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本发明涉及一种波纹管泵。本发明的一实施例的波纹管泵，使用于半导体工艺，包括：主体，在内部形成有抽吸并供应药液的一对泵室，并且具有压缩并供应流进所述泵室的药液的一对波纹管；盖，分别以螺纹结合组装于所述主体两侧，以堵住所述泵室的开放的部分以进行...
该专利属于株式会社一诺迪思所有，仅供学习研究参考，未经过株式会社一诺迪思授权不得商用。

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