株式会社日立高新技术高精细系统专利技术

株式会社日立高新技术高精细系统共有7项专利

  • 本发明提供一种不大幅增加设备或步骤,于单片基板将尺寸相异的图样以高位置精度曝光的曝光系统,包含于经涂布于基板的光阻,以指定的间隔形成多个基板标记的标记装置、及多个曝光装置。多个曝光装置分别自图像取得装置所取得的屏蔽标记及基板标记的图像,...
  • 使锂离子电池所使用的隔板的特性提高。使负极用浆料S(Nb)以及隔板用浆料S(SPn)干燥,在金属箔Na上形成负极片NS,该负极片NS具有由负极用浆料S(Nb)形成的负极层Nb、以及在负极层Nb上通过隔板用浆料S(SPn)形成的隔板SPn...
  • 本发明提供二次电池及其制造方法,所述二次电池是在电极箔上隔着电极层来形成隔板层或电解质层的二次电池,防止在电极的切断部、与由负极和正极的层叠体引出的电极箔之间的短路发生。作为其方法,在具有将负极和正极交替地多个层叠而成的电极组的二次电池...
  • 一种在形成介于锂离子电池的正极层和负极层之间的绝缘性的隔离件时使用的隔离件用浆料(124)。隔离件用浆料(124)具有:无机氧化物粒子(例如二氧化硅的粒子)(120);使无机氧化物粒子(120)在浆料中分散的分散剂粒子(例如聚乙烯吡咯烷...
  • 锂离子电池及其制造方法以及锂离子电池的制造装置
    本发明提供一种锂离子电池,其具备具有关闭功能和耐热功能的隔膜。为了解决上述课题,本发明的锂离子电池中,经过一次涂覆工序在形成于集电箔表面上的负极层上形成绝缘层,该绝缘层为以二氧化硅粒子层为下层、以聚丙烯粒子层为上层的2层结构,所述涂覆工...
  • 本发明提供一种热辅助磁头元件的检查装置及其方法。在热辅助磁头的检查中,即使悬臂的测定探针的直径对于每个悬臂具有偏差,也能够保证进行高精度的检查。热辅助磁头元件的检查装置具备:悬臂;位移检测系统,其检测悬臂的位移;光检测器,其检测来自悬臂...
  • 能够基于行驶的车辆简单地测定架空线的磨损部的形状。将狭缝状的激光束L1、L2从车辆9的车顶上相对于车辆前进方向大致垂直地照射到架空线1。通过照射激光束,在架空线1的包括侧面在内的下侧生成光切割图像。通过利用照相机等从斜下方接收该光切割图...
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