液体喷射头、液体喷射装置以及液体喷射头的制造方法制造方法及图纸

本发明专利技术涉及液体喷射头、液体喷射装置以及液体喷射头的制造方法，其课题是，不增厚液体喷射头的厚度而使将液体供给至吐出槽的液体供给室的内部容积增加，使从各喷口吐出的液体的吐出条件一致。本发明专利技术的液体喷射头具备盖板、促动基板和喷口板所层叠的层叠构造。促动基板具备吐出槽(第一或第二吐出槽)与虚设槽(第一或第二虚设槽)交互排列的槽列、以及连通至吐出槽的一端的共通室。盖板具备连通至共通室的一室、以及连通至吐出槽的另一端的另外的室(第一室或第二室)，以覆盖槽列的方式在促动基板设置于上端面。喷口板具备连通至吐出槽的喷口，以覆盖槽列的方式设置于促动基板的下端面。

【技术实现步骤摘要】

本专利技术涉及将液滴吐出而记录于被记录介质的液体喷射头、液体喷射装置以及液体喷射头的制造方法。
技术介绍
近年来，利用了将墨等液滴吐出至记录纸等而记录文字或图形的、或者将液体材料吐出至元件基板的表面而形成功能性薄膜的墨喷射方式的液体喷射头。该方式将墨或液体材料(以下，称为液体)从液体储罐经由供给管而导引至通道，对填充于通道的液体施加压力而从连通至通道的喷口吐出液体。在液体的吐出时，使液体喷射头或被记录介质移动而记录文字或图形，或者形成规定形状的功能性薄膜。图20是作为这种液体喷射头的墨喷射头100的局部截面示意图(专利文献1的图3)。墨喷射头100具有由喷口板124、盖部件126、压电部件128以及基材136构成的层叠构造。在最上层的喷口板124形成有一对喷口130，在其下层的盖部件126形成有与各喷口130对应的直尺状开口129。在盖部件126与基材136之间设置有由成对的两个梯形壁构成的压电部件128及其外侧的框材138。在基材136形成有用于导入液体的歧管132和用于排出液体的歧管134。作为梯形壁的压电部件128沿纸面垂直方向分离而排列多个，在纸面垂直方向的两个压电部件128之间形成有通道。所以，成对的两个通道沿纸面垂直方向并列而形成多个墨喷射头100。图21是除去上述喷口板124和盖部件126后的墨喷射头100的立体图(专利文献1的图4)。在下层的基材136形成有用于导入液体的歧管132和用于排出液体的歧管134，在它们之间，作为梯形壁的压电部件128并列两列而设置，其周围由框材138包围。所以，成为以下构造：从歧管132导入的液体流经由压电部件128构成的梯形壁之间的通道，从两侧的歧管134排出，未流出至框材138的外部。在梯形的压电部件128的两侧面形成有未图示的驱动电极，如果对该两侧面的驱动电极施加电压，则压电部件128以剪切模式变形，使压力波产生于通道的液体。通过该压力波，液滴从喷口130吐出。在此，在基材136的通道侧的表面形成多个布线电极。该布线电极的一端连接至压电部件128的侧面的驱动电极，另一端连接至比框材138的外周更设于外侧的电极端子或者驱动IC。所以，用于驱动压电部件128的驱动信号从基板136的喷口板124侧供给。此外，在专利文献1中，记载了以下示例：能够除去图20中所示的盖部件126，在作为可动壁的压电部件128的上端面直接设置喷口板124。图22是另外的液体喷射头101的截面示意图(专利文献2的图4)。液体喷射头101具有喷口板102、压电板104、盖板108以及流路部件111的层叠构造，从一对喷口103a、103b吐出液体。在压电板104，深槽105a和浅槽105b沿纸面垂直方向交互地形成，深槽105a具备达到喷口板102的深度，与一对喷口103a、103b连通，浅槽105b具备未达到喷口板102的深度。压电板104的深槽105a与浅槽105b之间通过由压电板104构成的壁分隔开，在壁的两侧面形成有未图示的驱动电极。从供给用接头114供给的液体经由液体供给室112和液体供给口109而流入深槽105a，在一对液体排出口110a、110b流出，从一对液体排出室113a、113b和排出用接头115a、115b排出。另一方面，由于浅槽105b的上部开口由盖板108阻塞，因而液体不流入。通过对分隔深槽105a和浅槽105b的壁的驱动电极施加驱动信号，使得壁进行厚度滑移变形，在填充于深槽105a的液体产生压力波，液滴从喷口103a、103b吐出。在压电板104的盖板108侧的表面形成有未图示的布线电极，布线电极的一端连接至形成于壁的驱动电极，另一端连接至形成于盖板108侧的表面的电极端子。电极端子经由柔性基板等而连接至驱动电路。在先技术文献专利文献1：日本特表2009－532237号公报；专利文献2：日本特开2011－104791号公报。
技术实现思路
专利技术要解决的问题在专利文献1所记载的墨喷射头100中，电极端子形成于基材136的喷口板124侧的表面，必须将供给驱动信号的驱动IC或柔性基板连接至该电极端子。在这种墨喷射头100中，喷口板124与被记录介质的间隙极窄。因此，必须极薄地形成在基材136的喷口板124侧的表面设置的驱动IC或柔性基板。另外，必须将在由压电部件128构成的梯形壁的两侧面形成的驱动电极电分离。但是，由于梯形壁的上表面与倾斜面的高低差较大，因而难以进行光刻法和蚀刻法对电极的图案形成。因此，必须对各个壁的上表面和倾斜面照射激光而将两侧面的电极进行图案形成，制造困难另外制造工序长，因而批量生产性低。另外，在专利文献2所记载的液体喷射头101中，浅槽105b在其槽底留有压电板。各槽使用在金属圆盘的外周部埋入金刚石等研磨颗粒的切割刀片(也称为金刚石刀片)而形成。因此，在槽底未贯通的浅槽105b的两端部，留有该切割刀片的外形形状。例如，在使用直径为2至4英寸的切割刀片的情况下，关于浅槽105b的两端部的圆弧形状，槽方向的合计宽度达到8mm至12mm。因此，液体喷射头101的槽方向的宽度变大，且液体喷射头101变重。再者，在液体喷射头101中，液体从形成于盖板108的液体供给口109供给至多个深槽105a。即，液体从盖板108侧供给至各深槽105a。希望液体在各深槽105a中被均等地供给，因此，优选液体供给口109或液体供给室112的内部容积较大。另一方面，液体喷射头101要求小型且轻质化。本专利技术是鉴于上述问题做出的，其目的在于，提供一种能够不使液体喷射头的厚度增加而谋求供给至各个通道的液体的均等化并且能够容易地制造的液体喷射头、液体喷射装置以及液体喷射头的制造方法。用于解决问题的方案本专利技术的液体喷射头具备：促动基板，其具备吐出槽与虚设槽交互排列的槽列、以及连通至前述吐出槽的一端的共通室；盖板，其具备连通至前述共通室的一室、以及连通至前述吐出槽的另一端的另外的室，以覆盖前述槽列的方式设置于前述促动基板的上端面；以及喷口板，其具备连通至前述吐出槽的喷口，以覆盖前述槽列的方式设置于前述促动基板的下端面。另外，前述吐出槽包含第一吐出槽和第二吐出槽，前述虚设槽包含第一虚设槽和第二虚设槽，前述槽列包含隔着前述共通室且并列的第一槽列和第二槽列，前述第一槽列的前述第一吐出槽和前述第一虚设槽交互排列，前述第二槽列的前述第二吐出槽和前述第二虚设槽交互排列，前述另外的室包含隔着前述一室的第一室和第二室，前述第一室连通至前述第一吐出槽的另一端，前述第二室连通至前述第二吐出槽的另一端，前述喷口包含第一喷口和第二喷口，前述第一喷口连通至前述第一吐出槽，前述第二喷口连通至前述第二吐出槽。另外，前述吐出槽在与前述槽列的列方向交叉的方向上从前述共通室形成至前述促动基板的外周端的近前。另外，前述虚设槽从前述促动基板的外周端形成至前述共通室的近前。另外，前述第一吐出槽和前述第二吐出槽沿槽方向形成为一条直线状。另外，在前述第一或第二槽列的列方向上，多个前述第一吐出槽和多个前述第二吐出槽的节距相等，多个前述本文档来自技高网...

【技术保护点】
一种液体喷射头，具备：促动基板，其具备吐出槽与虚设槽交互排列的槽列、以及连通至所述吐出槽的一端的共通室；盖板，其具备连通至所述共通室的一室、以及连通至所述吐出槽的另一端的另外的室，并以覆盖所述槽列的方式设置于所述促动基板的上端面；以及喷口板，其具备连通至所述吐出槽的喷口，以覆盖所述槽列的方式设置于所述促动基板的下端面。

【技术特征摘要】
2012.10.29 JP 2012-2383361. 一种液体喷射头，具备：
促动基板，其具备吐出槽与虚设槽交互排列的槽列、以及连通至所述吐出槽的一端的共通室；
盖板，其具备连通至所述共通室的一室、以及连通至所述吐出槽的另一端的另外的室，并以覆盖所述槽列的方式设置于所述促动基板的上端面；以及
喷口板，其具备连通至所述吐出槽的喷口，以覆盖所述槽列的方式设置于所述促动基板的下端面。
2. 根据权利要求1所述的液体喷射头，其特征在于：
所述吐出槽包含第一吐出槽和第二吐出槽，所述虚设槽包含第一虚设槽和第二虚设槽，
所述槽列包含隔着所述共通室且并列的第一槽列和第二槽列，所述第一槽列的所述第一吐出槽和所述第一虚设槽交互排列，所述第二槽列的所述第二吐出槽和所述第二虚设槽交互排列，
所述另外的室包含隔着所述一室的第一室和第二室，所述第一室连通至所述第一吐出槽的另一端，所述第二室连通至所述第二吐出槽的另一端，
所述喷口包含第一喷口和第二喷口，所述第一喷口连通至所述第一吐出槽，所述第二喷口连通至所述第二吐出槽。
3. 根据权利要求1或2所述的液体喷射头，其特征在于，所述吐出槽在与所述槽列的列方向交叉的方向上从所述共通室形成至所述促动基板的外周端的近前。
4. 根据权利要求1或2所述的液体喷射头，其特征在于，所述虚设槽从所述促动基板的外周端形成至所述共通室的近前。
5. 根据权利要求2所述的液体喷射头，其特征在于，所述第一吐出槽和所述第二吐出槽沿槽方向形成为一条直线状。
6. 根据权利要求2所述的液体喷射头，其特征在于，在所述第一或第二槽列的列方向上，多个所述第一吐出槽和多个所述第二吐出槽的节距相等，多个所述第一吐出槽相对于多个所述第二吐出槽而错开1/2节距。
7. 根据权利要求2所述的液体喷射头，其特征在于，在所述第一或第二槽列的列方向上，所述第一喷口形成第一喷口列，所述第二喷口形成第二喷口列，多个所述第一喷口和多个所述第二喷口的节距相等，多个所述第一喷口相对于多个所述第二喷口而错开1/2节距。
8. 根据权利要求2所述的液体喷射头，其特征在于，相对于所述第一或第二槽列的列方向，所述第一或第二吐出槽的槽方向倾斜。
9. 根据权利要求1或2所述的液体喷射头，其特征在于：
在所述吐出槽的两侧面形成彼此电连接的共用电极，
在所述虚设槽的两侧面形成彼此电分离的作用电极，
在隔着所述吐出槽而邻接的所述虚设槽之间且所述促动基板的外周端附近的上端面，设置有与在邻接的所述虚设槽的邻接侧的侧面形成的两个所述作用电极电连接的作用端子，
在所述吐出槽的另一端附近的所述促动基板的上端面，设置有与所述共用电极电连接且与所述作用端子电分离的共用端子。
10. 根据权利要求9所述的液体喷射头，其特征在于，所述共用电极和所述作用电极形成于所述吐出槽和所述虚设槽的各侧面的大致上半部分。
11. 根据权利要求9所述的液体喷射头，其特征在于，所述盖板覆盖所述槽列，使所述作用端子和所述共用端子露出，粘结至所述促动基板的上端面。
12. ...

【专利技术属性】
技术研发人员：久保田禅，
申请(专利权)人：精工电子打印科技有限公司，
类型：发明
国别省市：