用于测量电特性的传感器制造技术

本发明专利技术提供了一种用于测量电特性的传感器。该传感器包括印刷电路板、电压传感器以及电流传感器，其中，印刷电路板限定插入输电线路的圆形通孔；电压传感器包括环形电极和第一端子部，以测量在输电线路中形成的电压，电极抵靠通孔的内边缘固定，以测量在输电线路中形成的电压，并且第一端子部具有与电极的一侧接触的一端和穿过印刷电路板的一侧暴露出的另一端；电流传感器包括拾波线圈和第二端子部，以测量输电线路中的电流，拾波线圈像弹簧一样卷绕并且沿着通孔的外边缘弯曲，从而形成从上方观看时的环形，并且拾波线圈布置成其至少一部分嵌入印刷电路板内，第二端子部从拾波线圈的两端起延伸并穿过印刷电路板的一侧暴露出。

【技术实现步骤摘要】
【国外来华专利技术】
本专利技术涉及传感器，更具体地，本专利技术涉及能够测量电特性(例如电流和电压)的传感器。
技术介绍
交流电(AC)已在各个工业领域中用作电源和信号传输手段。由于传输线腐蚀概率低以及容易进行电压变换，交流电已经广泛用作将由发电机产生的功率传输给负载的方法以及用作通信设备和医疗设备的信号或电源供给手段。此外，交流电已经广泛用作在半导体制造设备(例如等离子体蚀刻室)内部产生等离子体的电源供给手段。由于一些电子设备的工作特性对由电源提供的交流电的电特性十分敏感，所以必须精密控制电源的电特性。而且，需要使用传感器来精确测量为精密控制提供的电源的电特性。例如，在等离子体蚀刻室的情况下，在电源和消耗由该电源提供的功率的负载之间布置阻抗匹配系统来使功率转移效率最大。由于阻抗匹配是根据由该电源向该负载提供的功率的测量结果进行的，因此在将该电源和该负载互相连接起来的传输线附近布置用于测量各种电特性的传感器。一般来说，传感器包括电感器(即，线圈)，以测量沿传输线流动的电流。由于沿上述传输线流动的交流电产生感应给上述电感器的感生电动势，所以上述传输线中的电流可以通过测量感应给上述电感器的感生电动势来确定。本文档来自技高网...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
【国外来华专利技术】...

【专利技术属性】
技术研发人员：李相元，金宰显，
申请(专利权)人：株式会社普来马特，
类型：发明
国别省市：