波纹管泵制造技术

本发明专利技术涉及一种波纹管泵。本发明专利技术的一实施例的波纹管泵可包括：主体，在内部形成有抽吸并供应药液的泵室；波纹管，收缩或者膨胀地设置在所述泵室，并且压缩并供应流进所述泵室的药液；移动轴，贯通所述主体的中心并且可移动地设置，两侧边缘与分别配置在所述波纹管的压缩板连接；盖，分别结合于所述主体的两侧，并且堵住所述泵室的开放的部分以进行封闭；活塞壳，前端部结合于所述压缩板，后端部可移动地结合于所述盖的内侧；及活塞，可移动地结合于所述活塞壳，若注入空气，则推动所述活塞壳，以使所述波纹管收缩。使所述波纹管收缩。使所述波纹管收缩。

【技术实现步骤摘要】
波纹管泵


[0001]本专利技术涉及波纹管泵。

技术介绍

[0002]通常，波纹管泵利用于半导体制造设备，例如，在半导体制造装置的IC或者液晶的表面清洗等各种处理中使用的药液循环输送等。
[0003]这种波纹管泵可包括：构成外形的主体；一对波纹管，设置在所述主体，加压并排放药液；移动轴，若通过供应压缩空气交替移动所述波纹管，则实现膨胀/收缩；压缩板，分别配置在所述一对波纹管。
[0004]此时，在所述主体的内部形成设置所述波纹管的一对泵室，为了封闭所述泵室，在主体的两侧分别紧固盖。然后，在主体的内部设置活塞壳，以用于若注入压缩空气则移动的同时使波纹管收缩/膨胀。活塞壳包括壳体和头部，壳体和头部的结合通过贯通一侧的紧固针结合。
[0005]但是贯通所述壳体和头部的紧固针在结合的状态下因为在波纹管泵驱动中产生的振动而松动的同时出现向后方脱落的问题。由于紧固针是未被限制向后方移动，而是只通过压入紧固针结合壳体和头部，因此若紧固针向后脱落，则无法坚固的结合活塞壳。
[0006]另外，以往由主体和活塞壳形成的空间未形成有单独的排出口，因此存在在活塞壳移动时产生内部压力负载的问题。

技术实现思路

[0007]技术问题
[0008]本专利技术提供一种具有可坚固地结合构成设置在波纹管泵内部的活塞壳的壳体和头部的结构的波纹管泵。
[0009]另外，本专利技术提供一种用于防止在波纹管泵内部产生施加于活塞壳的内部压力负载的波纹管泵。
[0010]技术方案
[0011]本专利技术的一实施例的波纹管泵可包括：主体，在内部形成有抽吸并供应药液的泵室；波纹管，收缩或者膨胀地设置在所述泵室，并且压缩并供应流进所述泵室的药液；移动轴，贯通所述主体的中心并且可移动地设置，两侧边缘与分别配置在所述波纹管的压缩板连接；盖，分别结合于所述主体的两侧，并且堵住所述泵室的开放的部分以进行封闭；活塞壳，前端部结合于所述压缩板，后端部可移动地结合于所述盖的内侧；及活塞，可移动地结合于所述活塞壳，若注入空气，则推动所述活塞壳，以使所述波纹管收缩。
[0012]所述活塞壳可包括：头部，结合于所述压缩板；紧固针，贯通所述头部，以结合于所述压缩板；及壳体部，在所述紧固针结合于头部的状态下支撑所述紧固针的后端的同时结合于所述头部。
[0013]在所述壳体部沿着圆周方向可形成压入式肋条，所述压入式肋条压入并紧固于形
成在所述头部内面的压入槽。
[0014]在所述头部和壳体部可贯通形成通风孔，以与所述活塞所在的外部连通。
[0015]在所述头部向外侧可开口形成排放槽，以排放通过所述通风孔流进的空气。
[0016]在所述波纹管泵的后端部具有用于与所述主体密封的密封部。所述密封部可包括：密封凸起，压入结合所述主体及盖的各两侧，并且间隔的配置成一对；及O型圈，插入于间隔的所述密封凸起之间。
[0017]有益效果
[0018]根据本专利技术的一实施例，可坚固地结合构成设置在波纹管泵内部的活塞壳的壳体部和头部，因此可防止在波纹管泵工作中该结合出现松动。
[0019]另外，在波纹管泵内部未产生施加于活塞壳的内部压力负载，因此波纹管泵可稳定工作。
附图说明
[0020]图1是本专利技术的一实施例的波纹管泵的主剖面图。
[0021]图2是本专利技术的一实施例的波纹管泵的侧剖面图。
[0022]图3是扩大活塞壳的结合结构的剖面图。
[0023]图4是活塞壳的剖面图。
[0024]图5作为图1的虚线部分，是扩大波纹管泵的密封结构的剖面图。
[0025](附图标记说明)
[0026]10:主体
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11:移动轴
[0027]12:锁定槽
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14:上部板
[0028]16:下部板
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18:主体螺纹结合部
[0029]20:泵室
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22:供应室
[0030]28:止回阀
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30:波纹管
[0031]32:压缩板
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40:活塞壳
[0032]41:移动孔
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42:壳体部
[0033]44:卡合凸起
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46:压入式肋条
[0034]50:头部
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51:螺杆
[0035]52:通风孔
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54:排放槽
[0036]56:紧固针
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58:活塞
[0037]59:防脱凸起
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60:盖
[0038]62:螺纹结合部
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70:控制主体
[0039]74:锁定部
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80:药液流进部
[0040]82:药液排放部
具体实施方式
[0041]对于本专利技术可进行各种改变，并且可具有各种实施例，而且将特定实施例示例于附图并进行详细说明。然而，这并不是要将本专利技术限定于特定实施形态，而是应该理解为包括本专利技术的思想及技术范围内的所有改变、同等物乃至代替物。在本专利技术的说明中，若判断
对于相关公知技术的具体说明可使本专利技术的要点不清楚的情况下，省略该详细说明。
[0042]第一、第二等的用语可用于说明各种构件，但是所述构成不限于所述用语。所述用语只以将一构件从另一构件区分的目的使用。
[0043]在本申请中使用的用语只是为了说明特定实施例而使用的，并没有要限定本专利技术的意图。对于单数的表述，除非在文章有明确表述，否则包括复数的表述。在本申请中，对于“包括”或者“具有”等的用语应该理解为是要指定在说明书上记载的特征、数字、步骤、动作、构件、零部件或者这些的组合的存在，并不提前排除一个或者一个以上的其他特征或者数字、步骤、动作、构件、零部件或者这些的组合的存在或者附加可能性。
[0044]另外，在说明书全文中，说明“连接”时，这不只意味着两个以上的构件直接连接，还可意味着两个以上的构件通过其他构件间接连接、除了物理性连接的以外的电连接、或者根据位置或者功能使用不同名称但是形成一体的。
[0045]以下，参照附图，详细说明本专利技术的波纹管泵的一实施例，在参照附图进行说明时，对于相同或者相对应的构件赋予相同的附图标记，并且省略重复的说明。
[0046]图1是本专利技术的一实施例的波纹管泵的主剖面图；图2是本专利技术的一实施例的波纹管泵的侧剖面图；图3是扩大活塞壳的结合结构的剖面图；图4是活塞壳的剖面图；图5作为图1的虚线部分，是扩大波纹管泵的密封结构的剖面图。
[0047]如图所示，本专利技术的一实施例的波纹管泵可包括：主体10，内部形成有抽吸并供应药液的泵室20；波纹管30，收缩或者膨胀地设置在所述本文档来自技高网...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.一种波纹管泵，包括：主体，在内部形成有抽吸并供应药液的泵室；波纹管，收缩或者膨胀地设置在所述泵室，并且压缩并供应流进所述泵室的药液；移动轴，贯通所述主体的中心并且可移动地设置，两侧边缘与分别配置在所述波纹管的压缩板连接；盖，分别结合于所述主体的两侧，并且堵住所述泵室的开放的部分以进行封闭；活塞壳，前端部结合于所述压缩板，后端部可移动地结合于所述盖的内侧；及活塞，可移动地结合于所述活塞壳，若注入空气，则推动所述活塞壳，以使所述波纹管收缩，所述活塞壳包括：头部，结合于所述压缩板；紧固针，贯通所述头部，以结合于所述压缩板；及壳体部，在所述紧固针结合于头部的状态下支撑所述紧固针的后端的同时结合于...

【专利技术属性】
技术研发人员：朴海申，李承宗，尹汝俊，朴民镜，
申请(专利权)人：株式会社一诺迪思，
类型：发明
国别省市：