【技术实现步骤摘要】
本专利技术涉及有机EL器件制造装置及其制造方法和成膜装置及成膜方法，特别涉 及适用于大型衬底对准的有机EL器件制造装置及其制造方法和成膜装置及成膜方法。
技术介绍
真空蒸镀法是作为制造有机EL器件的有力的方法。在真空蒸镀时需要对准衬底 与掩膜。近年来处理的衬底日趋大型化，G6代的衬底尺寸达到1500mmX1800mm。若衬底尺 寸大型化，则掩膜也理所当然地大型化，其尺寸达到2000mmX2000mm左右。特别是若使用 钢制的掩膜，则其重量达到300Kg。在以往，使衬底与掩膜处于水平并对位。作为那样的现 有技术存在下述的专利文献1。此外，在真空蒸镀法中，如图4所示，使在要蒸镀的位置具有开口部的掩膜紧贴作 为处理对象的衬底进行处理。由于蒸镀材料的附着而使孔的形状改变，该掩膜每隔半天至 一天就需要更换。在以往，如图14所示，在具有进行真空蒸镀的处理室S的设备组C中设 置有保管更换用及已使用的掩膜M的作为真空室的掩膜保管室H，通过进行衬底搬运的搬 运机械手R将其搬运至处理室S并安放(专利文献2)。此外，在专利文献3中公开有以下内容，为使掩膜尺寸收束在所希望的范围内，将 ...
【技术保护点】
一种有机ＥＬ器件制造装置，其具有真空室和真空蒸镀室，上述真空室具备以使具备衬底或掩膜的下垂体下垂的状态进行上述衬底与上述掩膜的对位的对准部，上述真空蒸镀室具备向该衬底蒸镀蒸镀材料的蒸镀部，该有机ＥＬ器件制造装置的特征在于， 在上述真空室内和邻接处理室内设置搬运机构，该搬运机构与上述下垂体相接触地将上述下垂体以垂直姿势从与上述真空室相邻接的邻接处理室向上述真空室搬运，并具备在上述下垂体的接触部即下垂体接触部上移动的搬运接触部，并且，将分离上述下垂体接触部与上述搬运接触部的分离机构设置在上述真空室内。
【技术特征摘要】
JP 2009-10-27 2009-2466161.一种有机EL器件制造装置，其具有真空室和真空蒸镀室，上述真空室具备以使具备 衬底或掩膜的下垂体下垂的状态进行上述衬底与上述掩膜的对位的对准部，上述真空蒸镀 室具备向该衬底蒸镀蒸镀材料的蒸镀部，该有机EL器件制造装置的特征在于，在上述真空室内和邻接处理室内设置搬运机构，该搬运机构与上述下垂体相接触地将 上述下垂体以垂直姿势从与上述真空室相邻接的邻接处理室向上述真空室搬运，并具备在 上述下垂体的接触部即下垂体接触部上移动的搬运接触部，并且，将分离上述下垂体接触 部与上述搬运接触部的分离机构设置在上述真空室内。2.如权利要求1所述的有机EL器件制造装置，其特征在于，上述下垂体是具备掩膜的下垂体，上述下垂体接触部是沿上述掩膜设置的齿条，并且 上述搬运接触部是小齿轮，或者，上述下垂体接触部是沿下垂体本身或上述掩膜设置的导 轨，并且上述搬运接触部是旋转驱动辊。3.如权利要求1所述的有机EL器件制造装置，其特征在于， 上述分离机构的驱动单元设置在大气环境中。4.如权利要求2所述的有机EL器件制造装置，其特征在于， 上述下垂体接触部是上述下垂体的底部。5.如权利要求4所述的有机EL器件制造装置，其特征在于，上述对准部具备使上述下垂体上下地移动的上下驱动单元，上述分离机构具有上述上 下驱动单元。6.如权利要求2所述的有机EL器件制造装置，其特征在于， 上述下垂体接触部是上述下垂体的下部侧部。7.如权利要求4所述的有机EL器件制造装置，其特征在于，上述分离机构是将上述搬运接触部从下垂体接触部分离的单元。8.如权利要求6所述的有机EL器件制造装置，其特征在于，上述分离机构是将上述搬运接触部从下垂体接触部分离的单元。9.如权利要求1至8的任意一项所述的有机EL器件制造装置，其特征在于， 上述真空室与上述真空蒸镀室是同一个处理室。10.如权利要求1所述的有机EL器件制造装置，其特征在于， 上述邻接处理室是用于更换上述掩膜的掩膜更换室。11.如权利要求10所述的有机EL器件制造装置，其特征在于， 上述掩膜更换室在上述更换时维持规定的真空度。12.如权利要求11所述的有机EL器...
【专利技术属性】
技术研发人员：龟山大树，韮泽信广，弓场贤治，落合行雄，
申请(专利权)人：株式会社日立高新技术，
类型：发明
国别省市：JP[日本]
还没有人留言评论。发表了对其他浏览者有用的留言会获得科技券。