【技术实现步骤摘要】
此处公开的本专利技术涉及阻抗匹配，更具体地说，涉及一种在诸如 等离子体系统、核磁共振系统、通信系统、高频感应加热装置和输电线 路等电气系统中使用的阻抗匹配方法，以及一种实施该阻抗匹配方法的 系统。
技术介绍
如果电源和负载之间的阻抗失配，向负载的供给电能就不会最大 化，而且也不能进行精确的供电控制。因此，诸如等离子体系统、核磁 共振系统、通信系统、高频感应加热装置和输电线路等的电气系统在电 源和负载之间包括阻抗匹配网络，以克服上述阻抗失配。例如，用于制 造半导体装置的等离子体腔系统包括与RF电源连接的RF电极以及在RF 电源和RF电极之间的阻抗匹配网络。在David M. Pozar所著的 "Microwave Engineering" (Addison-Wesley publisher)的第281-328 页中公开了阻抗匹配的一般内容，并且第3，569，777号、第4， 112， 395、 第4， 557， 819号、第5， 187， 454号、第5， 585， 766号、第5， 621， 331号、 第5,689, 215号美国专利和第W097247748号...
【技术保护点】
一种电气装置的匹配方法，所述电气装置包括负载、输电线路和匹配系统，所述方法包括： 测量包括所述匹配系统和负载的所述输电线路的电特性； 从所述输电线路的电特性中求取用于阻抗匹配的控制参数；以及 通过使用所述控制参数控制所述匹配系统， 其中所述控制参数的求取包括使用分析坐标系统，所述分析坐标系统在数量上将所述匹配系统的电特性和所述输电线路的电特性联系起来。
【技术特征摘要】
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【专利技术属性】
技术研发人员：金宰显，李相元，李容官，
申请(专利权)人：株式会社普来马特，
类型：发明
国别省市：KR[韩国]
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