本发明涉及具有无源器件的供电装置及利用其的用于等离子体点火供电方法。本发明一实施例的具有无源器件的供电装置用于在等离子体发生器内对等离子体进行点火，所述具有无源器件的供电装置包括：开关电源，具有整流器和逆变器；变压器，具有初级绕组及卷绕...

本发明涉及一种等离子体反应器及利用该反应器的等离子体点火方法。本发明的等离子体反应器包括：多个磁芯，具有初级线圈；交流电源供给源，用于向所述初级线圈供给交流电力；多个等离子体腔室主体，设置有所述磁芯，电压直接感应，从而感应产生感应电动势...

本发明提供了在等离子体室中检测电弧的方法和装置。根据本发明的用于检测等离子体室中电弧的装置被设计为检测供应给等离子体室的RF功率的相应的电压和电流值，并计算该电压和电流值的比例以实现对功率的供应的所需控制。当确定电弧产生时，该装置快速控...

公开了一种双向闸阀和具有双向闸阀的衬底加工系统。双向闸阀包括：阀室，其具有与第一室联接的第一入口、与第二室联接的第二入口以及可打开且可关闭阀室盖；移动模块，具有用于密封第一入口的第一密封板、用于密封第二入口的第二密封板以及第一和第二密封...

公开了一种多电感耦合等离子体反应器及其方法。在多电感耦合等离子体反应方法中，用于增进待处理衬底中特定部分的蚀刻方法包括：蚀刻待处理衬底中特定部分；和在被蚀刻的特定部分的表面上沉积钝化层，其中重复进行蚀刻和沉积步骤，当存在由中心等离子体源...