本发明专利技术涉及液体喷射头以及液体喷射装置。本发明专利技术的液体喷射头(1)具备：排列多个细长槽(6)的促动器基板(2)，所述槽(6)被由压电体构成的细长的壁(5)隔开，从基板上表面(US)贯通至下表面(LS)；盖板(3)，其以覆盖槽(6)的上表面开口(7)的方式设置于促动器基板(2)，具有对槽(6)供给液体的液体供给室(9)；以及喷嘴板(4)，其以覆盖槽(6)的下表面开口(8)的方式设置于促动器基板(2)，具有连通于槽(6)的喷嘴(11)。在壁(5)的侧面，与喷嘴板(4)分离且沿壁(5)的长度方向带状地设置驱动电极(12)，喷嘴板(4)与盖板(3)相比刚性较低。从而提供能恰当地喷出液滴的液体喷射头(1)。
【技术实现步骤摘要】
【专利摘要】本专利技术涉及液体喷射头以及液体喷射装置。本专利技术的液体喷射头(1)具备：排列多个细长槽(6)的促动器基板(2)，所述槽(6)被由压电体构成的细长的壁(5)隔开，从基板上表面(US)贯通至下表面(LS)；盖板(3)，其以覆盖槽(6)的上表面开口(7)的方式设置于促动器基板(2)，具有对槽(6)供给液体的液体供给室(9)；以及喷嘴板(4)，其以覆盖槽(6)的下表面开口(8)的方式设置于促动器基板(2)，具有连通于槽(6)的喷嘴(11)。在壁(5)的侧面，与喷嘴板(4)分离且沿壁(5)的长度方向带状地设置驱动电极(12)，喷嘴板(4)与盖板(3)相比刚性较低。从而提供能恰当地喷出液滴的液体喷射头(1)。【专利说明】液体喷射头以及液体喷射装置
本专利技术涉及喷出液滴并记录于被记录介质的液体喷射头以及液体喷射装置。
技术介绍
近年来，将油墨滴喷出至记录纸等以记录字符、图形，或者将液体材料喷出至元件基板的表面以形成功能性薄膜的喷墨(ink jet)方式的液体喷射头得到利用。该方式将油墨、液体材料等液体从液体罐经由供给管导引至通道，对填充于通道的液体施加压力并从连通于通道的喷嘴喷出液体。在喷出液体时，移动液体喷射头、被记录介质以记录字符、图形，或者形成既定形状的功能性薄膜。在专利文献I中，记载了在由压电体材料构成的片(sheet)形成多个由槽构成的油墨通道的喷墨头(ink jet head) 100。图9是专利文献I所记载的喷墨头100的截面图，图9(a)是油墨通道的长度方向的截面图，图9(b)是与油墨通道正交的方向的截面图。喷墨头100具备盖125、由压电体构成的PZT片103、和底盖137的三层构造。盖125具备用于喷出油墨的小滴的喷嘴127。在PZT片103的上表面形成截面形状为船型形状的油墨通道107。油墨通道107沿与长度方向正交的方向并列并形成多个，与邻接的油墨通道之间由被沿箭头P方向极化了的侧壁113间隔。在侧壁113的上侧壁面形成电极115。在邻接的油墨通道的侧壁面也形成电极。即，侧壁113由形成在邻接的油墨通道侧壁面的电极夹着。油墨通道107与喷嘴127连通。在PZT片103，在底侧形成供给管道133和排出管道132，在油墨通道107两端部附近与其连通。从供给管道133沿箭头S方向对油墨通道107供给油墨，从排出管道132排出油墨。在PZT片103的油墨通道107的左端部以及右端部的表面形成凹部129。在凹部129的底面形成未图示的电极，与形成于油墨通道107侧壁面的电极115电导通。在凹部129收纳连接端子134，与形成于凹部129底面的电极电连接。该喷墨头100如下地动作。当从连接端子134给予驱动信号时，对夹着侧壁113的电极115施加驱动信号。于是，侧壁113厚度滑移变形并如以虚线所示那样以“、”字状变形，改变油墨通道107的容积。由于该容积变化，从喷嘴127喷出油墨的小滴。将此种喷墨头称为侧射(side shoot)型且称为通流类型(through flow type)。图10是专利文献2所记载的液滴喷射装置的说明图，图10(a)是液滴喷射装置的一部分的组装立体图(专利文献2的图1)，图10(b)是阵列201的一部分的正视截面图(专利文献2的图3)。液滴喷射装置的阵列201具备:带槽板(溝付务> 一卜)202，其具有被侧壁207夹着的多个平行的油墨流路204 ;用于封闭油墨流路204的盖子206 ;以及安装于盖子206以及带槽板202前方的一对喷嘴板208a、208b。一对喷嘴板208a、208b相互分离并构成狭缝209。如图10(b)所示，阵列201由压电材料构成，被沿作为其表面的垂直方向的极化方向228实施极化处理。在构成各油墨流路204的各槽的内表面分别形成电极205a?205e，电极205a?205e与驱动用LSI芯片216连接。此外，驱动用LSI芯片216连接时钟线(clock line) 218、数据线220、电压线222以及地线224。该液滴喷射装置如下地动作。通过驱动用LSI芯片216，例如在电极205b与电极205c之间，以及在电极205d与电极205c之间产生电位差，夹着油墨流路204c的侧壁207c和侧壁207d以“八”字形变形。由此，油墨流路204c的容积变化，从狭缝209喷出液滴。现有技术文献 专利文献 专利文献1:日本特许第4658324号公报； 专利文献2:日本特开平05-77420号公报。
技术实现思路
专利技术要解决的问题 在专利文献I所记载的喷墨头100中，电极115形成于侧壁113的盖125侧的上半部分。若作为盖125使用高刚性的材料，则侧壁113的振动传递经过盖125并漏出至邻接的侧壁113，产生干扰。即，若使所驱动的油墨通道107的两侧壁113以 < 字状变形，则侧壁113的驱动部接近盖125，因此侧壁113的振动传递经过盖125并漏出至邻接的油墨通道107，产生干扰。另外，若作为盖125使用低刚性的材料，则在对电极115施加驱动信号之后不久对形成于喷嘴127的弯液面(meniscus)施加较大压力，由于应喷出的液滴被分割等，故难以适当地喷出液滴。这些可以认为是由于电极115接近喷嘴127或者盖125而产生的。另夕卜，在使盖125为具有导电性的金属等的情况下，存在电极115与盖125短路的问题。另外，在专利文献2中，在形成于带槽板202的油墨流路204的槽的侧面以及底边整个面形成电极205。此种槽的槽宽形成为50μπι?100 μ m，与此相对，槽的深度形成为300 μ m?400 μ m。但是,若欲通过派射法、蒸镀法形成电极205,则金属材料向槽的底侧的壁面、底面堆积的速度较慢，量产性变得极差。另外，虽然能够通过镀敷法形成电极，但是若欲采用将两侧面的电极分离并使其独立地喷出的电极构造，则需要在每一条中对槽的底面照射激光以分割，量产性变差。另外，若欲将喷嘴设置于盖子206以变更为侧射型，则由于电极205与盖子206接近，故产生与专利文献I同样的问题。本专利技术鉴于上述问题而完成，其目的在于提供能够恰当地喷出液滴的液体喷射头以及液体喷射装置。用于解决问题的方案 本专利技术的液体喷射头具备:排列多个细长的槽的促动器基板，所述槽被由压电体构成的细长的壁隔开，从基板的上表面贯通至下表面；盖板，其以覆盖所述槽的上表面开口的方式设置于所述促动器基板，具有对所述槽供给液体的液体供给室；以及喷嘴板，其以覆盖所述槽的下表面开口的方式设置于所述促动器基板，具有连通于所述槽的喷嘴，在所述壁的侧面，与所述喷嘴板分离且沿所述壁的长度方向带状地设置驱动电极，所述喷嘴板与所述盖板相比刚性较低。另外，所述喷嘴板的材料与所述盖板的材料相比刚性较低。另外，所述喷嘴板由杨氏模量为1.5GPa?30GPa的材料构成。另外，所述盖板由杨氏模量不低于40GPa的材料构成。另外，所述盖板的厚度为0.3mm?1.0mm,所述喷嘴板的厚度为0.0lmm?0.1mm。另外，所述喷嘴板具有聚酰亚胺膜和与所述聚酰亚胺膜相比刚性较高的加强板的层叠构造。另外，所述盖板具备从所述槽排出液体的液体排出室，所述液体排出室连通于所述槽的长度方向的一侧，所述液体供给室连通于所述槽本文档来自技高网...
【技术保护点】
一种液体喷射头，具备：排列多个细长的槽的促动器基板，所述槽被由压电体构成的细长的壁隔开，从基板的上表面贯通至下表面；盖板，其以覆盖所述槽的上表面开口的方式设置于所述促动器基板，具有对所述槽供给液体的液体供给室；以及喷嘴板，其以覆盖所述槽的下表面开口的方式设置于所述促动器基板，具有连通于所述槽的喷嘴，在所述壁的侧面，与所述喷嘴板分离且沿所述壁的长度方向带状地设置驱动电极，所述喷嘴板与所述盖板相比刚性较低。
【技术特征摘要】
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【专利技术属性】
技术研发人员：堀口悟史，山村祐树，久保田禅，堂前美德，户田雅利，橘正夫，
申请(专利权)人：精工电子打印科技有限公司，
类型：发明
国别省市：
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