一种基板传送腔体制造技术

本实用新型专利技术公开了一种基板传送腔体，它包括：金属传送腔体和安装在腔体内侧上壁、下壁上的可开合遮板，所述的可开合遮板以可拆卸的方式安装在腔体的内壁上，可开合遮板上有高反射金属涂层，用于反射基板的热辐射达到保温的效果。本实用新型专利技术通过在金属腔体内壁上安装可开合遮板，这样就可以根据腔体内基板的需求和走向对基板的需求进行判断，然后采取保温或降温措施，节省了资源和时间。（*该技术在2023年保护过期，可自由使用*）

【技术实现步骤摘要】
【专利摘要】本技术公开了一种基板传送腔体，它包括：金属传送腔体和安装在腔体内侧上壁、下壁上的可开合遮板，所述的可开合遮板以可拆卸的方式安装在腔体的内壁上，可开合遮板上有高反射金属涂层，用于反射基板的热辐射达到保温的效果。本技术通过在金属腔体内壁上安装可开合遮板，这样就可以根据腔体内基板的需求和走向对基板的需求进行判断，然后采取保温或降温措施，节省了资源和时间。【专利说明】一种基板传送腔体
本技术涉及工业基板制造和加工领域，尤其涉及一种传送基板用的腔体。
技术介绍
如今，太阳能电池、光伏以及半导体元件制作过程中需要对各种基板执行多重处理，例如溅射、电镀、物理气相沉积等工艺。这些工艺需要在一个个独立的处理室中实现，而这些处理室组成了整个基板加工的流水线。这些处理室中就包括了本技术专利中所描述的传送腔体。在现有技术中，传送腔体用于执行装载其他处理室传送过来的基板。传送腔体的外壳通常使用金属表面，而这些金属的反射率低，不能将热量反射回基板上，以保持基板的温度。因此，基板可能会失去在传输过程中的热量，当基板进入下一个处理室的时候就需要再加热，浪费了时间和制造成本。
技术实现思路
为了解决上述问题，本技术提出一种基板传送腔体，它包括:传送腔体和安装在腔体内侧上壁、下壁上的可开合遮板，所述的传送腔体采用金属材料制成或传送腔体的上、下内壁上涂有黑体辐射材料，所述的可开合遮板以可拆卸的方式安装在腔体的上、下内壁上。所述的可开合遮板为相对腔体内部面上涂有高反射金属涂层的可伸缩的幕帘或内部具有液态冷却系统的可伸缩的幕帘。一种基板传送腔体，它还包括一安装在腔体内部中央位置的保温降温系统，所述的保温降温系统可根据基板的需求对其进行保温或降温。所述的双层可开合遮板包括一层为高反射性金属涂层的保温遮板和一层为黑体辐射材料的降温遮板，所述的双层可开合遮板以可拆卸的方式安装在传送腔体内部中央位置。优选地，所述的双层可开合遮板的保温遮板和降温遮板之间还有液态冷却系统。优选地，所述的基板为太阳能电池片。进一步地，所述的可开合遮板采用聚酯薄膜制成。进一步地，所述的黑体辐射材料包括黑漆、黑色阳极处理的氧化铝。本技术的具有以下有益效果:1.在腔体内壁上安装可开合遮板，可以根据腔体内基板的需求和走向进行判断，从而对基板采取保温或降温措施，节省了资源和时间。2.进一步地在腔体内中央位置安装保温降温系统，以满足腔体内同时存在两块或两块以上基板的情况，提高了工作效率。【专利附图】【附图说明】图1是本技术一种基板传送腔体的结构示意图。图2是本技术实施例1的结构示意图。图3是本技术实施例2的结构示意图。图4是本技术中带有液态冷却系统的双层可开合遮板的局部剖面结构示意图。其中:1-传送腔体、2-可开合遮板、3-保温降温系统、4-保温幕帘、5-降温幕帘、6_机械手背、7-基板、8-黑体福射材料、9-液态冷却系统。【具体实施方式】下面结合附图和实施例对本专利技术作进一步的说明。如图1、2所示。一种基板传送腔体，它包括:传送腔体和安装在腔体内侧上壁、下壁上的可开合遮板，所述的传送腔体采用金属材料制成或传送腔体的上、下内壁上涂有黑体辐射材料，所述的可开合遮板以可拆卸的方式安装在腔体的上、下内壁上。所述的可开合遮板为相对腔体内部面上涂有高反射金属涂层的可伸缩的幕帘或内部具有液态冷却系统的可伸缩的幕帘。一种基板传送腔体，它还包括一安装在腔体内部中央位置的保温降温系统，所述的保温降温系统可根据基板的需求对其进行保温或降温。所述的双层可开合遮板包括一层为高反射性金属涂层的保温遮板和一层为黑体辐射材料的降温遮板，所述的双层可开合遮板以可拆卸的方式安装在传送腔体内部中央位置。优选地，所述的双层可开合遮板的保温遮板和降温遮板之间还有液态冷却系统。优选地，所述的基板为太阳能电池片。进一步地，所述的可开合遮板采用聚酯薄膜制成。进一步地，所述的黑体辐射材料包括黑漆、黑色阳极处理的氧化铝。实施例一当有一块基板7通过机械手臂6从装卸室或加热室传送进入传送腔体I内时，腔体I内的上、下两可开合遮板2被拉开，遮板2可以将托盘上带有高温的基板7的热能反射，使其热量保持在传送腔体I内，而不被散发出去，基板7不易降温。相反，当有一块基板7从镀膜室进入传送腔体1，而后将其传送到外界时，传送腔体I内的上、下两可开合遮板2被收回，基板7上的热能将会通过传送腔体I的金属外壳迅速散热，或通过传送腔体I上、下内表面上的黑体辐射材料涂层将热能迅速吸收，从而达到给基板降温的效果，使其能尽快达到室温。实施例二当传送腔体I内同时存在两个以上的基板7时，且两基板7由两个方向(即一块由装卸室或加热室进入传送腔体1，而另一块由镀膜室进入传送室腔体I)同时传送进入腔体1，传送腔体I中的上、下两遮板2及其中央位置的双层可开合遮板会同时开始工作。双层可开合遮板一层为高反射性金属涂层的保温遮板4，另一层为黑体辐射材料8的降温遮板5 ;它们将整个传送腔体I分成保温和降温两个区域，分别用于同时容纳需要保温和需要降温的两块基板7，由装卸室或加热室进入传送室的基板被送入由双层可开合遮板中保温遮板和腔体内壁可开合遮板围成的保温区域；由镀膜室进入传送室的基板被送入由双层可开合遮板中降温遮板和金属腔体I所围成的降温区域。这样就可以同时满足不同的基板在同一空间下的不同需求，大大减少了工业制造时间的同时也节省了资源、提高了工作效率。进一步地，双层可开合遮板的保温遮板和降温遮板之间还可以设有液态冷却系统9，如冷却水循环降温系统，这样可以进一步的加快降温速度，提高传送腔体I的工作效率。【权利要求】1.一种基板传送腔体，其特征在于它包括:传送腔体(I)和安装在腔体(I)内侧上壁、下壁上的可开合遮板(2)，所述的传送腔体(I)采用金属材料制成或传送腔体(I)的上、下内壁上涂有黑体辐射材料(8)，所述的可开合遮板(2)以可拆卸的方式安装在腔体(I)的上、下内壁上。2.根据权利要求1所述的基板传送腔体，其特征在于:所述的可开合遮板(2)为相对腔体内部面上涂有高反射金属涂层的可伸缩的幕帘或内部具有液态冷却系统的可伸缩的幕帘。3.根据权利要求1或2所述的基板传送腔体，其特征在于:它还包括一安装在腔体(I)内部中央位置的保温降温系统(3)，所述的保温降温系统(3)为双层可开合遮板，可根据基板的需求对其进行保温或降温。4.根据权利要求3所述的基板传送腔体，其特征在于:所述的双层可开合遮板包括一层为高反射性金属涂层的保温遮板(4)和一层为黑体辐射材料(8)的降温遮板(5)，所述的双层可开合遮板以可拆卸的方式安装在传送腔体(I)内部中央位置。5.根据权利要求4所述的基板传送腔体，其特征在于:所述的双层可开合遮板的保温遮板(4)和降温遮板(5)之间还有液态冷却系统(9)。6.根据权利要求1所述的基板传送腔体，其特征在于:所述的基板(7)为太阳能电池片。7.根据权利要求1所述的基板传送腔体，其特征在于:所述的可开合遮板(2)采用聚酯薄膜制成。【文档编号】H01L21/67GK203674178SQ201320828815【公开日】2014年6月25日 申请日期:2013年12月17日 优先权日:2013年12月17本文档来自技高网...

【技术保护点】
一种基板传送腔体，其特征在于它包括：传送腔体（1）和安装在腔体（1）内侧上壁、下壁上的可开合遮板（2），所述的传送腔体（1）采用金属材料制成或传送腔体（1）的上、下内壁上涂有黑体辐射材料（8），所述的可开合遮板（2）以可拆卸的方式安装在腔体（1）的上、下内壁上。

【技术特征摘要】

【专利技术属性】
技术研发人员：刘书谦，
申请(专利权)人：精曜苏州新能源科技有限公司，
类型：新型
国别省市：江苏;32