电子显微镜用试样支架制造技术

本发明专利技术的目的是提供一种能够配置多个试样台且至少一个试样台能够移动，并且能够利用聚焦离子束装置制作多个透射型电子显微镜用试样的电子显微镜用试样支架。在试样支架(1)的前端部设有支架前端开口部(9)。并且，在试样支架(1)的后端部具有按钮(5)、旋转机构(6)、粗调机构(7)以及连接器(8)。通过按压按钮(5)而使旋转机构(6)的固定被解除，从而从旋转机构(6)至后端部、以及试样支架的前端部进行旋转。利用本旋转机构，能够使利用透射型电子显微镜进行观察的情况和利用聚焦离子束装置制作透射型电子显微镜用试样的情况的试样的配置进行旋转。并且，能够利用粗调机构(7)及微调机构使试样台移动。

【技术实现步骤摘要】
【国外来华专利技术】电子显微镜用试样支架
本专利技术涉及透射型电子显微镜用试样支架，其能够配置多个设有试样的试样台， 至少一个试样台能够沿三轴方向移动，并且能够在聚焦离子束内进行多个TEM试样加工。
技术介绍
随着半导体装置或磁装置等的加工尺寸微细化且高集成化，到目前为止以上的装 置特性的劣化和可靠性的降低成为重要的问题。近年来，在新工艺的开发和批量生产过程 中，为了对纳米领域的半导体装置的不良进行分析，并从根本上查清不良原因并解决，不 仅是利用（扫描）透射型电子显微镜（（Scanning)Transmission Electron Microscopy: (S)TEM)的图像观察，而且利用电子衍射的晶体结构分析、和使用电子能量损失分光 法（Electron Energy Loss Spectroscopy :EELS)、能量分散型 X 射线分光法（Energy Dispersive X-ray spectroscopy :EDX)等的光谱分析和二维元素分布分析成为必要的分 析方法。 另外，在锂离子电池的正极材料等的能量环境材料中，希望与以往相比显著提高 材料特性。要提高本文档来自技高网...

【技术保护点】
一种带电粒子线装置用试样支架，支撑由带电粒子装置观察的试样，其特征在于，具备：能够设置试样台的试样放置台；能够使上述试样台移动的试样驱动部；以及用于使上述试样支架的前端旋转的旋转机构，上述试样驱动部随着上述旋转机构的旋转而进行旋转。

【技术特征摘要】
【国外来华专利技术】2012.01.25 JP 2012-0126101. 一种带电粒子线装置用试样支架，支撑由带电粒子装置观察的试样，其特征在于， 具备：能够设置试样台的试样放置台；能够使上述试样台移动的试样驱动部；以及用 于使上述试样支架的前端旋转的旋转机构，上述试样驱动部随着上述旋转机构的旋转而进 行旋转。2. 根据权利要求1所述的带电粒子线用试样支架，其特征在于， 上述试样驱动部具有能够沿试样支架的长轴方向移动的粗调机构、以及能够沿正交的 三轴方向移动的微调机构。3. 根据权利要求1所述的带电粒子线装置用试样支架，其特征在于， 在上述试样支架的前端具有用于使带电粒子线通过的开口部。4. 根据权利要求1所述的带电粒子线装置用试样支架，其特征在于， 具有多个能够设置上述试样台的试样放置台，多个试样放置台之中至少一个试样放置 台能够利用上述试样驱动部进行移动。5. 根据权利要求1所述的带电粒子线装置用试样支架，其特征在于， 上述试样台利用试样台压板及压紧螺钉固定在上述试样放置台上。6. -种透射型电子显微镜用试样支架，其特征在于， 具有：能够设置试样台的试样放置台；能够使上述试样台移动的试样驱动部；以及用 于使上述试样支架的前端旋转的旋转机构，上述试样驱动部随着上述旋转机构的旋转而进 行旋转。7. 根据权利要求6所述的透射型电子显微镜用试样支架，其特征在于， 上述试样驱动部具有能够沿试样支架的长轴方向移动的粗调机构、以及能够沿正交的 三轴方向移动的微调机构。8. 根据权利要求6所述的透射型电子显微镜用试样支架，其特征在于， 在上述试样支架的前端部具有向与电子射线的通过方向不同的方向开放的支架前端 开口部。9. 根据权利要求8所述的透射型电子显微镜用试样支架，其特征在于， 支...

【专利技术属性】
技术研发人员：寺田尚平，谷口佳史，长久保康平，
申请(专利权)人：株式会社日立高新技术，
类型：发明
国别省市：日本;JP