离子喷镀装置制造方法及图纸

一种离子喷镀装置，其特征在于在这种离子喷镀装置中在真空容器上配设带有磁铁部件的多个等离子体枪、在多个等离子体枪中各自设有导向线圈、在真空容器中与多个等离子体枪相对应配设有多个炉床，在上述多个炉床的周围各自设有环状永久磁铁，相邻的２个等离子体枪上的２个上述磁铁部件的磁极取向、２个上述导向线圈的磁极取向以及２个上述环状永久磁铁的磁极取向分别互为反向。（*该技术在2017年保护过期，可自由使用*）

【技术实现步骤摘要】
【国外来华专利技术】
本专利技术涉及一种具备有多个等离子体枪的离子喷镀装置。采用压力倾斜型的等离子体枪的离子喷镀装置以其可在基板上形成品质良好的膜而闻名。但是，因由等离子体枪所产生的等离子体束扭曲导致在基板上形成的膜的厚度不均匀。于是，本专利技术者等在用作阳极的炉床周围设置环状的永久磁铁，提出了减少等离子体束扭曲的离子喷镀装置。下面参照附图说明图1、图2对这个离子喷镀装置进行说明。压力倾斜型的等离子体枪101带有阴极102、第1中间电极103和第2中间电极104。第1中间电极103内设有环状永久磁铁，第2中间电极104内设有电磁线圈。在等离子体枪101的周围设有导向线圈105。在真空容器106内的上方配设有要被处理的基板107，在真空容器106内的下方配设有作为阳极的炉床108。在炉床108的周围设置着环状永久磁铁109。再参照图3对等离子体枪101、导向线圈105以及环状永久磁铁109进行说明。在第2中间电极104内所设的电磁线圈方面，把从线圈中心出来磁力线的那一侧称为N极。把第1中间电极103朝第2中间电极104的那一侧作为“S极”，把第2中间电极104以及导向线圈105朝第1中间电极103的那本文档来自技高网...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
【国外来华专利技术】1．一种离子喷镀装置，其特征在于在这种离子喷镀装置中在真空容器上配设带有磁铁部件的多个等离子体枪、在多个等离子体枪中各自设有导向线圈、在真空容器中与多个等离子体枪相对应配设有多个炉床，在上述多个炉床的周围各自设有环状永久磁铁，相邻的2个等离子体枪上的2个上述磁铁部件的磁极取向、2个上述导向线圈的磁极取向以及2个上述环状永久磁铁的磁极取向分别互为反向。2．根据权利要求1所述的一种离子喷镀装置，其特征在于在这种离子喷镀装置中通过在真...

【专利技术属性】
技术研发人员：酒见俊之，田中胜，
申请(专利权)人：住友重机械工业株式会社，
类型：发明
国别省市：