各方面涉及生成半导体制造设备的高准确度状态预测结果。用于半导体制造设备的状态预测设备包括：数据获取单元，用于获取第一处理腔室的第一操作数据和第二处理腔室的第二操作数据；特征管理单元，用于生成第一特征图和第二特征图；相关性计算单元，用于计...

在吸头传送时，由于吸头与其他部件的摩擦或交接时的台阶，吸头可能被卡住而导致传送停止。因此，本发明构成一种移液器吸头排列装置，其特征在于具有提供所投入的吸头的提供部，提供部包括两块板材、设置在板材的前端并支承吸头的轨道、以及向具备收纳吸头...

测量设备具有：基板，其具有用于导入核酸溶液并进行分割的多个贯通孔；油，其在所述基板的第一面和所述基板的与所述第一面相反侧的第二面，为了堵塞所述贯通孔而覆盖；导热板，其为了加热所述基板而设置于所述第二面侧；以及反射抑制机构，其抑制从所述第...

本发明的目的在于提供一种能够与压电元件的特性偏差无关地，通过稳定的声压的超声波来搅拌试样和试剂的自动分析装置。为此，本发明的自动分析装置通过驱动压电元件而产生的超声波来搅拌试样和试剂，其中，驱动所述压电元件的放大器具有：电压检测部，其检...

一种自动分析装置，其具备：分析部，其进行检体的分析；以及处理部，其在分析之前进行检体的预处理，在处理部设置有对其内部的空气进行加热或冷却的调温部，调温部包括第一试剂调温部以及第二试剂调温部，第一试剂调温部具有利用接触热传递进行第一试剂的...

本发明提供一种在降低空气吸引的可能性的同时对应于多种检体容器的自动分析装置及其控制方法。自动分析装置的动作循环包含：下降步骤，使探针下降到液体中，以使从容器中液体的液面到探针的前端的距离成为第一规定值；吸引步骤，吸引第一可变吸引量的液体...

本发明提供一种离子导向器以及质谱仪，能够兼顾高离子导入效率和高离子聚集效率。在离子导向器中，离子从入口侧朝向出口侧在内部空间内行进。所述离子导向器具备多个板状电极，所述多个板状电极在与所述离子行进的行进方向正交的层叠方向上隔开间隔地层叠...

提供一种具备培养功能的自动分析装置。自动分析装置的一个例子具有：反应容器收纳部，其设置收纳反应容器的反应容器收纳容器；以及分注机构，其向从反应容器收纳容器取出的反应容器分注检体或试剂，反应容器收纳部具备至少将该反应容器收纳部的一部分调整...

本发明的目的在于提供一种能够应对从包括半导体制造装置的装置群等安全风险高的装置输出的数据，能够处理大容量的数据的技术。本发明的半导体装置制造系统之一在于，在具备经由网络与半导体制造装置连接的平台的半导体装置制造系统中，还具备：数据库服务...

基因解析装置取得通过对样品进行电泳而取得的多个频率的信号强度的时间序列数据即泳动数据，使用泳动数据，确定仅来源于一个碱基的光谱即单一荧光光谱所存在的单一荧光光谱时刻，使用从单一荧光光谱时刻的颜色变换矩阵得到的光谱和单一荧光光谱时刻的单一...

本公开的目的在于提供一种技术，在对粘贴有标签的容器中存储的、分离到多个成分区域的生物体试样进行测定时，能够不使用大型的拍摄机构而与标签的朝向无关地高精度地确定作为测定对象的对象部分。本公开的生物体试样测定装置通过确定拍摄图像的亮度值的中...

本公开在于提供如下技术：能够在将栅极层叠膜相对于栅极侧壁间隔件以及源极/漏极区域的层间绝缘膜选择性地进行蚀刻的金属栅极切割工艺中，在对由功函数金属以及栅极埋入金属构成的金属层进行垂直蚀刻后，利用第一绝缘膜保护该侧壁，将在切割区域的下部露...

一种检查装置，其对表面由透明膜和不透明物质形成的试样进行检查，该检查装置具有：第一光学单元，其将光源射出的照明光照射到试样，对被所述试样反射的第一反射光进行会聚；第二光学单元，其将所述照明光照射到反射镜，对被所述反射镜反射的第二反射光进...

不取得外部装置的控制信号而判定干扰，适当地对压缩率参数进行反馈控制。送液泵的控制器基于压缩率参数，计算一个驱动周期中的第一柱塞对溶剂的第一压缩量，控制在一个驱动周期中第一柱塞以第一压缩量压缩溶剂，在一个驱动周期中与由压力传感器测定的压力...

本发明提供一种分析装置，在停止向真空泵供电时，能够通过简单的结构降低气体向真空泵的流入量。分析装置(100)包括：产生带电粒子的带电粒子产生源(2)；内部为真空的真空室(16、19、28)；将带电粒子从带电粒子产生源(2)导入真空室(1...

本发明的目的在于提供一种能够确保使用多种试剂，并且缩短分析时间的自动分析装置。本发明的自动分析装置具有：移液方式的第一试剂分注机构，其当吸引了试剂时，离开试剂而移动到预定的场所之后排出试剂；以及分配方式的第二试剂分注机构，其经由从试剂的...

本发明提供一种能够以合理的CPU及存储器性能来抑制叠加在所测定的波形上的周期噪声的自动分析装置的数据处理系统。因此，在自动分析装置的数据处理系统中具备：分析包含在测定波形中的周期噪声的频率及相位来作为预处理；以及将根据预处理求出的频率和...

本发明提供一种在使用了离子选择性电极的分析装置中不需要已知的电位波形的信息而确定异常原因的技术。对具有导电性的液体的特性进行分析的分析装置具有：流路，其被供给液体；电极，其设置于所述流路并与液体相接触；送液机构，其用于向所述流路导入液体...

在具备从第一机构向第一分析测定部(301)以及第二分析测定部(401)分注第一液体的检体分注机构(25)、以及从第二机构向第一分析测定部(301)以及第二分析测定部(401)分注与第一液体不同的第二液体的第二分注部的情况下，或者在具备进...

在假设有多个污染因素的分注机构、反应容器中，避免转移并维持分析性能。包括：具备将样品或试剂分注到反应容器中的探针的分注机构；由将探针充分清洗的清洗机构等构成的自动分析部(100)；以及控制部(124)，控制部包括：对表示根据多个分析条件...