扩散炉用自动泄压瓶制造技术

本实用新型专利技术提供了一种扩散炉用自动泄压瓶，特别是一种扩散炉用POCl3自动泄压瓶，它包括顶部带有进气孔（6）和出气孔（7）的瓶体（1），在进气孔（6）上设有进气阀（5），位于进气阀（5）底部的进气管（9）通入瓶体（1）底部；在出气孔（7）上设有出气阀（3）；在瓶体顶部还设有泄压孔（8），泄压孔（8）上设有自动泄压阀（4），且自动泄压阀（4）的出气口与出气阀（3）的出气口相连通。该装置解决了已有的扩散炉用源瓶因压力过高引发爆炸，造成有毒杂质源泄漏的问题。（*该技术在2023年保护过期，可自由使用*）

【技术实现步骤摘要】

本技术涉及晶体硅太阳能电池生产领域，具体来说涉及一种扩散炉用自动泄压瓶。
技术介绍
在晶体硅太阳能电池生产过程中的扩散工艺就是在P（N）型硅片衬底上扩散N（P）型杂质形成PN结。POCl3是目前磷扩散用得较多的一种杂质源。它是无色透明液体，具有刺激性气味；在潮湿空气中发烟；很容易发生水解；极易挥发。POCl3具腐蚀性，吸入会有致命的危险，烟雾会严重刺激。现有的晶体硅太阳能电池生产过程中扩散炉用POCl3源瓶无任何保护错施，经常因出气口管道堵塞或更换源瓶时未打开出气口手动阀，造成POCl3石英源瓶因压力过大而爆裂漏液。
技术实现思路
为了解决上述问题，本技术提供了一种扩散炉用自动泄压瓶，特别是一种扩散炉用POCl3自动泄压瓶，解决了已有的扩散炉用源瓶已爆裂的问题，减少了安全隐患。本技术的技术方案是：扩散炉用自动泄压瓶，包括顶部带有进气孔和出气孔的瓶体，在进气孔上设有进气阀，位于进气阀底部的进气管通入瓶体底部；在出气孔上设有出气阀；其特征是，在瓶体顶部还设有泄压孔，泄压孔上设有自动泄压阀，且自动泄压阀的出气口与出气阀的出气口相连通。所述自动泄压瓶优选是用于装POCl的自动泄压瓶。所述进气阀、出气阀和自动泄压阀均优选是由聚四氟乙烯材料制作的阀。该材料耐腐蚀。所述自动泄压阀是泄压压力优选为0.0MPa～0.0MPa的泄压阀。自动泄压阀的作用在于当石英源瓶内部压力超过设定压力时，泄压阀自动打开泄压，防止石英源瓶爆裂漏液。所述进气孔的孔径优选小于出气孔和泄压孔的孔径。 所述进气阀与出气阀阀体大小优选不一致，防止安装错误。所述进气阀与出气阀优选为手动阀。该扩散炉用自动泄压瓶，解决了已有的扩散炉用源瓶因压力过高引发爆炸，造成有毒物质泄漏的问题。当压力过大时，安装于源瓶泄压口的耐腐蚀泄压阀自动打开泄压，防止石英源瓶体爆裂漏液。附图说明图1为扩散炉用自动泄压瓶结构示意图其中： 1是瓶体，2是POCl3，3是出气阀，4是自动泄压阀，5是进气阀，6是进气孔，7是出气孔，8是泄压孔，9是进气管。具体实施方式为使本技术的上述目的、特征和优点能够更加明显易懂，下面结合附图说明本技术的实施方式，以用于装POCl3的自动泄压源瓶为例：POCl3液态源扩散方法具有生产效率较高，得到PN结均匀、平整和扩散层表面良好等优点。在扩散工艺过程中，有氧气的存在时，POCl3热分解的反应生成P2O5及 Cl2。生成的P2O5又进一步与硅作用，生成SiO2和磷原子。如图1所示，扩散炉用自动泄压瓶，包括顶部带有进气孔6和出气孔7的瓶体1，在进气孔6上设有进气阀5，位于进气阀5底部的进气管9通入瓶体1底部；在出气孔7上设有出气阀3；其特征是，在瓶体顶部还设有泄压孔8，泄压孔8上设有自动泄压阀4，且自动泄压阀4的出气口与出气阀3的出气口相连通。所述自动泄压瓶优选是用于装POCl3的自动泄压瓶。所述进气阀5、出气阀3和自动泄压阀4均优选是由聚四氟乙烯材料制作的阀。该材料耐腐蚀。所述自动泄压阀4是泄压压力优选为0.05MPa～0.08MPa的泄压阀。自动泄压阀的作用在于当石英源瓶内部压力超过设定压力时，泄压阀自动打开泄压，防止石英源瓶爆裂漏液。所述进气孔6的孔径优选小于出气孔7和泄压孔8的孔径。 所述进气阀5与出气阀3阀体大小优选不一致，防止安装错误。所述进气阀5与出气阀3优选为手动阀。该装置解决了已有的扩散炉用POCl3源瓶因压力过高引发爆炸，造成POCl3泄漏的问题。在扩散工艺过程中，因各种原因导致用于盛装POCl3的石英源瓶内部压力过高时，安装于源瓶泄压口的耐腐蚀泄压阀自动打开泄压，防止石英源瓶爆裂漏液。以上显示和描述了本技术的基本原理、主要特征和本技术的优点。本行业的技术人员应该了解，本技术不受上述实施例的限制，上述实施例和说明书中描述的只是本技术的原理，在不脱离本技术精神和范围的前提下本技术还会有各种变化和改进，这些变化和改进都落入要求保护的本技术的范围内。本技术要求的保护范围由所附的权利要求书及其等同物界定。 本文档来自技高网...

【技术保护点】
扩散炉用自动泄压瓶，包括顶部带有进气孔（6）和出气孔（7）的瓶体（1），在进气孔（6）上设有进气阀（5），位于进气阀（5）底部的进气管（9）通入瓶体（1）底部；在出气孔（7）上设有出气阀（3）；其特征是，在瓶体顶部还设有泄压孔（8），泄压孔（8）上设有自动泄压阀（4），且自动泄压阀（4）的出气口与出气阀（3）的出气口相连通。

【技术特征摘要】
1.扩散炉用自动泄压瓶，包括顶部带有进气孔（6）和出气孔（7）的瓶体（1），在进气孔（6）上设有进气阀（5），位于进气阀（5）底部的进气管（9）通入瓶体（1）底部；在出气孔（7）上设有出气阀（3）；其特征是，在瓶体顶部还设有泄压孔（8），泄压孔（8）上设有自动泄压阀（4），且自动泄压阀（4）的出气口与出气阀（3）的出气口相连通。
2.根据权利要求1所述扩散炉用自动泄压瓶，其特征是，所述自动泄压瓶是用于装POCl3的自动泄压瓶。
3.根据权利要求1或2所述扩散炉用...

【专利技术属性】
技术研发人员：成秋云，吴得轶，
申请(专利权)人：湖南红太阳光电科技有限公司，
类型：实用新型
国别省市：