一种阻抗匹配装置，其包括：第一可变电容器，其连接至RF电源且包括可线性运动的第一轴；第一线性运动单元，其轴向地耦接至第一可变电容器的第一轴以提供线性运动；第一绝缘接头，其将第一轴连接至第一线性运动单元的第一驱动轴；以及第一位移传感器，其...

本发明提供一种RF功率分配装置和RF功率分配方法。所述装置包括：阻抗匹配网络，其传送来自RF功率源的功率；以及功率分配单元，其向至少一个产生容性耦合等离子体的电极分配来自阻抗匹配网络的输出功率。功率分配单元包括：第一电抗元件，其串联连接...

本发明涉及一种阻抗匹配装置。该阻抗匹配装置与等离子体负载进行阻抗匹配。该阻抗匹配装置包括：第一频率阻抗匹配电路单元，该第一频率阻抗匹配电路单元工作在第一频率，向等离子体负载传送第一频率RF功率源单元的输出；以及第二频率阻抗匹配电路单元，...

本发明提供了一种用于测量电特性的传感器。该传感器包括印刷电路板、电压传感器以及电流传感器，其中，印刷电路板限定插入输电线路的圆形通孔；电压传感器包括环形电极和第一端子部，以测量在输电线路中形成的电压，电极抵靠通孔的内边缘固定，以测量在输...

本发明提供一种电弧检测装置和使用该电弧检测装置的电弧监测方法。所述的电弧检测装置包括：连接至负载并传输电压或电流的电气信号的传输线；测量所述传输线的电流或电压的电气信号的检测器；以及对所述电气信号进行处理以便产生至少一个电弧检测信号的处...

一种感应耦合等离子体发生器天线结构，它使容纳半导体晶片或平面显示器等被加工物的圆形或长方形箱室内部等离子体密度沿着旋转方向对称均匀产生，从而可以有效加工大尺寸－大面积加工物。这种感应耦合等离子体发生器天线一端形成施加无线电频率ＲＦ电源的...

本发明涉及一种具有较低纵横比反应气体的电感耦合等离子发生器，包括：一个箱体，其包括一个气体注入口，一个真空泵，以及一个气体排出口；一个夹盘；以及一个高频电源施加在其上的天线，在所述箱体的上部或侧部提供该天线，其中该天线具有平行的天线元件...

本发明提供了一种阻抗匹配方法及实施该方法的匹配系统。该方法包括：测量输电线路的电特性；确定电源的脉冲模式；从输电线路的电特性中提取用于阻抗匹配的控制参数；以及通过控制参数控制匹配系统，其中，根据脉冲模式对匹配系统有区别地加以控制。

本发明提供了一种阻抗匹配方法以及实施该阻抗匹配方法的匹配系统。所述方法包括：测量包括测量系统和负载的输电线路的电特性；从所述输电线路的电特性中求取用于阻抗匹配的控制参数；以及使用所述控制参数控制所述匹配系统。所述控制参数的求取包括使用分...