波纹管泵制造技术

本发明专利技术涉及一种波纹管泵。本发明专利技术的一实施例的波纹管泵可包括：主体，在内部形成有抽吸并供应药液的泵室；波纹管，收缩或者膨胀地设置在所述泵室，并且压缩并供应流进所述泵室的药液；移动轴，贯通所述主体的中心并且可移动地设置，两侧边缘与分别配置在所述波纹管的压缩板连接；盖，分别结合于所述主体的两侧，并且堵住所述泵室的开放的部分以进行封闭；活塞壳，前端部结合于所述压缩板，后端部可移动地结合于所述盖的内侧；及活塞，可移动地结合于所述活塞壳，若注入空气，则推动所述活塞壳，以使所述波纹管收缩。使所述波纹管收缩。使所述波纹管收缩。

【技术实现步骤摘要】
波纹管泵


[0001]本专利技术涉及波纹管泵。

技术介绍

[0002]通常，波纹管泵利用于半导体制造设备，例如，在半导体制造装置的IC或者液晶的表面清洗等各种处理中使用的药液循环输送等。
[0003]这种波纹管泵可包括：构成外形的主体；一对波纹管，设置在所述主体，加压并排放药液；移动轴，若通过供应压缩空气交替移动所述波纹管，则实现膨胀/收缩；压缩板，分别配置在所述一对波纹管。
[0004]此时，在所述主体的内部形成设置所述波纹管的一对泵室，为了封闭所述泵室，在主体的两侧分别紧固盖。然后，在主体的内部设置活塞壳，以用于若注入压缩空气则移动的同时使波纹管收缩/膨胀。活塞壳包括壳体和头部，壳体和头部的结合通过贯通一侧的紧固针结合。
[0005]但是贯通所述壳体和头部的紧固针在结合的状态下因为在波纹管泵驱动中产生的振动而松动的同时出现向后方脱落的问题。由于紧固针是未被限制向后方移动，而是只通过压入紧固针结合壳体和头部，因此若紧固针向后脱落，则无法坚固的结合活塞壳。
[0006]另外，以往由主体和活塞壳形成的空间未形成有单本文档来自技高网...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.一种波纹管泵，包括：主体，在内部形成有抽吸并供应药液的泵室；波纹管，收缩或者膨胀地设置在所述泵室，并且压缩并供应流进所述泵室的药液；移动轴，贯通所述主体的中心并且可移动地设置，两侧边缘与分别配置在所述波纹管的压缩板连接；盖，分别结合于所述主体的两侧，并且堵住所述泵室的开放的部分以进行封闭；活塞壳，前端部结合于所述压缩板，后端部可移动地结合于所述盖的内侧；及活塞，可移动地结合于所述活塞壳，若注入空气，则推动所述活塞壳，以使所述波纹管收缩，所述活塞壳包括：头部，结合于所述压缩板；紧固针，贯通所述头部，以结合于所述压缩板；及壳体部，在所述紧固针结合于头部的状态下支撑所述紧固针的后端的同时结合于...

【专利技术属性】
技术研发人员：朴海申，李承宗，尹汝俊，朴民镜，
申请(专利权)人：株式会社一诺迪思，
类型：发明
国别省市：