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中国科学技术大学专利技术
中国科学技术大学共有15570项专利
高TC超导薄膜材料低温合成方法技术
本发明涉及超导薄膜材料的制造方法。本发明用金属有机化学气相淀积法(MOCVD):以挥发性金属有机化合物为源,采用射频或微波等离子体为激发源,形成金属有机化学气相淀积(MOCVD)过程。在低于400℃温度下,于衬底材料表面形成高Tc超导氧...
一种量子线超微细图形的制作方法技术
本发明涉及量子线超微细图线的制作方法,包括利用陡侧壁x光栅制造初始光栅光刻掩模图形,将其转换为刻蚀掩模图形后再转换到所需基片上,其特征在于将初始光栅图形转换到为刻蚀掩模的过程中,先将图形转换到支撑材料薄层上,形成支撑光栅,然后在光栅表面...
粉末多孔硅及其水热制备方法技术
本发明粉末多孔硅及其水热制备方法,特征在于将硅粉置于含0.1-0.8mol/l氟离子的水溶液中,在100-250℃下水热腐蚀0.5-2小时,调节氧化气氛在2.0-10.0N/L,可分别获得在紫外光激发下能稳定发射红、蓝或紫外光的粉末多孔...
一种Ⅲ*-Ⅴ*族化合物半导体表面硫钝化方法技术
本发明Ⅲ↓[A]-Ⅴ↓[A]族化合物半导体表面硫钝化方法,特征是将半导体表面浸入浓度为0.03至3.3M的硫代酰胺水溶液中,在室温至100℃温度范围内,放置0.5至120分钟;本方法所采用的钝化液稳定,具有广泛适用性;形成的硫化物钝化层...
非晶态La**Sr*MnO**化合物及其制备方法技术
本发明非晶态La↓[1-x]Sr↓[x]MnO↓[3+δ]化合物及其制备方法,特征在于以1∶0.9~0.6∶0.1~0.4摩尔比将含Mn↑[2+]和La↑[3+]、Sr↑[2+]的硝酸盐和/或盐酸盐配制而成的、含Mn↑[2+]0.2摩尔...
分子隧道二极管及其制造方法技术
本发明涉及纳米技术的应用,特别涉及纳米尺度的二极管及其制造方法。它包括有两个被分别吸附在两个金属纳米电极上的C60分子,两个电极长在同一块二氧化硅衬底上。其制造方法为先用电子束刻蚀方法在二氧化硅衬底上生成刻蚀槽、蒸发金或铜或银在槽中形成...
具有稳定开关特性的单电子晶体管制造技术
具有稳定开关特性的单电子晶体管涉及一种以非晶纳米颗粒作为库仑岛的单电子管。该晶体管由漏极1、源极2、门极3和库仑岛5组成,其特征在于库仑岛5采用非晶纳米颗粒,位于源极和漏极之间,并与两边的源极1、漏极2分别以隧道结隔开。利用能级量子化受...
库仑岛型整流单分子二极管及其制备方法技术
本发明库仑岛型整流单分子二极管及其制备方法,特征是在二氧化硅衬底上涂聚甲基丙烯酸甲酯/聚(甲基丙烯酸甲酯-甲基丙稀酰胺)双层胶,用电子束在表面生成刻蚀槽、蒸发金属在槽中形成金属纳米线,在金属纳米线两端加电压使其断裂而形成两个金属纳米电极...
10纳米级间隔的电极的制备方法技术
一种10纳米级间隔的电极的制备方法,其特征在于制备的方法为: (1)先用电子束曝光法制备金属电极,将上述制备的金属电极表面去除有机物,此电极的间隔为50-300纳米; (2)将5~50纳米的金颗粒制成金颗粒悬浮液; (...
锆钛酸铅铁电薄膜的湿法刻蚀方法技术
一种锆钛酸铅铁电薄膜的湿法刻蚀方法,其特征在于刻蚀的方法为: ①在锆钛酸铅样品表面制备光刻胶掩膜图形; ②配制刻蚀液:即以BHF和HCl为基、并加入可溶氯盐MCl↓[j]的水溶液,其中1≤j≤3; ③配制用于去除刻蚀残...
制备间隔可调的纳电极的方法技术
制备间隔可调的纳电极的方法涉及纳米电极的加工和纳米制备,制备方法为:先在二氧化硅衬底上涂聚甲基丙烯酸甲酯/聚甲基丙烯酸甲酯-甲基丙烯酰胺双层胶,用电子束在该表面生成刻蚀槽,再向该表面蒸发金,在槽中形成金纳米线,将金纳米线与电阻、可调的直...
碳纳米管化学分子探测传感器及其制备方法技术
碳纳米管化学分子探测传感器及其制备方法涉及一种利用纳米尺度的碳纳米管实现对化学分子传感探测的器件及其制备方法,其传感器是将单壁碳纳米管置于衬底上,其一端沉积基点电极,然后在纳米管上距离另一端口即悬空端距离为该纳米管的电子相干长度的位置再...
并行探针驱动的扫描等离子体加工装置和加工方法制造方法及图纸
本发明涉及等离子体刻蚀加工技术。所述装置包括有等离子微放电器和一空心探针,以及放置被加工件的三维扫描工作台,等离子微放电器为敞口漏斗形,置于一悬臂梁端头,空心探针连接在该漏斗出口处。悬臂梁上设有主压电陶瓷制动器,机座上设有付压电陶瓷制动...
La***Sr*CuO*有序纳米线阵列及其制备方法技术
本发明La↓[2-x]Sr↓[x]CuO↓[4]有序纳米线阵列及其制备方法,特征是用柠檬酸作络合剂,乙二醇作交联剂,采取二次加热有效控制柠檬酸盐水解及乙二醇聚合的程度制备出黏度可调的La↓[2-x]Sr↓[x]CuO↓[4]溶胶前驱物,...
光学读出红外传感器制造技术
本发明是一种光学读出红外传感器,包括固定在支撑梁上的微梁单元,微梁单元中包含热变形机构和吸热反光板,热变形机构形成折转式分布;其特征在于:热变形机构为两层,由上层和下层连续回折构成;上层的初级与吸热反光板连接、下层的末级与支撑梁连接;上...
具有硅衬底的氧化锌薄膜及制备方法技术
本发明涉及半导体薄膜材料,特别涉及宽禁带半导体材料。它包括衬底、过渡层和ZnO外延层,其过渡层是在Si基片上利用硅烷和丙烷作为反应源生长形成的SiC膜层,该层厚度为0.005-3微米。制备方法包括清洗Si基片、制备SiC过渡层及ZnO薄...
光伏太阳能热泵多功能一体化系统技术方案
光伏太阳能热泵多功能一体化系统,主要包括压缩机、水冷冷凝器、风冷冷凝器、节流元件、PV/T蒸发器、风冷蒸发器和光伏控制系统,PV/T蒸发器把接收到的太阳辐射一部分直接转化成电能,一部分以热能的形式被制冷剂工质所吸收,还有一部分散失在空气...
一种压电厚膜驱动的微变形镜及其制备方法技术
本发明属于微变形镜及其加工制备领域,具体涉及一种基于压电膜驱动的微变形镜及其制备方法。该微变形镜包括由致动单元组成的微致动器阵列和镜面,其微致动器阵列是中心对称的正六边形结构,由单晶硅膜片构成的镜面通过光敏高聚物凸台与上电极连接。其制备...
自然通风型太阳能光伏窗制造技术
自然通风型太阳能光伏窗,包括:光伏电池的玻璃板块,Low-E玻璃板块,四个通风百叶,用于室内照明灯组成;光伏玻璃板块与Low-E玻璃板块平行安装;两个通风百叶位于Low-E玻璃板块的上下端,另两个通风百叶位于光伏玻璃板块的上下端。本发明...
一种低场超大磁致电阻锰氧化物外延膜及其制备方法技术
一种低场超大磁致电阻锰氧化物外延膜,包括La↓[0.67]Ca↓[0.33]MnO↓[3]外延膜和NdGaO↓[3]单晶基片,其特征在于:在边长为3-5mm,厚度为0.3-0.5mm的(001)取向NdGaO↓[3]单晶基片上是一层厚度...
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