一种成型机，包括：在规定位置形成有供给口（２１５）的缸部件；安装于上述供给口（２１５）、通过供给口（２１５）将成型材料供给到缸部件内的成型材料供给装置；设置于上述供给口（２１５）周围的规定位置的热电冷却元件（２６１～２６４）。此时，由于...

本发明提供线性电动机及其制造方法以及使用了该线性电动机的载物台装置。线圈部（６０）用盖部件（７８）覆盖用铸型（树脂件）（７６）将２列线圈（６６）一体化了的部件。在铸型（７６）的表面形成玻璃膜（８０）。玻璃膜（８０）为无机材料，所以具有绝...

本发明提供一种载物台装置。减弱支撑于在某个一水平方向可移动的第一工作台上的第二工作台的振动。该载物台装置具备：ＸＹ工作台，在Ｘ方向可移动；Ｚ轴工作台，由支撑部支撑在ＸＹ工作台上的Ｚ轴；一对标尺，在Ｘ方向互相分开配置，检查Ｚ轴工作台的Ｚ方...

本发明提供一种能够在对基台下的构造提高设计的自由度的同时抑制大型化的台装置。一种具备基台（１０）、和在基台（１０）上可沿一轴方向移动地设置的台架部（３０）的台装置（１），具备：伸出片（５２），设置为使其向基台（１）的侧方伸出，设置有沿着...

本发明提供一种通过提高基台的刚性、能够不降低生产能力而在基台上正确地处理基板的台装置。台装置（１）具备基台（１０）、在基台（１０）上可移动地设置的台架部（３０）、和支撑基台（１０）的除振单元（５０）。基台（１０）具有将罐部件以框状连结而...

一种制造一个微结构的方法，包括首先制备一个包括第一膜和紧贴在第一膜上的第二膜的叠层基底，第二膜是用可以被同步辐射光所蚀刻的材料制成。一个带有一种图形的掩模件紧贴在层叠结构的第二膜的表面上或者与第二膜表面保持一段距离，掩模件的图形是由同步...

一种离子喷镀装置，其特征在于在这种离子喷镀装置中在真空容器上配设带有磁铁部件的多个等离子体枪、在多个等离子体枪中各自设有导向线圈、在真空容器中与多个等离子体枪相对应配设有多个炉床，在上述多个炉床的周围各自设有环状永久磁铁，相邻的２个等离...

掩模１０由具有激光加工用的加工图案的金属材料构成的掩模部件层１２和从上、下两面把掩模部件层夹持的激光透过材料构成的第１、第２基板部件１１、１３构成。

一种激光加工用掩模的制造方法，具有预定的加工图案，包括：在由激光透过材料形成的第１基板部件的一面形成由激光的反射材料构成的材料层的第１工序，在材料层上形成加工图案的第２工序，以及在形成了加工图案的材料层的没有形成第１基板部件的一侧接合由...

本发明提供一种气雾剂清洗装置及其控制方法，其中，设置了气雾剂备用状态，使冷冻装置保持运转状态地对气雾剂生成气体的供给加以中断，从而能够实现缩短气雾剂生成时间和减少氩气和氮气的消耗量。

一种多晶膜制造方法，包括以下步骤：　　　　（ａ）制备一个表面上具有由非晶态材料制成的薄膜的工件；　　　　（ｂ）向该薄膜施加脉冲激光束，以将该薄膜熔融，该脉冲激光束在该薄膜表面上沿一个方向具有细长形光束截面，之后使该薄膜凝固，以在沿光束入...

本发明提供一种可以减小表面电阻变化的激光退火方法。在由半导体材料构成的基板的深度比１００ｎｍ浅的表层部添加杂质。对基板照射从激光二极管激励型全固体激光振荡器射出的激光束或其高次谐波束，使杂质活性化。

本发明涉及一种通过平面电机可相对Ｘ－Ｙ方向和旋转方向高精度动作的载物台装置，其所要解决的技术问题是要求装置小型化的同时，高精度地进行载物台相对基座的位置测定。本载物台装置设有在基座（２３１）上的整个表面有刻度部的刻度组件（２３３），在驱...

本发明涉及进行高精度移动的台的状态的检测的检测装置及台装置，目的是提供一种使用容易制造的形状的基准栅格、能够检测台的５个自由度的状态、并且能够提高检测的精度的检测装置及台装置。通过具备朝向基准栅格照射光的光源部、通过多个开口部将光分光为...

本发明的目的是能够稳定且精密地控制θ工作台的转动动作。载物台装置（１０Ａ）具有在平台（２０）上移动的载物台（３０）、和载置在载物台（３０）上的θ工作台（４０）。载物台（３０）具有沿Ｙ方向移动的Ｙ载物台（３６）、和沿与Ｙ方向正交的Ｘ方向移...

本发明提供一种平台用的反作用力处理装置，使直线电动机的反作用力不通过地面传播到平台。平台用反作用力处理装置（１００）具有第一地面下结构体（１１０）和第二地面下结构体（１２０），第一地面下结构体（１１０）支撑平台装置（１０）的架台（１２）...

本发明的目的为不需要支持载放工件的吸附板的石基台，对应工件的大型化、且确保载台的位置精度。载台装置（１０）具有：固定在地面上的架台（１２）；被支持在架台（１２）上的一对导向部（１４Ａ、１４Ｂ）；横架在一对导向部（１４Ａ、１４Ｂ）之间，两...

本发明提供一种平台装置，可以确保平台位置检测精度。平台装置（１０）的Ｙ平台（１８）具有：在Ｘ方向横架在引导部（１４Ａ、１４Ｂ）上方的横架部（３０）和与横架部（３０）的两端结合且沿引导部（１４Ａ、１４Ｂ）移动的一对滑块（３２Ａ、３２Ｂ）。...

本发明的搬运物浮起组件（５０）包括从设置在上面（５２）侧的吹气口（５４）吹出空气的吹气流路（６６）、及从设置在上面（５２）侧的吸气口（５６）吸引空气的吸气流路（６４）。吹气流路（６６）具有流路截面积不同的大流路（７０）和小流路（６８），...

本发明涉及结晶膜以及利用激光制造结晶膜的方法。根据本发明，首先提供一个表面上具有由非晶态材料制成的薄膜的工件。接着，向该薄膜施加脉冲激光束，该脉冲激光束在沿该薄膜的表面上沿一个方向具有细长形光束截面，通过该脉冲激光束，该薄膜被熔融，之后...