本发明公开了一种单晶硅片抛光设备及其抛光方法，涉及单晶硅片生产技术领域，包括安置座和抛光组件，所述安置座的上端左侧中部设置有上料输送带，且安置座的上端右侧中部设置有下料输送带，所述安置座的上端靠近边缘处设置有固定框。本发明实现对单晶硅片...

本发明公开了一种硅片加工分片装置及其分片方法，涉及硅片加工技术领域，包括安装座和辅助组件，所述安装座左侧安装有水箱，且所述水箱内部安装有承托架，所述承托架外部安装有分片机构，所述承托架包括电动伸缩杆和拖物盘，且所述电动伸缩杆输出端连接有...

本发明涉及硅棒清理技术领域，具体的说是一种磨损率低的单晶硅棒清洗脱胶机构，包括固定箱，所述固定箱内部安装有放置机构，所述固定箱一侧安装有驱动机构，所述固定箱上连接有闭合机构，所述固定箱上安装有清洗机构，所述固定箱内部安装有过滤机构，所述...

本发明涉及一种化学真空泵，可用于抽吸夹带有粉尘颗粒或可凝性物质的腐蚀性化学气体，并提供高真空或超高真空环境，包括驱动腔和设在驱动腔两侧的两个气缸，气缸的内壁设有防腐层；气缸的两端分别设有外缸盖和内缸盖；内缸盖与驱动腔左右两侧的侧板固定连...