【技术实现步骤摘要】
本专利技术涉及一种微合金工艺,属于光电子领域。
技术介绍
微合金技术是LED生产过程中必不可少的工艺步骤,微合金工艺的优劣直接决定了LED芯片电极的可靠性及牢固性,而目前由于微合金工艺存在的一些缺陷,导致微合金后批量出现掉电极等现象,造成生产成本的浪费。
技术实现思路
本专利技术针对现有技术存在的不足,提供一种微合金工艺。 本专利技术解决上述技术问题的技术方案如下:一种微合金工艺,其特征在于,所述工艺步骤如下:(1) 打开合金炉,将合金炉的气压调整到45-55psi,将合金炉的温度升至300℃,稳定10分钟;(2) 将芯片放至载片台上,将载片台载入合金炉内;(3) 微合金过程如下:预热1.5min→恒温8min→炉口冷却2.5min→炉外冷却3min;(4)合金完后,退出合金炉,将芯片取出。本专利技术的有益效果是:本工艺通过对微合金的工艺进行改进,增加了微合金的稳定性,减少掉电极的现象,从而提高了产品的良率。具体实施方式以下对本专利技术的原理和特征进行描述,所举实例只用于解释本专利技术,并非用于限定本专利技术的范围。一种微合金工艺,其特征在于,所述工艺步骤如下:(1) 打开合金炉,将合金炉的气压调整到45-55psi,将合金炉的温度升至300℃,稳定10分钟;(2) 将芯片放至载片台上,将载片台载入合 ...
【技术保护点】
一种微合金工艺,其特征在于,所述工艺步骤如下:打开合金炉,将合金炉的气压调整到45‑55psi,将合金炉的温度升至300℃,稳定10分钟;将芯片放至载片台上,将载片台载入合金炉内;微合金过程如下:预热1.5min→恒温8min→炉口冷却2.5min→炉外冷却3min;合金完后,退出合金炉,将芯片取出。
【技术特征摘要】
1.一种微合金工艺,其特征在于,所述工艺步骤如下:
打开合金炉,将合金炉的气压调整到45-55psi,将合金炉的温度升至300℃,稳定10分钟;
将芯片放至载片...
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