搬送机构制造技术

本发明专利技术提供一种搬送机构，能够维持板状工件相对于保持工作台的保持面的对准状态，同时使板状工件降落至保持面。本发明专利技术的搬送机构构成为，具有：保持爪（46），其保持板状工件（W）的外周部；引导销（47），其经拉伸弹簧（43）与保持爪连接；以及移动部（44），其使保持爪沿板状工件的径向移动，在保持板状工件时，通过由移动部拉近保持爪，而使保持爪与板状工件的外周部接触，并且引导销受到保持爪的影响而与板状工件的外周部接触，在放开板状工件时，通过由移动部来推动保持爪，使引导销留下而只使保持爪从板状工件的外周部退避，通过拉伸弹簧的弹力由引导销来引导板状工件的外周部。

【技术实现步骤摘要】
【专利摘要】本专利技术提供一种搬送机构，能够维持板状工件相对于保持工作台的保持面的对准状态，同时使板状工件降落至保持面。本专利技术的搬送机构构成为，具有：保持爪（46），其保持板状工件（W）的外周部；引导销（47），其经拉伸弹簧（43）与保持爪连接；以及移动部（44），其使保持爪沿板状工件的径向移动，在保持板状工件时，通过由移动部拉近保持爪，而使保持爪与板状工件的外周部接触，并且引导销受到保持爪的影响而与板状工件的外周部接触，在放开板状工件时，通过由移动部来推动保持爪，使引导销留下而只使保持爪从板状工件的外周部退避，通过拉伸弹簧的弹力由引导销来引导板状工件的外周部。【专利说明】搬送机构
本专利技术涉及保持板状工件的外周部并进行搬送的边缘夹紧式的搬送机构。
技术介绍
以往，作为搬送板状工件的搬送机构公知有通过搬送垫来保持板状工件的表面并进行搬送的搬送机构。在该搬送机构中，由于板状工件的表面与搬送垫的接触，可能对搬送垫的接触面造成污染，因此，通过清洗机构来清洗搬送垫的接触面。但是，即使是清洗后的搬送垫，若在搬送垫的接触面和板状工件的表面之间夹有异物，则可能对板状工件造成损伤。因此，不与板状工件的表面接触就能够搬送板状工件的边缘夹紧式的搬送机构被使用(例如，参照专利文献I)。现有技术文献专利文献1:日本特开2007-258450号公报然而，在专利文献I所记载的搬送机构中，在多个保持爪形成有V字槽，板状工件的外周部被保持在该V字槽中。当向保持工作台搬入板状工件时，在保持工作台的上方，多个保持爪从板状工件的外周部退避，由此，板状工件通过自由下落而降落到保持工作台的保持面上。因此，存在这样的问题:在搬送板状工件时，即使使板状工件对准保持工作台的保持面，在板状工件的下落过程中，板状工件相对于保持面的位置也会产生偏差。
技术实现思路
本专利技术是鉴于这样的方面而完成的专利技术，其目的在于提供一种边缘夹紧式的搬送机构，能够在维持板状工件相对于保持工作台的保持面的对准状态的同时使板状工件降落至保持面上。本专利技术的搬送机构是这样的机构:通过保持板状工件的外周部的保持部来保持板状工件，并将板状工件搬送到具有保持面的保持工作台上，上述保持面用于保持圆形的板状工件的下表面，上述搬送机构的特征在于，上述保持部包括:保持爪，其与板状工件的外周部处的侧面以及下表面接触；引导销，其与上述保持爪并列设置并与板状工件的侧面接触；拉伸弹簧，其沿板状工件的径向朝向中心对上述引导销施加弹力；以及第I滑块，其对通过上述拉伸弹簧而移动的上述引导销进行定向，上述搬送机构具有:第2滑块，其将上述保持部的移动定向在板状工件的径向上；以及移动部，其使上述保持部沿板状工件的径向移动，在保持板状工件时，通过上述移动部的工作使至少3个上述保持部沿板状工件的径向朝向中心移动，从而使上述引导销与板状工件的侧面接触，并且使上述保持爪与板状工件的外周部处的侧面以及下表面接触从而保持板状工件，在释放板状工件时，通过上述移动部的工作使至少3个上述保持部沿板状工件的径向朝向外侧移动，从而使上述保持爪向板状工件的外侧移动，使上述保持爪离开板状工件的外周部，但是通过上述拉伸弹簧的弹力使上述引导销继续与板状工件的侧面接触，从而维持着上述搬送机构保持的板状工件在相对于上述保持面平行的方向的位置，将板状工件搬送至上述保持工作台上。根据该结构，在利用至少3个保持爪来保持板状工件的状态下，引导销通过拉伸弹簧的弹力而与板状工件的外周部的侧面接触。另外，即使保持爪从板状工件的外周部离开，引导销也继续与板状工件的外周部的侧面接触，从而从保持爪落下的板状工件被沿着引导销进行引导。因此，即使是边缘夹紧式的搬送机构也能够在维持保持于搬送机构的板状工件与保持工作台的保持面的在平行方向的位置关系的同时，在位置对准的状态下使板状工件降落至保持面上。专利技术效果根据本专利技术，在释放板状工件时，通过只使保持爪从板状工件离开而由引导销来引导板状工件的下落，能够在维持板状工件相对于保持工作台的保持面的对准状态的同时，使板状工件降落至保持面上。【专利附图】【附图说明】图1是本实施方式的搬送机构的立体图。图2是本实施方式的搬送机构的保持部的分解立体图。图3是本实施方式的搬送机构的保持部的分解侧视图。图4是基于本实施方式的搬送机构的搬出板状工件的搬出动作的说明图。图5是基于本实施方式的搬送机构的搬入板状工件的搬入动作的说明图。标号说明I搬送机构2保持工作台4保持部21保持面41保持爪基体42销基体43拉伸弹簧44移动部46保持爪47引导销52下侧滑块(第2滑块)55上侧滑块(第I滑块)64限制关起W板状工件【具体实施方式】以下，参照附图对本实施方式的搬送机构进行说明。图1是本实施方式的搬送机构的立体图。另外，在本实施方式中，对在三处保持板状工件的外周部的边缘夹紧式的搬送机构进行示例并进行说明，但是本专利技术不限于该结构。搬送机构是保持板状工件的外周部的三处以上的结构即可。如图1所示，搬送机构I是组装在各种加工装置中的边缘夹紧式的搬送机构，该搬送机构I构成为对板状工件W的外周部进行保持并将板状工件W搬送到保持工作台2上。板状工件W形成为大致圆板状，其表面被未图示的分割预定线划分出多个区域。在由分割预定线划分出的各区域形成有IC (集成电路)、LSI (大规模集成电路)等电路。另外，作为板状工件W，列举硅、砷化镓等半导体晶片为例进行说明，但是也可以是陶瓷、玻璃、蓝宝石(Al2O3)系的无机材料基板等。在保持工作台2的上表面通过多孔陶瓷材料形成有保持面21，上述保持面21对板状工件W的下表面进行保持。保持面21通过保持工作台2内的流路经切换阀(未图示)与抽吸源25以及压缩空气的供给源26连接。当保持工作台2从搬送机构I收到板状工件W时，保持面21的连接目的地被切换至抽吸源25，从而板状工件W被吸附至保持面21。当从保持工作台2向搬送机构I交接板状工件W时，保持面21的连接目的地被切换至压缩空气的供给源26，从而使板状工件W从保持面21浮起至能够由搬送机构I进行边缘夹紧的高度。搬送机构I在俯视为大致三角形形状的底板3上配置有3个保持部4以便保持板状工件W的外周部。在底板3的中央通过3个柱部31支撑有连接板32，该底板3经该连接板32支撑在未图示的臂上。各保持部4构成为，通过保持爪46来保持板状工件W的外周部，并且能够使一对引导销47触碰到板状工件W的外周部。板状工件W在被保持爪46保持的状态下，被一对引导销47引导，上述一对引导销47并列设置在保持爪46的两侧。保持爪46固定在保持爪基体41上，上述保持爪基体41能够滑动地设置在底板3上。一对引导销47固定在销基体42上，上述销基体42能够滑动地设置在保持爪基体41上。另外，保持爪基体41与销基体42经拉伸弹簧43连接，销基体42通过拉伸弹簧43的弹力被拉靠向保持爪基体41。另外，保持爪基体41与电动式的移动部44连接，通过移动部44的驱动，销基体42与保持爪基体41 一起沿板状工件W的径向进退移动。各保持部4以及移动部44被下表面开放的罩45覆盖，保持爪46以及一对引导销47从底板3向下方突出。另外，图1表示取下一个保持部4的罩45的状态。该搬送机构I中，在使保持爪46以及一对引导销47与本文档来自技高网...

【技术保护点】
一种搬送机构，其通过保持板状工件的外周部的保持部来保持板状工件，并将板状工件搬送到具有保持面的保持工作台上，上述保持面用于保持圆形的板状工件的下表面，上述搬送机构的特征在于，上述保持部包括：保持爪，其与板状工件的外周部处的侧面以及下表面接触；引导销，其与上述保持爪并列设置并与板状工件的侧面接触；拉伸弹簧，其沿板状工件的径向朝向中心对上述引导销施加弹力；以及第1滑块，其对通过上述拉伸弹簧而移动的上述引导销进行定向，上述搬送机构具有：第2滑块，其将上述保持部的移动定向在板状工件的径向上；以及移动部，其使上述保持部沿板状工件的径向移动，在保持板状工件时，通过上述移动部的工作使至少3个上述保持部沿板状工件的径向朝向中心移动，从而使上述引导销与板状工件的侧面接触，并且使上述保持爪与板状工件的外周部处的侧面以及下表面接触从而保持板状工件，在释放板状工件时，通过上述移动部的工作使至少3个上述保持部沿板状工件的径向朝向外侧移动，从而使上述保持爪向板状工件的外侧移动，使上述保持爪离开板状工件的外周部，但是通过上述拉伸弹簧的弹力使上述引导销继续与板状工件的侧面接触，从而维持着上述搬送机构保持的板状工件在相对于上述保持面平行的方向的位置，将板状工件搬送至上述保持工作台上。...

【技术特征摘要】
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【专利技术属性】
技术研发人员：山田智广，
申请(专利权)人：株式会社迪思科，
类型：发明
国别省市：日本;JP