株式会社日立高新技术专利技术

株式会社日立高新技术共有2368项专利

  • 自动分析装置具备:多波长光源(44),对收纳测定对象试样与试剂的混合液的反应容器(2)照射多波长光;透光量检测器(45),检测透过反应容器(2)以及收纳物的透光量;单波长光源(14),向反应容器(2)照射单波长光;光散射光量检测器(15...
  • 半导体评价装置以及计算机程序
    本发明目的在于提供合适地制成比较检查等中使用的参考图案的半导体评价装置。说明置、以及计算机程序。另外,说明以基于图案的二维评价来提取更正确的范围的工艺窗口为其它目的的半导体评价装置以及计算机程序。为了达到上述目的,在本发明中,提出一种半...
  • 本发明提供一种检体预处理系统,其能够适当地从分散地输送来的多个母检体生成多个子检体。在至少具有将多个母检体分注到多个子检体的分注装置(21)的检体预处理系统中,具备:设定单元(11),其对采血管(1)的每个种类设定预计容纳在采血管(1)...
  • 减少水生生物内外的渗透压差,防止从生物试样内部的脱水,由此,不会破环浸渍于离子液体水溶液中的水生生物的自然的形态,且保持外骨骼及关节部的柔软性。首先向浓度低的离子液体投入水生生物,使离子液体的浓度连续升高,由此在保持水生生物的生物体时的...
  • 本发明的目的在于提供一种可有效地实现静电吸盘的除电的带电粒子束装置。为了达成上述目的,在本发明中提出一种带电粒子束装置,其特征在于,具备将包括静电吸盘机构(5)的空间维持在真空状态的样品室,带电粒子束装置具备用于向样品室内照射紫外光的紫...
  • 本发明的目的在于提供隔音罩以及带电粒子线装置,所述隔音罩实现由特定频率带来的图像干扰的抑制和小型化的并存。为了实现上述目的,在本发明中提出有如下隔音罩以及被该隔音罩包围的带电粒子线装置的方案,在以下包围带电粒子线装置的隔音罩中,具备空心...
  • 等离子处理装置以及等离子处理方法
    提供一种在蚀刻处理中精密地检测处理对象的膜的剩余厚度的等离子处理装置或者方法。检测在处理中从上述晶片表面得到的多个波长的干涉光的强度,从在上述处理中的任意时刻检测到的上述多个波长的干涉光的强度检测它们的时间微分的时间系列数据,使用与上述...
  • 真空处理装置的运转方法
    提高吞吐率或者试样的处理效率。具备:张数判定工序,判定在任意的一张晶片从所述盒搬出之前在搬送路径上存在的搬送中的所述晶片的张数是否为规定的值以下;剩余处理时间判定工序,判定在所处理的预定的真空搬送容器内存在的所述晶片的剩余处理时间与在所...
  • 本发明提供了一种能够为了应对分析处理数的增加和分析项目数的增加这样的要求,设置更多的试剂盒,并且能够以更高效率来运用所设置的试剂盒的自动分析装置。自动分析装置本体(100)具备:对装有用于分析的试剂的多个试剂盒进行保管的试剂主暂存装置(...
  • 提供能拍摄观察区域的绕x轴-180°至+180°的旋转系列像以及绕y轴-180°至+180°的旋转系列像的装置。其特征在于,具有:样品安放台,其在前端部具有安放样品的安放部;旋转夹具,其具有保持所述样品安放台的安放台保持部;样品保持棒,...
  • 使用磁性粒子的试样分析装置中,难以均匀地捕捉磁性粒子,特别是在流路壁附近均匀性变差。因此,发生分析的精度变差、再现性的降低。本发明的课题在于,提供一种均匀地捕捉流路壁附近的磁性粒子的设备。具体地说,提供一种分析装置,具备:检测流路,其具...
  • 本发明的目的是提供一种能够配置多个试样台且至少一个试样台能够移动,并且能够利用聚焦离子束装置制作多个透射型电子显微镜用试样的电子显微镜用试样支架。在试样支架(1)的前端部设有支架前端开口部(9)。并且,在试样支架(1)的后端部具有按钮(...
  • 真空处理装置及其运转方法
    本发明提供一种真空处理装置及其运转方法,在经真空搬运中间室而连结了多个真空搬运室的真空处理装置中,使工作效率提高。为此,该真空处理装置具有经真空搬运中间室而连结的多个真空搬运室以及与该真空搬运室分别连结的多个真空处理容器,在该真空处理装...
  • 本发明的目的在于提供利用比较简单的结构来实现试料或试料台的冷却的带电粒子线照射装置。作为达到上述目的的一方案,带电粒子线照射装置具备带电粒子源、试料台、及具有传递用于使该试料台移动的驱动力的传递机构的驱动机构,其中,该带电粒子线照射装置...
  • 本发明提供一种带电粒子线装置以及倾斜观察图像显示方法。本发明的带电粒子线装置(100)的控制装置(50),在每次使一次电子线(4)对样品(15)的表面进行1行份的扫描线的扫描时,经由倾斜线圈(11、12)使一次带子线(4)的照射轴左倾斜...
  • 本发明的课题在于防止离子的导入效率降低、减少清洗作业的时间和劳力。为了解决上述课题,本发明提供如下质量分析装置(1),其特征在于,电极(13)的离子导入孔(14)被分割为第一区域(14-1)、第二区域(14-2)以及第三区域(14-3)...
  • 检体转运装置和系统
    提供一种检体转运装置,能够实现不导致检体处理速度的降低且在不同运送用载体间实施检体转运,且灵活性高。设置多个能够保持运转目的地的检体载体的托盘,使得这些托盘能够自由地进行分组,在从一个托盘供给载体时,自动将检体转运至另一托盘。
  • 本发明提供一种GUI、分类装置、分类方法、程序以及存储分类程序的存储介质。GUI具备:未赋予方框区域,其将作为类别信息未被赋予的图像的集合的文件夹分层显示;图像方框区域,其显示上述未赋予方框区域中显示的类别信息未被赋予的图像;和类别方框...
  • 根据本发明,即使显示基板具有变形、翘曲,也能够稳定地进行显示基板与盖基板的贴合。本发明的基板贴合装置(1)是将显示基板(101)和盖基板(121)介由接合部件(110)在真空条件下进行贴合的装置,具备载置部件(201)和贴合部(8)。载...
  • 本发明的目的在于,实现即使在分析动作中也能够对紧急性高的检查项目的测定中使用的试剂执行其准备处理的自动分析装置。作为其构成,在没有针对新试剂的分析项目的参数的情况下进行其下载,如果试剂准备处理的优先级为“高”,则暂时停止检体分注调度处理...