薄板玻璃的制造方法以及玻璃基板的制造方法技术

本发明专利技术提供一种薄板玻璃的制造方法以及玻璃基板的制造方法。从通过浮法流动熔融玻璃而制造的浮板中按照长边方向相对于浮动的流动方向成为90度的方式来切取玻璃母材。通过浮法使玻璃母材在长边方向上移动并在加热炉内加热进行软化，延伸为规定厚度而成形再曳引条来制造薄板玻璃。在再曳引条的成形时基于玻璃母材的长边方向的板厚分布来对传送速度和拉拔速度进行前馈控制。基于成形的再曳引条的长边方向的条厚分布来计算拉拔速度的补正值，并反馈应用于后行的玻璃母材的拉拔速度。

【技术实现步骤摘要】
【国外来华专利技术】【专利摘要】本专利技术提供一种。从通过浮法流动熔融玻璃而制造的浮板中按照长边方向相对于浮动的流动方向成为90度的方式来切取玻璃母材。通过浮法使玻璃母材在长边方向上移动并在加热炉内加热进行软化，延伸为规定厚度而成形再曳引条来制造薄板玻璃。在再曳引条的成形时基于玻璃母材的长边方向的板厚分布来对传送速度和拉拔速度进行前馈控制。基于成形的再曳引条的长边方向的条厚分布来计算拉拔速度的补正值，并反馈应用于后行的玻璃母材的拉拔速度。【专利说明】
本专利技术涉及对玻璃母材进行加热延伸而形成的薄板玻璃的制造方法以及使用了薄板玻璃的基板的制造方法。
技术介绍
以往以来，对半导体元件的基板、在电场效应型的平板显示器中使用的间隔器(spacer)和在磁盘基板等中使用的玻璃板寻求板厚均匀度和表面粗糙度优化。作为制造具有规定的厚度且提高表面粗糙度的薄板玻璃的方法，提出有加热软化玻璃母材而使其延伸为规定的厚度的薄板玻璃的方法等(参照专利文献I)。在先技术文献专利文献专利文献I JP特开平11-199255号公报专利技术概要专利技术要解决的课题但是，在使用专利文献I中记载的制造方法对通过浮(float)法制造的板玻璃进行加热软化使其延伸来制造薄板玻璃的情况下，存在以下问题，即，制造的薄板玻璃的板厚均匀度受到玻璃母材的板厚分布的影响，有时会无法得到希望的板厚均匀度。·本专利技术鉴于上述而形成，目的在于，提供一种即使在对由浮法制造的玻璃母材进行加热延伸的情况下，也能够制造板厚均匀度优异的薄板玻璃和玻璃基板的。
技术实现思路
用于解决课题的手段为了解决上述课题，达成上述目的，本专利技术涉及的薄板玻璃的制造方法是具有对由浮法制造的玻璃母材进行加热使其软化并使其延伸为希望的厚度从而形成薄板玻璃的再曳引(redraw)工序的薄板玻璃的制造方法，其特征在于，将再曳引工序中的玻璃母材的延伸方向相对于在浮法中流过熔融玻璃的流动方向设为90度的方向。本专利技术涉及的薄板玻璃的制造方法，其特征在于，在上述专利技术中，包括控制工序，在该控制工序中，基于玻璃母材的板厚分布来控制玻璃母材的传送速度和拉拔玻璃母材的拉拔速度中的至少一个速度。即，在本专利技术中，对玻璃母材的传送速度以及拉拔速度中的至少一个速度进行基于玻璃母材的板厚分布的前馈控制。本专利技术涉及的薄板玻璃的制造方法，其特征在于，在上述专利技术中，具有拉拔速度控制工序，在该拉拔速度控制工序中，基于玻璃母材的板厚分布来控制拉拔玻璃母材的拉拔速度；控制工序包括拉拔速度补正工序，在该拉拔速度补正工序中，测定由先行的第一玻璃母材成形的薄板玻璃的沿着长边方向的板厚分布，基于测定的薄板玻璃的板厚分布和薄板玻璃的目标板厚之差的分布来计算拉拔第一玻璃母材的拉拔速度的补正值，使用补正值对后行的第二玻璃母材的拉拔速度进行补正。即，在本专利技术中，对于在先行的第一玻璃母材之后通过再曳引法而延伸的后行的第二玻璃母材的拉拔速度，基于由第一玻璃母材成形的薄板玻璃的板厚与目标板厚之差的分布，进行反馈控制。并且，在这样的构成中，优选，在浮法中从在流动熔融玻璃的流动方向上相邻的位置上切取第一玻璃母材和第二玻璃母材。本专利技术涉及的玻璃基板的制造方法，其特征在于，包括:薄板玻璃制造工序，通过上述专利技术涉及的薄板玻璃的制造方法来制造薄板玻璃；以及核化(coring)工序,按照使玻璃基板的中心大致位于薄板玻璃的宽度方向的中央上的方式而核化为一列。专利技术效果根据本专利技术涉及的，在通过再曳引法来对由浮法制造的板玻璃进行加热延伸的情况下，能够制造板厚均匀度较高的薄板玻璃和规定形状的玻璃基板。【专利附图】【附图说明】图1是表示本专利技术的一实施方式的浮板和从浮板切取的2个种类的玻璃母材的概略线图。图2是表示本专利技术的一实施方式的A类型的玻璃母材沿着长边方向的板厚分布的曲线图。图3是表示作为本专利技术的一实施方式的比较例的B类型的玻璃母材沿着长边方向的板厚分布的曲线图。图4是表示本专利技术的一实施方式的基于再曳引法的薄板玻璃制造装置的概略构成的示意图。·图5是使在本专利技术的一实施方式中测定的玻璃母材的测定位置、沿着长边方向的板厚分布、以及薄板玻璃的条厚与玻璃母材的长边方向相对应的条厚分布的曲线图。图6是表示本专利技术的一实施方式的薄板玻璃制造装置的拉拔速度沿着母材长度的速度的控制的曲线图。图7是表示通过本专利技术的一实施方式的基于再曳引法的薄板玻璃制造装置制造的薄板玻璃的条厚的变化的曲线图。图8是表示基于本专利技术的一实施方式的控制方法制造的再曳引条沿着长边方向的条厚分布的曲线图。图9是用于说明从通过本专利技术的一实施方式制造的薄板玻璃对玻璃基板进行核化的方法的概略线图。图10是表示通过本专利技术的一实施方式的玻璃基板的制造方法制造的玻璃基板和通过现有技术制造的玻璃基板沿着宽度方向的板厚的曲线图。图11是表示通过本专利技术的一实施方式的玻璃基板的制造方法制造的玻璃基板和通过现有技术制造的玻璃基板沿着宽度方向的板厚的曲线图。【具体实施方式】以下，针对本专利技术的一实施方式参照附图进行说明。另外，在以下的一实施方式的所有附图中，对相同或者对应的部分附加相同的符号。此外，本专利技术不是由以下说明的实施方式来进行限定。首先，说明本专利技术的一实施方式的薄板玻璃的制造方法。图1是示意性表示在该一个实施方式的薄板玻璃的制造方法中使用的玻璃母材、以及用于切取玻璃母材的浮板的图。(玻璃母材的切取方向)如图1所示，首先，准备由浮法制造的浮板10。即，在浮动总线(未图示)内填充熔融的金属锡，在其表面漂浮熔融玻璃，通过这样流入来形成浮板10。另外，在图1中，用空白箭头来表示熔融玻璃的流动方向作为浮动的流动方向。该浮法是能够稳定低价地大量生产大面积的板玻璃的方法。另外，在浮板10与金属锡相接触的一侧的面中，锡等金属作为离子侵入，形成锡面20。也可以去除该锡面20。接着，将该浮板10切断为希望的大小，进行切取玻璃母材的原料加工。在切取这些玻璃母材31~33、41的原料加工中，将按照使长边方向相对于浮动的流动方向成为90度的方式切取出的玻璃母材31、32、33作为“A类型的玻璃母材”。另一方面，在原料加工中，将按照使长边方向相对于浮动的流动方向成为平行的方式切取出的玻璃母材41作为“B类型的玻璃母材”。另外，关于这些玻璃母材31~33、41的尺寸，长度Ltl例如为2000mm，宽度W0例如为600mm,厚度Ttl例如为3mm。图2表示在宽度方向的两端部即相对于长边方向的左右端部(图1中为实线以及虚线的箭头部分)分别对A类型的玻璃母材31的沿着长边方向的板厚进行测定而得到的结果。图3表示在相对于长边方向的左右端部分别对B类型的玻璃母材41沿着长边方向的板厚进行测定而得到的结果。另外，图1所示的虚线箭头是相对于长边方向的左端部，实线箭头是相对于长边方向的右端部。根据图2可知，A类·型的玻璃母材31的板厚分布，在相对于长边方向的左右端部的任一个中，按照沿着长边方向从3.16mm增加至最大值3.22mm并从该最大值减少至3.14mm的方式来进行推移。即，可知，A类型的玻璃母材31的板厚分布沿着该长边方向成为山形。相对于此，根据图3可知，B类型的玻璃母材41的板厚分布，在相对于长边方向的左端部，沿着长边方向为3.135mm左右且大致为恒定,在相对于长边方向的右端部,沿着长边本文档来自技高网...

【技术保护点】
一种薄板玻璃的制造方法，具有再曳引工序，在该再曳引工序中，对由浮法制造的玻璃母材进行加热使其软化并使其延伸为希望的厚度从而成形薄板玻璃，该薄板玻璃的制造方法的特征在于，将上述再曳引工序中的上述玻璃母材的延伸方向相对于在上述浮法中流动熔融玻璃的流动方向设为90度的方向。

【技术特征摘要】
【国外来华专利技术】...

【专利技术属性】
技术研发人员：中尾刚介，浅井稔之，
申请(专利权)人：古河电气工业株式会社，
类型：发明
国别省市：日本;JP