波纹管泵制造技术

本发明专利技术涉及一种波纹管泵。本发明专利技术的一实施例的波纹管泵，使用于半导体工艺，包括：主体，在内部形成有抽吸并供应药液的一对泵室，并且具有压缩并供应流进所述泵室的药液的一对波纹管；盖，分别以螺纹结合组装于所述主体两侧，以堵住所述泵室的开放的部分以进行封闭；及控制主体，结合于组装所述盖的所述主体的一侧面，并且控制向所述主体内部供应压缩空气；在所述盖压入并且结合组装于所述主体的压入式肋条，将向外侧凸出压入的所述前端圆周面的面加工部面加工成与所述主体的一侧面相对应，所述控制主体的至少一部分可紧贴接触于所述面加工部。加工部。加工部。

【技术实现步骤摘要】
波纹管泵


[0001]本专利技术涉及波纹管泵。

技术介绍

[0002]通常，波纹管泵利用于半导体制造设备，例如，在半导体制造装置的IC或者液晶的表面清洗等各种处理中使用的药液循环输送等。
[0003]这种波纹管泵可包括：构成外形的主体；一对波纹管，设置在所述主体，加压并排放药液；移动轴，若通过供应压缩空气交替移动所述波纹管，则实现膨胀/收缩；压缩板，分别配置在所述一对波纹管。
[0004]此时，在所述主体的内部形成设置所述波纹管的一对泵室，为了封闭所述泵室，在主体的两侧分别紧固盖。所述盖通过螺纹结合组装在主体的两侧，与所述主体组装的前端圆周面可被压入并且组装于形成在主体两侧面的压入槽。
[0005]如此，在盖组装于主体之后使用的过程中，存在盖以拆卸方向旋转的问题。即，由于盖通过螺纹结合组装于主体，因此因为在波纹管泵的驱动中产生的振动等而以组装方向的反方向旋转，进而出现与主体的组装被拆卸或者松懈的问题。

技术实现思路

[0006]技术问题
[0007]本专利技术提供一种具有可防止在波纹管泵的主体组装的盖以拆卸方向旋转的结构的波纹管泵。
[0008]技术方案
[0009]本专利技术的一实施例的波纹管泵使用于半导体工艺，包括：主体，在内部形成有抽吸并供应药液的一对泵室，并且具有压缩并供应流进所述泵室的药液的一对波纹管；盖，具有螺纹结合于所述主体两侧的螺纹结合部，并且堵住所述泵室的开放的部分以进行封闭；及控制主体，结合于组装所述盖的所述主体的一侧面，并且控制向所述主体内部供应压缩空气；配置在所述螺纹结合部前端的压入式肋条在组装过程中压入并结合于所述主体，将在压入的所述压入式肋条中向外侧凸出的部分面加工，以与所述主体的一侧面相对应，进而形成面加工部；所述控制主体的至少一部分可紧贴接触于所述面加工部。
[0010]在所述控制主体的两侧面可凸出配置与所述面加工部紧贴接触的止动件。
[0011]所述盖形成为圆筒形状，而所述主体的两侧面可形成与所述盖的直径相对应的大小。
[0012]在所述主体的两侧面沿着圆周方向形成压入所述压入式肋条的压入槽，在所述主体的两侧面中位于上端角落、下端角落及侧端角落的所述压入槽可向外侧开口。
[0013]将位于形成在所述侧端角落的压入槽的所述压入式肋条中向外侧凸出的部分面加工，可形成所述面加工部。
[0014]位于形成在所述上端角落及下端角落的压入槽的所述压入式肋条中，向外侧凸出
的部分可位于形成在所述主体的板压入槽上。
[0015]在所述控制主体的一侧面可具有锁定部，所述锁定部滑动结合于形成在所述主体的锁定槽。
[0016]在所述主体的上面及下面分别结合上部板及下部板，所述下部板在所述控制主体滑动结合于所述锁定槽之后可结合于所述主体的下面。
[0017]有益效果
[0018]本专利技术可防止在本专利技术的一实施例的波纹管泵的主体组装的盖以拆卸方向旋转。从而，在波纹管泵的驱动中也可保持坚固的组装状态，因此可提高产品的可靠性。
附图说明
[0019]图1是本专利技术的一实施例的波纹管泵的立体图。
[0020]图2是示出在本专利技术的一实施例的波纹管泵分离盖的立体图。
[0021]图3是示出在图1的波纹管泵分离控制主体的立体图。
[0022]图4是沿着图1的
Ⅰ‑Ⅰ
线的剖面图。
[0023]图5是沿着图1的
Ⅱ‑Ⅱ
线的剖面图。
[0024](附图标记说明)
[0025]10：主体
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11：移动轴
[0026]12：锁定槽
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14：上部板
[0027]16：下部板
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18：主体螺纹结合部
[0028]20：第一泵室
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22：第二泵室
[0029]24：第一供应室
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26：第二供应室
[0030]28：止回阀
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30：第一波纹管
[0031]32：第二波纹管
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40：第一活塞
[0032]42：第二活塞
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44：第一活塞壳
[0033]46：第二活塞壳
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50：盖
[0034]51：螺纹结合部
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52：压入式肋条
[0035]54：压入槽
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56：板压入槽
[0036]60：面加工部
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70：控制主体
[0037]72：止动件
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74：锁定部
[0038]80：药液流进部
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82：药液排放部
具体实施方式
[0039]对于本专利技术可进行各种改变，并且可具有各种实施例，而且将特定实施例示例于附图并进行详细说明。然而，这并不是要将本专利技术限定于特定实施形态，而是应该理解为包括本专利技术的思想及技术范围内的所有改变、同等物乃至代替物。在本专利技术的说明中，若判断对于相关公知技术的具体说明可使本专利技术的要点不清楚的情况下，省略该详细说明。
[0040]第一、第二等的用语可用于说明各种构件，但是所述构成不限于所述用语。所述用语只以将一构件从另一构件区分的目的使用。
[0041]在本申请中使用的用语只是为了说明特定实施例而使用的，并没有要限定本专利技术
的意图。对于单数的表述，除非在文章有明确表述，否则包括复数的表述。在本申请中，对于“包括”或者“具有”等的用语应该理解为是要指定在说明书上记载的特征、数字、步骤、动作、构件、零部件或者这些的组合的存在，并不提前排除一个或者一个以上的其他特征或者数字、步骤、动作、构件、零部件或者这些的组合的存在或者附加可能性。
[0042]另外，在说明书全文中，说明“连接”时，这不只意味着两个以上的构件直接连接，还可意味着两个以上的构件通过其他构件间接连接、除了物理性连接的以外的电连接、或者根据位置或者功能使用不同名称但是形成一体的。
[0043]以下，参照附图，详细说明本专利技术的波纹管泵的一实施例，在参照附图进行说明时，对于相同或者相对应的构件赋予相同的附图标记，并且省略重复的说明。
[0044]图1是本专利技术的一实施例的波纹管泵的立体图；图2是示出在本专利技术的一实施例的波纹管泵分离盖的立体图；图3是示出在图1的波纹管泵分离控制主体的立体图；
[0045]图4是沿着图1的
Ⅰ‑Ⅰ
线的剖面图；图5是沿着图1的
Ⅱ‑Ⅱ
线的剖面图。
[0046]如图所示，本专利技术的一实施例的波纹管泵可包括：主体10，在内部形成抽吸并供应药液的一对泵室20、22，并且具有压缩并供应流进所述泵室20、22的药液的一对波纹管30、32；盖50，具有螺纹结合于所述主本文档来自技高网...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.一种波纹管泵，使用于半导体工艺，包括：主体，在内部形成有抽吸并供应药液的一对泵室，并且具有压缩并供应流进所述泵室的药液的一对波纹管；盖，具有螺纹结合于所述主体两侧的螺纹结合部，并且堵住所述泵室的开放的部分以进行封闭；及控制主体，结合于组装所述盖的所述主体的一侧面，并且控制向所述主体内部供应压缩空气；配置在所述螺纹结合部前端的压入式肋条在组装过程中压入并结合于所述主体，将在压入的所述压入式肋条中向外侧凸出的部分面加工，以与所述主体的一侧面相对应，进而形成面加工部；所述控制主体的至少一部分紧贴接触于所述面加工部。2.根据权利要求1所述的波纹管泵，其特征在于，在所述控制主体的两侧面凸出配置与所述面加工部紧贴接触的止动件。3.根据权利要求1所述的波纹管泵，其特征在于，所述盖形成为圆筒形状，而所述主体的两侧面形成与所述盖的直径相对应的大小。4.根据权利要求...

【专利技术属性】
技术研发人员：朴海申，李承宗，尹汝俊，朴民镜，
申请(专利权)人：株式会社一诺迪思，
类型：发明
国别省市：