本发明涉及一种波纹管泵。本发明的一实施例的波纹管泵可包括：主体，在内部形成有抽吸并供应药液的泵室；波纹管，收缩或者膨胀地设置在所述泵室，并且压缩并供应流进所述泵室的药液；移动轴，贯通所述主体的中心并且可移动地设置，两侧边缘与分别配置在所...

本发明涉及一种波纹管泵。本发明的一实施例的波纹管泵，使用于半导体工艺，包括：主体，在内部形成有抽吸并供应药液的一对泵室，并且具有压缩并供应流进所述泵室的药液的一对波纹管；盖，分别以螺纹结合组装于所述主体两侧，以堵住所述泵室的开放的部分以...