【技术实现步骤摘要】
一种磨损率低的单晶硅棒清洗脱胶机构
[0001]本专利技术涉及硅棒清洗
,具体的说是一种磨损率低的单晶硅棒清洗脱胶机构。
技术介绍
[0002]单晶硅通常指的是硅原子的一种排列形式形成的物质,硅是最常见应用最广的半导体材料,当熔融的单质硅凝固时,硅原子以金刚石晶格排列成晶核,其晶核长成晶面取向相同的晶粒,通过区熔或直拉工艺在炉膛中整形或提拉形成的硅单晶体棒,广泛应用与芯片制造和电子元器件的生产。
[0003]现有技术专利号为:201811035833.6一种磨损率低的单晶硅棒清洗脱胶机构,能够够对单晶硅棒进行清洗,然而在清洗过程中不方便对硅棒进行很好的上下料,操作起来十分不方便,并且操作不当容易造成硅棒碰撞磨损,同时不方便在上下料时很好的对水源输送控制,容易造成水资源浪费,并且缺乏过滤装置,容易造成喷头堵塞,清洗后的污水中的胶水不方便进行筛除,容易堵塞内部排水管道,造成二次污染。
技术实现思路
[0004]针对现有技术中的问题,本专利技术提供了一种磨损率低的单晶硅棒清洗脱胶机构。
[00 ...
【技术保护点】
【技术特征摘要】
1.一种磨损率低的单晶硅棒清洗脱胶机构,其特征在于,包括固定箱(1),所述固定箱(1)内部安装有放置机构(2),所述固定箱(1)一侧安装有驱动机构(3),所述固定箱(1)上连接有闭合机构(4),所述固定箱(1)上安装有清洗机构(5),所述固定箱(1)内部安装有过滤机构(6),所述固定箱(1)内部连接有收集机构(7);所述放置机构(2)包括支撑板(204),所述固定箱(1)内部两侧分别安装有支撑板(204),所述固定箱(1)内部滑动连接有固定框(201),所述固定框(201)与两个支撑板(204)滑动连接,所述固定框(201)延伸至固定箱(1)外部,所述固定框(201)与固定箱(1)内侧之间连接有两个抵触弹簧(207),两个所述支撑板(204)上安装有多个超声波(206),所述固定框(201)上转动连接有多个等距分布的滚轴(202);所述驱动机构(3)包括转套(301),所述固定框(201)一端内部转动连接有多个等距分布的转套(301),多个所述转套(301)一端分别与多个所述滚轴(202)连接,所述转套(301)延伸至固定框(201)外部,所述固定箱(1)一侧可拆卸连接有固定壳(305),所述固定壳(305)上可拆卸连接有电机(304),所述固定箱(1)一侧转动连接有多个等距分布的驱动轴(308),所述驱动轴(308)一端延伸至固定箱(1)内部,所述驱动轴(308)一端与固定套一端内部均为六棱柱形结构,所述驱动轴(308)另一端延伸至固定壳(305)内部,多个所述驱动轴(308)另一端分别固定连接有链轮(307),多个所述链轮(307)通过链条(306)连接,所述电机(304)输出轴延伸至固定壳(305)内部与其中一个驱动轴(308)连接。2.根据权利要求1所述的一种磨损率低的单晶硅棒清洗脱胶机构,其特征在于:两个所述支撑板(204)上分别转动连接有多个等距分布的导轮(205),所述导轮(205)与固定框(201)两侧抵触,所述固定框(201)一端转动连接有滚轮(203),所述固定箱(1)底部内侧设有收集槽(208),所述收集槽(208)位于固定框(201)底部,所述固定箱(1)一侧安装有排污阀(209),所述排污阀(209)与收集槽(208)连通。3.根据权利要求1所述的一种磨损率低的单晶硅棒清洗脱胶机构,其特征在于:所述固定框(201)两端内侧分别固定连接有多个挡板(303),所述挡板(303)为圆盘形结构,所述挡板(303)位于两个滚轴(202)之间,两个所述挡板(303)之间连接有刮板(302),所述刮板(302)与单晶硅棒抵触。4.根据权利要求1所述的一种磨损率低的单晶硅棒清洗脱胶机构,其特征在于:所述闭合机构(4)包括盖板(401),所述固定箱(1)一侧转动连接所述盖板(401),所述盖板(401)上安装有推块(402),所述推块(402)为三角形结构,所述固定箱(1)一侧内部设有卡槽(406),所述盖板(401)一端安装有卡销(403),所述卡销(403)通过复位弹簧(407)与盖板(401)滑动连接,所述卡...
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