液体喷射头、液体喷射装置以及液体喷射头的制造方法制造方法及图纸

本发明专利技术涉及液体喷射头、液体喷射装置以及液体喷射头的制造方法。具体而言提供制造简单，能够大幅缩短制造时间的液体喷射头。本发明专利技术的液体喷射头具备促动器基板，促动器基板具有被由压电体构成的细长的壁分隔的细长的喷出槽和细长的非喷出槽，喷出槽与非喷出槽交替地排列。非喷出槽的一侧端部具有从非喷出槽的底面上切至上部的上表面开口的倾斜面，在壁的面向喷出槽的两侧面沿壁的长度方向带状地设置公用电极，在壁的面向非喷出槽的两侧面沿壁的长度方向带状地设置有源电极，有源电极从非喷出槽的一侧端部近前设置到另一侧端部。

【技术实现步骤摘要】
【专利摘要】本专利技术涉及。具体而言提供制造简单，能够大幅缩短制造时间的液体喷射头。本专利技术的液体喷射头具备促动器基板，促动器基板具有被由压电体构成的细长的壁分隔的细长的喷出槽和细长的非喷出槽，喷出槽与非喷出槽交替地排列。非喷出槽的一侧端部具有从非喷出槽的底面上切至上部的上表面开口的倾斜面，在壁的面向喷出槽的两侧面沿壁的长度方向带状地设置公用电极，在壁的面向非喷出槽的两侧面沿壁的长度方向带状地设置有源电极，有源电极从非喷出槽的一侧端部近前设置到另一侧端部。【专利说明】
本专利技术涉及将液滴喷出并记录于被记录介质的液体喷射头、使用了该液体喷射头的液体喷射装置以及液体喷射头的制造方法。
技术介绍
近年来，将油墨滴喷出至记录纸等以记录字符、图形，或者将液体材料喷出至元件基板的表面以形成功能性薄膜的喷墨(ink jet)方式的液体喷射头得到利用。该方式将油墨、液体材料等液体从液体储罐经由供给管导引至通道，对填充于通道的液体施加压力并从连通于通道的喷嘴喷出液体。在喷出液体时，移动液体喷射头、被记录介质以记录字符、图形，或者形成既定形状的功能性薄膜。图15以及图16是专利文献I所记载的微滴附着装置的截面图以及局部立体图(专利文献I的图5以及图7)。如图15所示，微滴附着装置为基板86和层叠于其表面120上的盖部件130。基板86在两端部安装集成电路84，在中央部形成由槽构成的通道82，在将通道82沿纸面垂直方向分隔的壁上设置层100，层100包括由压电物质构成的两个条片110a、110b，在通道82的底部沿纸面垂直方向形成两列微滴喷出用的喷嘴96a、96b。在盖件部件130形成歧管(manifold) 88、90、92，形成分别连通于各歧管88、90、92，用于使液体通过的导管150a、150b、150c。两片条片110a、IlOb在其上部设置作用部分140a、140b，作用部分140a、140b从上部侧封闭各通道。供给至歧管90的油墨流入通道82，流至通道82的两端部并从歧管88、92排出。从歧管90供给的油墨经由导管150b流入纸面垂直方向的其他通道，从其他通道经由导管150a、150c而流出至歧管88、92并排出。驱动条片IlOa以对其下方的油墨产生压力脉冲，从喷嘴96a喷出微滴。同样地，驱动条片IlOb以对其下方的油墨产生压力脉冲，从喷嘴96b喷出微滴。图16是压电物质IlOa以及通道82的部分的放大图。在基板86形成由槽构成的通道82，在通道82与里侧的通道之间形成侧壁113，在该壁的顶部设置条片110a。在构成通道82的侧壁113以及条片IlOa的侧面形成电极190’。而且，在顶部表面113’、斜切部195、侧壁113的上部、以及基板86的表面120形成相互电分离的导电性轨迹192’和导电性轨迹192’ ’。由此，能够对侧壁113的近前侧的电极190’和里侧的电极190’ ’施加驱动信号。现有技术文献 专利文献 专利文献1:日本特表2002-529289号公报。
技术实现思路
专利技术要解决的问题如图16所示，在专利文献I的微滴附着装置中，需要对从基板86的表面120突出的条片IlOa的顶部表面113’、斜切部195的电极材料进行图案形成以进行分割。在专利文献I中，记载有能够通过激光射束对其进行分割的内容，另外，还记载有能够通过使用物理掩模或通过使用电气放电设备而更简单地进行分割的内容。但是，在使用激光射束进行分割的情况下，必须对多个并列地形成的侧壁113和条片IlOa中的每个通过激光射束扫描顶部表面113’、斜切部195的表面以及侧壁113的表面120以进行电极的图案形成，需要较长时间，生产率极低。另外，侧壁113的厚度、以及顶部表面113’的宽度较窄，为40μπι?100 μ m，而且在条片IlOa的顶部表面113’与基板86的表面120之间存在阶梯差。因此，难以使用感光性树脂成批地进行图案形成。另外，将掩模设置于顶部表面113’、斜切部195的表面以及基板86的表面120的工序自身极为困难。本专利技术鉴于上述问题而完成，其目的在于提供能够在侧壁的侧面、上表面容易地形成电极的。用于解决问题的方案 本专利技术的液体喷射头具备:促动器基板，其具有被由压电体构成的细长的壁分隔的细长的喷出槽和细长的非喷出槽，所述喷出槽与所述非喷出槽交替地排列，所述非喷出槽的一侧端部具有从所述非喷出槽的底面上切至上部的上表面开口的倾斜面，在所述壁的面向所述喷出槽的两侧面沿所述壁的长度方向带状地设置公用电极，在所述壁的面向所述非喷出槽的两侧面沿所述壁的长度方向带状地设置有源电极，所述有源电极从所述非喷出槽的一侧端部近前设置至另一侧端部。另外，具备:盖板，其设置于所述促动器基板上部，具有连通于所述喷出槽一侧的第一狭缝、和连通于所述喷出槽另一侧的第二狭缝；以及喷嘴板，其设置于所述促动器基板下部，具有连通于所述喷出槽的喷嘴。另外，所述公用电极从所述喷出槽的所述第一狭缝所开口的位置设置至所述喷出槽的另一侧端部。另外，在所述有源电极的一侧端部中，所述倾斜面的深度与成为所述有源电极下端深度的地点相比位于另一侧。另外，所述非喷出槽的另一侧延伸至所述促动器基板的外周端，在所述外周端附近形成在底部残留所述促动器基板的假底部。另外，所述喷出槽以及所述非喷出槽在与所述上表面开口相反侧具有下表面开口，所述喷嘴板以覆盖所述下表面开口的方式设置。另外，所述喷嘴板与所述盖板相比刚性较低。本专利技术的液体喷射装置具备:具有上述任一构成的液体喷射头、使所述液体喷射头与被记录介质相对地移动的移动机构、对所述液体喷射头供给液体的液体供给管、以及对所述液体供给管供给所述液体的液体储罐。本专利技术的液体喷射头的制造方法具备以下工序:将并列的多个槽形成于压电体基板的槽形成工序；以覆盖所述槽的一侧端部的方式设置掩模的掩模设置工序；通过斜向蒸镀法将导电体堆积于所述压电体基板的导电体堆积工序；对所述导电体进行图案形成以形成电极的电极形成工序；将盖板设置于所述压电体基板上方的盖板设置工序；以及将喷嘴板设置于所述压电体基板下方的喷嘴板设置工序。另外，在所述槽形成工序之前，具备在所述压电体基板形成树脂膜的树脂膜形成工序、和对所述树脂膜进行图案形成的图案形成工序。另外，在所述槽形成工序之后，具有磨削与形成所述槽的一侧为相反侧的所述压电体基板并使所述槽从上表面贯通至下表面的压电体基板磨削工序。另外，所述喷嘴板设置工序是将所述喷嘴板设置于所述压电体基板的下表面的工序。专利技术效果 本专利技术的液体喷射头具备:促动器基板，其具有被由压电体构成的细长的壁分隔的细长的喷出槽和细长的非喷出槽，喷出槽与非喷出槽交替地排列，非喷出槽的一侧端部具有从非喷出槽的底面上切至上部的上表面开口的倾斜面，在壁的面向喷出槽的两侧面沿壁的长度方向带状地设置公用电极，在壁的面向非喷出槽的两侧面沿壁的长度方向带状地设置有源电极，有源电极从非喷出槽的一侧端部近前设置至另一侧端部。由此，能够提供能够通过简单的工序在短时间内制造的液体喷射头。【专利附图】【附图说明】图1是本专利技术的第一实施方式所涉及的液体喷射头的分解立体图。图2是本专利技术的第一实施方式所涉及的液体喷射头的截面示意图。图3是本专利技术的第二实施方式所涉及的液体喷射头的非喷出本文档来自技高网...

【技术保护点】
一种液体喷射头，具备：促动器基板，其具有被由压电体构成的细长的壁分隔的细长的喷出槽和细长的非喷出槽，所述喷出槽与所述非喷出槽交替地排列，所述非喷出槽的一侧端部具有从所述非喷出槽的底面上切至上部的上表面开口的倾斜面，在所述壁的面向所述喷出槽的两侧面沿所述壁的长度方向带状地设置公用电极，在所述壁的面向所述非喷出槽的两侧面沿所述壁的长度方向带状地设置有源电极，所述有源电极从所述非喷出槽的一侧端部近前设置至另一侧端部。

【技术特征摘要】
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【专利技术属性】
技术研发人员：堀口悟史，山村祐树，久保田禅，堂前美德，铃木诚，山下辽一郎，户田雅利，原尻俊彦，佐伯真治，
申请(专利权)人：精工电子打印科技有限公司，
类型：发明
国别省市：