本发明提供一种使真空输送室所具备的真空处理室的配置最适化，单位设置面积的被处理物的生产能力高的装置。本发明提供半导体被处理基板的真空处理系统及使用该系统的半导体被处理基板的真空处理方法，该系统具备：大气输送室，其前面侧配置多个盒台，输送...

本发明提供将真空搬运室所具备的真空处理室的配置最佳化，且单位设置面积的被处理物的生产能力高的装置。一种半导体被处理基板的真空处理系统及使用该系统的真空处理方法，半导体被处理基板的真空处理系统具备：大气搬运室，其前面侧配置多个盒台，搬运设...

本发明提供能高精密地成膜或者生产率或运转率高的有机ＥＬ器件制造装置或有机ＥＬ器件制造方法或者成膜装置或成膜方法。本发明的特征在于，从设置于真空蒸镀腔的壁上的真空隔离机构搬出上述掩模，在共有上述真空隔离机构的掩模洗净腔内对附着于上述基板上...

本发明的目的是提供一种膜去除检查装置或者膜去除检查方法，其具有下述的检查功能：通过把膜去除装置和检查装置做成一体，即使检查各层的除膜状态，也不会增长由于检查而引起的太阳电池膜生产线的长度，或者也不会增加设置面积，或者不需要仅仅是检查时间...

本发明的目的在于提供一种能够减少分割装置时的变形、振动，并且能够高精度地检查的玻璃基板的检查装置。本发明的玻璃基板检查装置具有：放置玻璃基板的检查平台；对上述玻璃基板照射检查光，并接收检查光由于玻璃基板的表面或者内部的异物而散射的散射光...

1.本外观设计产品的名称为：电子显微镜。2.本外观设计产品的用途为：向观察对象试样照射电子束，在异体的显示装置进行观察和分析试样。3.本外观设计产品的设计要点在于：立体图所示的形状。4.指定图片：立体图。5.示出各部名称的参考图中，B为...

本发明涉及ＦＰＤ板安装装置及安装方法。随着ＦＰＤ显示基板的薄型化和接合处理的高精度化，在基板背面附着异物成为不良原因的频度变高。以前的背面擦拭是用擦拭过表面的清洗带擦拭背面，有从表面将灰尘和玻璃片再次附着的顾虑。在显示装置的器件装载接合...

本发明涉及ＰＣＢ安装处理装置及ＰＣＢ安装处理方法。本发明的目的在于提供通过降低ＰＣＢ的弯曲，提高成品率的生产性高的ＰＣＢ安装处理装置及ＰＣＢ安装处理方法。本发明的ＰＣＢ安装处理装置及ＰＣＢ安装处理方法，在ＰＣＢ基板上进行粘贴ＡＣＦ处理，...

本发明为一种自动分析装置。本发明的自动分析装置具备：分析样品的分析单元；将样品架传送至所述分析单元的支架传送装置，该样品架载放保持所述样品的样品容器；将样品架投入到该支架传送装置的支架投入口；将精度管理试样以设置于所述样品架的状态来保持...

本发明提供一种微镜器件的筛选方法、微镜器件筛选装置以及无掩膜曝光装置。该微镜器件筛选装置用于在无掩膜曝光装置中获得在宽度方向和厚度方向上都无凹陷的线性良好的描画图案。在该微镜器件筛选装置中具备：将照明光照射到微镜器件(2)的微镜(21)...

本发明提供一种有机EL设备制造装置和制造方法及成膜装置和成膜方法，在该装置和方法中，材料损伤小、经济性好、生产率高、运转率高。本发明的有机EL设备制造装置，其具有搬入基板的搬入装载互锁室、将蒸镀材料蒸镀到所述基板上的至少1台真空腔、搬出...

在电气地控制液体位置的液体输送设备中，为解决控制电压的电极的数量多的问题，提供一种液体输送设备，在液体输送设备的表面设置凹凸，除了电力以外，通过利用液体因表面张力恢复成球状的力，能够使控制电压的电极的数量减半。

一种对准标记管理装置、对准标记管理系统以及方法，在变更平板显示面板的品种并向制造工序提供平板显示面板时有效地进行换产调整。对准标记管理装置（２）具备：通信部（２１），其通过网络与配置在平板显示面板的每个制造工序中的计算机装置进行连接，与...

本发明提供一种在大型基板上高速地形成膜厚均匀且杂质少的薄膜并可长时间连续运转的真空蒸镀装置及成膜装置。将形成了有机ＥＬ层的基板（１）垂直地设置于蒸镀室（５）内，在基板（１）上配置用于选择地蒸镀有机ＥＬ层的纯金属掩膜（４）。成为有机ＥＬ层...

本发明目的在于提供能可靠地进行试剂容器的开塞处理的开塞装置及使用它的自动分析装置。对可通过旋转动作除去及固定的试剂容器的盖体使用具有以下部件的开塞装置进行开塞，即：旋转驱动部，其利用旋转驱动机构在盖体的旋转轴上对盖体进行旋转驱动；盖体保...

本发明提供减少衬底和掩膜的弯曲，从而能够以高精度蒸镀，此外，能够使搬运室小型化，或者通过将驱动部等配置在大气侧来减少真空内的粉尘和气体的产生，生产率高或者运转率高的有机ＥＬ器件制造装置及其制造方法和成膜装置及成膜方法。本发明的特征在于，...

提供为提高ＦＰＤ显示衬底的端子清洗的擦拭性能而维持所使用的斜纹织物的擦拭性能，并使构成清洗带的极细纤维织物的纵线或横线不会挂在被衬底端子的梳齿状的突起上，从而难以产生异物的技术。一种具备通过使清洗带和衬底相对移动、使上述清洗带对于衬底在...

近年来，在自动分析装置的领域中，伴随分析项目的增加，液体的粘性或接触角等性质不同的分析试剂的种类增加，预测今后也进一步增加。而且，用装置内的水稀释浓缩试剂使用等试剂形态也多样化，稀释水的种类也多样化。在这种状况下，提供一种无论相对于哪种...

本发明提供一种粒子图像解析方法以及图像解析装置。其实现不用较大地改变装置结构，使用截取的粒子成分提高审查的效率，同时能够观察整体试样的粒子图像解析方法。在审查拍摄区域整体的图像前审查截取图像，对于每一成分由操作员观察汇总的图像，使用操作...

在怀疑装置、试样、试剂异常的情况下，检查技师必需逐个确认异常的反应过程数据来推测异常原因，有时花费工夫和时间。使用对测光值的时序数据应用预先设定的评估式来计算出表示特定的波形的特征量的指标的指标计算部件、计算出表示对象数据的所述指标相对...