本发明提供一种能够谋求压电元件驱动的负荷的轻量小型化，另外，能够减轻来自工件的热量对压电元件的影响的接合装置。该接合装置具有：具有与接合工具(8)的中心轴相对的承受部(6c)的接合臂(5)；与接合工具(8)接触的一对毛细管保持部(9、1...

提供一种芯片接合装置，在朝工件涂布粘合剂的接合工序中，能够缩短从储存粘合剂的圆盘朝压印针的尖端转印粘合剂之后，因压印针上升而导致的圆盘与压印针之间的粘合剂拉丝断裂所需要的待机时间，从而可提高装置的生产率。其具备：压印针(32)，可在尖端...

本发明通过将加热的空气或者气体仅在接合的必要区域进行限定时间的供给，从而能够改善接合性能，减轻伴随于加热的恶劣影响，并提高生产效率和品质。所述引线接合装置包括：壳体，该壳体内部内置有加热器，该加热器由能够瞬间加热的高电阻温度系数的金属制...

本发明提供的XY工作台具有X轴直线电动机和Y轴直线电动机，X轴直线电动机和Y轴直线电动机具有作为移动部的由三相的线圈构成的线圈部和作为固定部的磁轭部，磁轭部相对于长度方向的中心线在其上部和下部设置有开口部，在上部的开口部的上表面和下部的...

本发明的目的是提供不需要进行搜索动作或焊接前对焊接点的高度测定就能以高速进行焊接的焊接装置。本发明包括：共焦点光学系统，该共焦点光学系统搭载于能在上下方向上进行摇动的焊接臂，对位于被焊接部件的表面的焊接点的聚焦进行检测；焊接工具，该焊接...

本发明提供能够抑制被清洗基板产生损伤，还能够对在电子产业等中使用的高精密度的基板等进行高清洁度的清洗的超声波清洗装置和超声波清洗方法。以使被清洗物（16）位于清洗液的从超声波振子（2）的振动面引出的到液面为止的垂线所形成的区域（超声波照...

本发明提供一种引线接合装置，其在惰性气体氛围中形成ＦＡＢ时，能够抑制ＦＡＢ的氧化并实现ＦＡＢ的稳定化，并且通过位置调整机构能够容易地设定毛细管和火花杆的放电间隙大小以及惰性气体氛围的空间的大小，包括：一对排气管（１１、２０），其开口部（...

本发明提供了一种通过在多个振动元件之间发射均匀的超声波来消除声压的不均匀，提高微粒子的除去率的无清洗斑的超声波清洗装置。该超声波清洗装置具有：清洗槽，用于收容被清洗物和清洗液；多个振动元件，安装在所述清洗槽上；多个振荡器，分别与所述多个...

一种基板处理装置，其特征在于，该基板处理装置由处理基板的处理槽、沿上述处理槽设置的输送轨道、在上述输送轨道上移动，输送交接基板的基板输送装置构成，在同一输送轨道上至少设置２个以上的上述基板输送装置，上述基板输送装置可以以多个处理槽作为相...

能够同时洗涤或漂洗晶圆的表面及背面并且能够确实防止已洗涤或漂洗过背面的洗涤用流体对表面造成重复污染。通过洗涤槽（２３）内的洗涤用流体洗涤或漂洗该洗涤槽中设置的晶圆（１）的洗涤装置（１１）包括：嵌接在装置主体（２９）上构成洗涤槽并且形成对...