一种化学真空泵制造技术

本发明专利技术涉及一种化学真空泵，可用于抽吸夹带有粉尘颗粒或可凝性物质的腐蚀性化学气体，并提供高真空或超高真空环境，包括驱动腔和设在驱动腔两侧的两个气缸，气缸的内壁设有防腐层；气缸的两端分别设有外缸盖和内缸盖；内缸盖与驱动腔左右两侧的侧板固定连接；气缸内设有与其内壁滑动密封的活塞；活塞通过一贯穿内缸盖的活塞杆与驱动组件固定连接；活塞杆与内缸盖之间滑动密封配合；活塞将相应气缸的内腔分隔为独立的外气室和内气室；外气室内设有旋风板一，其与外缸盖形成外旋风室；内气室内设有旋风板二，其与内缸盖形成内旋风室；外旋风室和内旋风室的侧壁上分别设置有与气缸的缸壁相切的进气阀和出气阀，进气阀和出气阀均为单向阀。单向阀。

【技术实现步骤摘要】
一种化学真空泵


[0001]本专利技术涉及一种真空泵，具体涉及一种可用于抽吸腐蚀性化学气体以提供真空环境的化学真空泵。

技术介绍

[0002]真空是指在给定空间内，气体压强低于一个大气压的气体状态，完全没有任何气体的状态叫绝对真空，一般我们所说的真空是指相对真空，即能达到的最低压强下，每立方米气体中仍然有少数气体分子存在。20世纪初以后真空技术不断发展，真空设备种类越来越多，应用领域也逐渐扩大。
[0003]按照真空泵的工作原理，可以将其分为气体传输泵和气体捕集泵两种基本类型。气体传输泵主要通过不断的吸入和排除气体达到抽气目的，气体捕集泵通过使气体分子被吸附或者凝结在泵的内表面上，从而减小容器内的气体分子数目以达到抽气目的。在真空技术中，一般用“真空度”和“压强”来表示真空程度，某空间的压强越低则说明真空度越高，压强越高表示真空度越低。根据各压强范围内不同的物理特点，把真空一般划分为粗真空、低真空、高真空和超高真空几个区域。
[0004]目前常见的真空泵包括如下几类：
[0005]水环真空泵，其是一种变容积泵，可用于抽除易燃、易爆及腐蚀性气体，还可用于抽除含尘和水分的气体。具有结构简单、易维修、磨损小、安全性高、不会污染被输送气体等优点，缺点是效率不高，且获得真空度不高(粗真空)。
[0006]旋片真空泵，其是最基本的真空获得设备之一，它是一种油封式机械真空泵，适用于密闭系统的气体抽取，如真空包装、真空成形、真空吸引等，但不可用于抽除含氧量高、对金属有腐蚀性、可与泵油起化学反应、含有颗粒尘埃的气体，也不能抽除水或其他液体。
[0007]滑阀真空泵，属于一种油封式变容真空泵，可用于抽取一般性气体或者含有少量气凝性气体，相比旋片泵，可在高压强下工作(104Pa)、抽气量大、可以在较恶劣的工况下使用和经久耐用等优点，主要应用在真空冶炼、真空干燥、真空浸渍、真空蒸馏等方面。但滑阀泵的铸件重，加工工作量大，且存在振动、噪声大，易喷油和漏油等缺陷。
[0008]罗茨真空泵，具有启动快、功耗小、抽速大等优点，能够抽除含有水蒸气和灰尘的气体，能敏捷抽除忽然放出的气体，使用罗茨泵可以减少抽气时间，提升生产效率。目前国产罗茨泵与进口产品相比市场份额较小，为了达到抢占国内市场以及进入国际市场的目的，国产企业需在降低振动噪声、解决轴封漏油、提升泵内的光洁度和清洁度方面对国产产品进行改进。
[0009]干式螺旋真空泵，是一种相对较新的真空获得设备，具有可靠性高、使用寿命长、动力平衡性能好、适应强、能够多相混合输送等特点，可以抽除有腐蚀性的、有毒、含有粉尘的气体以及可凝性蒸汽等多种气体。干泵的应用范围非常广泛，代表行业包括半导体行业、化工行业、薄膜工业等，来自这三个行业的需求是干泵市场的主要驱动力。但干式螺旋真空泵价格昂贵，且目前主要以进口产品为主，一般企业难以承受其使用成本。
[0010]活塞式真空泵，作为一种容积式泵，依靠活塞与缸体之间的密封使气缸容积变化过程中达到优良的密封效果，保证了容积变化的可靠性，进而保证了真空度。又由于运行速度较慢，可以有效延长活塞密封以及与密封接触的防腐处理层的使用寿命，从而可以在需要处理腐蚀性气体的场合进行很好的工作。但由于活塞与缸内壁紧密贴合的结构特性，此类真空泵对应被抽吸气体的洁净程度和可凝性物质含量均有严格要求，否则进入缸体内的颗粒物极易对缸体内壁的防腐层产生磨损，从而导致防腐性能消失，甚至密封不严而导致报废。

技术实现思路

[0011]为解决心有技术中的上述问题，本专利技术提供一种化学真空泵。其能够适用于微量或少量含尘或夹带有少量可凝性组分的腐蚀性化学气体的抽真空作业，并能够保持相对于传统活塞泵更长的使用寿命。
[0012]具体的，本专利技术提供一种化学真空泵，其包括内部设有驱动组件的驱动腔，及分设在所述驱动腔左右两侧的两个气缸，所述气缸的内壁设有防腐层，所述防腐层可以隔绝被抽吸气体中的腐蚀性物质与气缸主体材料的接触，从而防止因腐蚀造成气缸壁材料缺损，进而导致密封不严，甚至真空泵报废。
[0013]所述驱动腔包括底座和垂直设置在所述底座上，并围合出所述驱动腔的腔室的侧板，优选所述驱动腔的腔室为正方体腔室，还包括用于封盖所述驱动腔的顶部开口的顶板。
[0014]优选的，所述驱动腔左侧和右侧的两个相对的侧板之间固定有两根相互平行的导向杆；且两根所述导向杆所处的平面垂直于与其固定连接的侧板及底座。所述导向杆优选有低弹性的材料制作，从而能够提供稳定的导向作用。
[0015]所述驱动组件可滑动的设置在所述两根导向杆上，从而可以在所述导向杆的引导下往复滑动。
[0016]所述气缸在远离所述驱动腔的一端设置有外缸盖，在靠近所述驱动腔的一端设置有内缸盖；两个所述气缸分别通过相应的内缸盖与所述驱动腔左右两侧的侧板固定连接。该处所述固定连接的方式可以是螺栓连接、铆接、焊接等本领域常规的连接方式，此处不再赘述。
[0017]每一个所述气缸内均设有一个与所述气缸的内壁滑动密封的活塞；所述活塞优选采用防腐材料制作，或者至少经防腐材料进行表面处理，从而允许在腐蚀性气氛下保持足够长时间的尺寸和结构稳定性。
[0018]所述活塞靠近所述驱动腔的一侧固定有活塞杆，两个所述活塞杆分别贯穿相应的内缸盖，并与设在所述驱动腔内的驱动组件固定连接；所述活塞杆与所述内缸盖之间呈滑动密封配合，从而当所述驱动组件在所述驱动腔内沿所述导向杆往复滑动时，可以通过两根所述活塞杆带动位于左右两个气缸内的活塞往复滑动。
[0019]优选的，所述活塞杆也采用防腐材料制作或至少经防腐材料进行表面处理，从而不会因腐蚀导致活塞杆表面的材料缺损，进而与所述内缸盖之间密封不严。
[0020]所述活塞将相应气缸的内腔分隔为两个独立的气室(指两个气室之间不存在气体流路)，为便于区分，本申请中将每个气缸中远离所述驱动腔的气室称为外气室，将靠近所述驱动腔的气室称为内气室。
[0021]其中，所述外气室内设有旋风板一，其与所述外缸盖形成外旋风室；所述内气室内设有旋风板二，其与所述内缸盖形成内旋风室；所述旋风板一，和旋风板二均为垂直于所述气缸的轴线的圆环板；其中，所述旋风板一的中部设有中心孔一，所述旋风板二的中部设有中心孔二；所述中心孔二的直径大于所述活塞杆的直径，从而所述活塞杆可以穿过所述中心孔二以连接所述活塞。
[0022]优选的，所述中心孔二与所述活塞杆的外壁形成的环隙面积与所述中心孔一的面积相等，从而允许在所述中心孔一和所述中心孔二处形成相当的进出气阻力。
[0023]所述外旋风室和内旋风室的侧壁上分别设置有与所述气缸的缸壁相切向的进气阀和出气阀，所述进气阀和出气阀均为单向阀。
[0024]所述进气阀和出气阀被布置在相应旋风室的同一圆形截面上，且允许气体在经所述进气阀进入相应旋风室或从所述旋风室经出气阀排出时，在所述旋风室内保持相同的旋转方向。
[0025]在所述旋风板一和旋风板二的外周处均设置有若干沿圆周分布的排风口，其中，旋风板本文档来自技高网...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.一种化学真空泵，包括内部设有驱动组件的驱动腔(1)，分设在所述驱动腔(1)左右两侧的两个气缸(2)，所述气缸(2)的内壁设有防腐层；所述驱动腔(1)包括底座(12)，垂直设置在所述底座(12)上，且用于围合出所述驱动腔(1)的腔室的侧板(13)；其特征在于：驱动腔(1)左侧和右侧的两个相对的侧板(13)之间固定有两根相互平行的导向杆(9)；且两根所述导向杆(9)所处的平面垂直于与其固定连接的侧板(13)及底座(12)；所述驱动组件可滑动的设置在所述两根导向杆(9)上；所述气缸(2)的两端分别设有外缸盖(29)和内缸盖(30)；所述内缸盖(30)与所述驱动腔(1)左右两侧的侧板(13)固定连接；所述气缸(2)内设有与气缸(2)的内壁滑动密封的活塞(5)；所述活塞(5)通过一贯穿所述内缸盖(30)的活塞杆(7)与驱动组件固定连接；所述活塞杆(7)与所述内缸盖(30)之间滑动密封配合；所述活塞(5)将相应气缸(2)的内腔分隔为独立的外气室和内气室；所述外气室内设有旋风板一(10)，其与外缸盖(29)形成外旋风室；所述内气室内设有旋风板二(11)，其与所述内缸盖(30)形成内旋风室；所述外旋风室和内旋风室的侧壁上分别设置有与所述气缸(2)的缸壁相切的进气阀(3)和出气阀(4)，所述进气阀(3)和出气阀(4)均为单向阀。2.如权利要求1所述的化学真空泵，其特征在于：所述旋风板一(10)和旋风板二(11)均为垂直于所述气缸(2)的轴线的圆环板；所述旋风板一(10)的中部设有中心孔一(23)，所述旋风板二(11)的中部设有中心孔二(24)；所述中心孔二(24)的直径大于所述活塞杆(7)的直径；优选所述中心孔二(24)与所述活塞杆(7)的外壁形成的环隙面积与所述中心孔一(23)的面积相等。3.如权利要求1所述的化学真空泵，其特征在于：所述进气阀(3)和出气阀(4)被布置在相应旋风室的同一圆形截面上，且允许气体在经所述进气阀(3)进入相应旋风室或从所述旋风室经出气阀(4)排出时，在所述旋风室内保持相同的旋转方向。4.如权利要求3所述的化学真空泵，其特征在于：在所述旋...

【专利技术属性】
技术研发人员：朱秀洁，
申请(专利权)人：朱秀洁，
类型：发明
国别省市：