍
蓝宝石晶体生长过程中，在引晶阶段需要长时间通过观察窗口观察籽晶引晶情况，现在一般都是用肉眼直接从观察窗察看，观察效果不好，操作人员劳动强度高。而使用CCD相机观察，观察窗长时间打开，腔体内热场会将热量辐射到观察镜筒，造成观察镜筒温度过高；并且腔体内黑色氧化物上升会附着在观察镜片上，造成观察镜片污染而无法使用。
技术实现思路
本技术的目的在于提供一种可长时间使用的蓝宝石晶体生长炉观察系统。为解决上述技术问题，本技术蓝宝石晶体生长炉观察系统，包括:小炉盖；观察镜筒，所述观察镜筒设置在所述小炉盖上，在所述观察镜筒内设有冷却水道及气流通道；宝塔接头，所述宝塔接头设置在所述观察镜筒上，所述宝塔接头通过所述冷却水道与所述小炉盖内腔连通，所述宝塔接头与外界水路管道连接；卡套接头，所述卡套接头设置在所述观察镜筒上，所述卡套接头通过所述气流通道与所述观察镜筒的镜片连通，卡套接头与外界氩气总管路。 所述观察镜筒的数量为两个，两个所述观察镜筒的所述冷却水道分别连通所述小炉盖内腔。在所述小炉盖还设有遮挡结构，所述遮挡结构包括:压盖，所述压盖设置在所述小炉盖上；转轴，所述转轴设置在所述压盖内，并穿设于所述小炉盖；手柄，所述手柄与所述转轴的一端连接；挡片，所述挡片与所述转轴的另一端连接。所述遮挡结构的数量与所述观察镜筒的数量相对应。在所述氩气总管路上还设有卡套接头针阀和三通球阀。本技术蓝宝石晶体生长炉观察系统在观察镜筒内通入冷却水，观察窗可以长时间打开，而不会造成观察镜筒温度过高；在观察镜筒内通入氩气，氩气流对准镜片中央，观察窗可以长时间打开，在气流作用下，腔体内黑色氧化物不会附着在镜片上。配合CCD相机使用，可在显示屏上长时间显示引晶和长晶情况，方便直观，减轻操作人员劳动强度，提闻引晶和长晶成功率。【专利附图】【附图说明】图1为本技术蓝宝石晶体生长炉观察系统结构示意图；图2为本技术蓝宝石晶体生长炉观察系统剖视图。本技术蓝宝石晶体生长炉观察系统附图中附图标记说明:1-小炉盖 2-宝塔接头3-卡套接头4-压盖 5-手柄6-转轴7-挡片 8-观察镜筒【具体实施方式】下面结合附图对本技术蓝宝石晶体生长炉观察系统作进一步详细说明。如图1、图2所示，本技术蓝宝石晶体生长炉观察系统，配合C⑶相机使用，使CXD镜头对准一个观察镜筒8窗口，压盖4安装在小炉盖I上，转轴6设置在压盖4内，通过旋转手柄5经由转轴6带动挡片7，打开或关闭观察镜筒8。在两个观察镜筒8上设有冷却水宝塔接头2，冷却水从一个观察镜筒8流入，经过小炉盖I内腔，再从另一个观察镜筒8流出，达到冷却小炉盖I和观察镜筒8的目的，观察窗长时间打开，也不会造成镜片温度过高；两个观察镜筒8上还设有氩气卡套接头3，通入氩气，氩气流对准镜片中央，在气流作用下，防止腔体内黑色氧化物上升附着镜片，不会造成观察镜片污染而无法使用。在氩气总管路上设有针阀和三通球阀，可通过针阀调节氩气流量，通过三通球阀选择在哪一个观察镜筒8通入氩气通常只会有一台CXD相机对准一个观察镜筒8。配合CXD相机使用，可在显示屏上长时间显示引晶和长晶情况，方便直观，减轻操作人员劳动强度，提高引晶和长晶成功率。以上已对本技术创造的较佳实施例进行了具体说明，但本技术创造并不限于所述实施例，熟悉本领域的技术人员在不违背本技术创造精神的前提下还可作出种种的等同的变型或替换，这些等同的变型或替换均包含在本申请权利要求所限定的范围内。【权利要求】1.蓝宝石晶体生长炉观察系统，其特征在于，包括: 小炉盖； 观察镜筒，所述观察镜筒设置在所述小炉盖上，在所述观察镜筒内设有冷却水道及气流通道； 宝塔接头，所述宝塔接头设置在所述观察镜筒上，所述宝塔接头通过所述冷却水道与所述小炉盖内腔连通，所述宝塔接头与外界水路管道连接； 卡套接头，所述卡套接头设置在所述观察镜筒上，所述卡套接头通过所述气流通道与所述观察镜筒的镜片连通，卡套接头与外界氩气总管路。2.根据权利要求1所述的蓝宝石晶体生长炉观察系统，其特征在于，所述观察镜筒的数量为两个，两个所述观察镜筒的所述冷却水道分别连通所述小炉盖内腔。3.根据权利要求1所述的蓝宝石晶体生长炉观察系统，其特征在于，在所述小炉盖还设有遮挡结构，所述遮挡结构包括: 压盖，所述压盖设置在所述小炉盖上； 转轴，所述转轴设置在所述压盖内，并穿设于所述小炉盖； 手柄，所述手柄与所述转轴的一端连接； 挡片，所述挡片与所述转轴的另一端连接。4.根据权利要求3所述的蓝宝石晶体生长炉观察系统，其特征在于，所述遮挡结构的数量与所述观察镜筒的数量相对应。5.根据权利要求1所述的蓝宝石晶体生长炉观察系统，其特征在于，在所述氩气总管路上还设有卡套接头针阀和三通球阀。【文档编号】C30B29/20GK203668555SQ201320860212【公开日】2014年6月25日 申请日期:2013年12月24日 优先权日:2013年12月24日 【专利技术者】刘海, 贺贤汉 申请人:上海汉虹精密机械有限公司本文档来自技高网...

【技术保护点】
蓝宝石晶体生长炉观察系统，其特征在于，包括：小炉盖；观察镜筒，所述观察镜筒设置在所述小炉盖上，在所述观察镜筒内设有冷却水道及气流通道；宝塔接头，所述宝塔接头设置在所述观察镜筒上，所述宝塔接头通过所述冷却水道与所述小炉盖内腔连通，所述宝塔接头与外界水路管道连接；卡套接头，所述卡套接头设置在所述观察镜筒上，所述卡套接头通过所述气流通道与所述观察镜筒的镜片连通，卡套接头与外界氩气总管路。

【技术特征摘要】

【专利技术属性】
技术研发人员：刘海，贺贤汉，
申请(专利权)人：上海汉虹精密机械有限公司，
类型：新型
国别省市：上海;31