具有无源器件的供电装置及利用其的用于等离子体点火供电方法制造方法及图纸

本发明专利技术涉及具有无源器件的供电装置及利用其的用于等离子体点火供电方法。本发明专利技术一实施例的具有无源器件的供电装置用于在等离子体发生器内对等离子体进行点火，所述具有无源器件的供电装置包括：开关电源，具有整流器和逆变器；变压器，具有初级绕组及卷绕所述初级绕组的铁氧体磁芯；以及共振网络，连接在所述开关电源与所述初级绕组之间，包括共振电感器及共振电容器，所述共振电感器与所述初级绕组串联，所述共振电容器与所述初级绕组并联并与所述共振电感器串联并所述共振网路包括一端与所述共振电容器串联且另一端接地连接的无源器件，通过所述无源器件调节所述逆变器的电压、电流的大小。

Power supply device with passive device and power supply method for plasma ignition using the device

The invention relates to a power supply device with passive components and a power supply method for plasma ignition using the same. An embodiment of the present invention provides a power supply device with a passive device for igniting a plasma in a plasma generator. The power supply device with a passive device includes a switching power supply, a rectifier and an inverter; a transformer, a ferrite core with a primary winding and a winding of the primary winding; and A resonance network is connected between the switching power supply and the primary winding, including a resonant inductor and a resonant capacitor, the resonant inductor in series with the primary winding, the resonant capacitor in parallel with the primary winding and in series with the resonant inductor, the resonant network including one end and the resonant electricity. A passive device connected in series by a container and grounded at the other end regulates the voltage and current of the inverter through the passive device.

【技术实现步骤摘要】
具有无源器件的供电装置及利用其的用于等离子体点火供电方法
本专利技术涉及具有无源器件的供电装置及利用其的用于等离子体点火供电方法，更详细地，涉及用于点火及维持等离子体发生器内的等离子体的具有无源器件的供电装置及利用其的用于等离子体点火供电方法。
技术介绍
等离子体放电可通过激发气体来生成包含离子、自由基、原子及分子的反应气体。反应气体用于包括如半导体晶体的处理固体物质、粉末及其他气体的众多及科学领域。等离子体状态为当对气体基于高能量时，气体被离子化的状态，这种等离子体发生装置用于当代半导体制造工序中的蚀刻、洗涤等，随着半导体市场的扩大，其重要性逐渐增加。通常，在半导体工序中，会经过用于形成半导体的多种工序，在半导体工序中生成的副产物会通过真空泵和净气器(Scruber)排出。此时，有效去除当利用等离子体来进行半导体工序时所发生的微细污染物或氧化物等。在工艺腔内或在工艺腔的外部产生等离子体，其中，在工艺腔的外部产生等离子体的方法利用远程等离子体发生器。远程等离子体发生器(Remoteplasmagenerator)向中性气体施加高电场来将中性气体的一部分分为质子和电子，通过电场的能量产本文档来自技高网...

【技术保护点】
1.一种具有无源器件的供电装置，用于在等离子体发生器内对等离子体进行点火，其特征在于，包括：开关电源，具有整流器和逆变器；变压器，具有初级绕组及卷绕所述初级绕组的铁氧体磁芯；以及共振网络，连接在所述开关电源与所述初级绕组之间，包括共振电感器及共振电容器，所述共振电感器与所述初级绕组串联，所述共振电容器与所述初级绕组并联并与所述共振电感器串联，所述共振网路包括一端与所述共振电容器串联且另一端接地连接的无源器件，通过所述无源器件调节所述逆变器的电压、电流的大小。

【技术特征摘要】
2017.02.24 KR 10-2017-00246471.一种具有无源器件的供电装置，用于在等离子体发生器内对等离子体进行点火，其特征在于，包括：开关电源，具有整流器和逆变器；变压器，具有初级绕组及卷绕所述初级绕组的铁氧体磁芯；以及共振网络，连接在所述开关电源与所述初级绕组之间，包括共振电感器及共振电容器，所述共振电感器与所述初级绕组串联，所述共振电容器与所述初级绕组并联并与所述共振电感器串联，所述共振网路包括一端与所述共振电容器串联且另一端接地连接的无源器件，通过所述无源器件调节所述逆变器的电压、电流的大小。2.根据权利要求1所述的具有无源器件的供电装置，其特征在于，所述无源器件为电阻、电感器、电容器、转换器或继电器中的一种以上。3.根据权利要求1所述的具有无源器件的供电装置，其特征在于，所述等离子体发生器包括呈环形形状的等离子体腔体，所述等离子体腔体包括一个以上的气体入口和一个以上的气体出口，并在内部形成呈环形形状的等离子体放电通道，所述变压器的所述铁氧体磁芯以与所述等离子体放电通道磁链的方式设置于所述等离子体腔体。4.根据权利要求1所述的具有无源器件的供电装置，其特征在于，所述开关电源包括半桥逆变器。5.根据权利要求1所述的具有无源器件的供电装置，其特征在于，所述开关电源包括全桥逆变器。...

【专利技术属性】
技术研发人员：成原镛，丘根完，李秉国，柳承喜，林昌燮，文洪权，
申请(专利权)人：株式会社新动力等离子体，成均馆大学校产学协力团，
类型：发明
国别省市：韩国,KR