本发明公开了一种基于气相TMAH的硅刻蚀系统，包括：控制系统、传送系统、刻蚀系统和水冷系统；其中，水冷系统用于冷凝TMAH气体；刻蚀系统用于产生TMAH气体以及输送刻蚀气体至刻蚀腔体刻蚀硅片，刻蚀硅片时刻蚀腔内使用的温度为高于TMAH沸...

本发明属于球面雕刻的技术领域，具体涉及一种球面并联机构及球面雕刻机，解决了现有球面雕刻机存在的问题。球面并联机构包括对称设置的同形的顶端铰接的圆弧杆Ⅰ和圆弧杆Ⅱ，圆弧杆Ⅰ和圆弧杆Ⅱ上分别设置有滑块Ⅰ和滑块Ⅱ并分别形成滑动副，滑块Ⅰ和滑块...

一种变截面长轴外圆超声珩磨装置，包括箱体，箱体内固定安装超声波发生器，箱体顶面一侧上部设有浮动机构，浮动机构与箱体顶面之间通过支架安装，浮动机构上安装有横向的轴，轴的右端设有换能器套筒，换能器套筒的右端开口，换能器套筒的左端面与轴的右端...

本发明公开了一种大型带凸耳镁合金构件成形模具，它包含凸模组件、下模具组件和凹模组件以及整体的顶出联动装置；凸模组件包含与压力机的滑块连接的上模板、固定冲头的固定板以及与上模板相连的冲头；凹模组件包含不规则非轴对称凹模以及处于不规则非轴对...

一种管道超声清洗装置，包括圆环，圆环外周设有四个四分之一圆型的圆盘，圆盘上固定安装超声振子、换能器，圆盘外周通过弯曲杆固定连接洗刷座，洗刷座能与管道内壁接触配合，圆环内壁的四个等分点分别固定安装套管，圆环四个等分点分别开设第一通孔，第一...

一种可适应多规格浅盘型纸盒插舌包装机器人，涉及纸盒包装机械，解决现有浅盘型纸盒包装机体积较大，纸盒包装机器人缺乏通用性的技术问题。本实用新型的包装适应调整装置与底座支撑装置连接，纸盒侧边体板包装装置固定在包装适应调整装置的滑块上，纸盒插...

一种带有弹性梁触点的射频MEMS开关，主要结构由衬底、微波传输线、驱动电极、下电极、固定锚点、上电极、释放孔、空气桥、引线组成，微波传输线、驱动电极和引线设置在衬底上，驱动电极位于上电极的下方，上电极为直板型结构，上电极通过固定锚点固定...

一种直板型单刀单掷开关单片集成衰减器，该结构主要由衬底、第一衰减开关、第二衰减开关、第一短路开关、第二短路开关、微波传输线CPW、衰减模块、引线和空气桥组成，衬底的上表面设有开关、微波传输线CPW、衰减片和引线，微波传输线CPW的T型结...

一种直板型实用化射频MEMS开关，主要结构由衬底、微波传输线、驱动电极、下电极、触点、上电极、固定锚点、空气桥、释放孔组成，微波传输线、驱动电极和下电极设置在衬底上，驱动电极位于上电极的下方，上电极为直板型结构，在上电极开孔，形成释放孔...

一种石墨烯风速风向传感器，主要结构由氮化硼/石墨烯/氮化硼纳米薄膜阵列、加热电阻、引线柱、基片、玻璃基座、封装外壳组成，检测由基片、纳米薄膜、加热电阻组成，基片下侧布置有纳米薄膜阵列，纳米薄膜由上下两层氮化硼与夹在中间的石墨烯组成，纳米...

一种片内温度补偿石墨烯压力传感器，主要结构由力敏薄膜、温敏薄膜、互连电极、基片、密封环、封装外壳、基板、陶瓷基座、引线柱组成。力敏薄膜和温敏薄膜均由复合纳米薄膜、电极组成，布置于基片下侧，处于同一温区，基片上部刻蚀有一个凹型结构，基板在...

本发明提供一种新型可控高速靶试验装置，包括轮毂型靶架、双轴承中心轴、外挂靶板、变速器、驱动电机、光电测速装置、毁伤元击发装置及弹靶交汇控制装置；所述驱动电机连接变速器，变速器通过双轴承中心轴连接轮毂型靶架，轮毂型靶架上固定外挂靶板，轮毂...

本实用新型提出一种化学实验工作台，包括实验台、仪器柜及清洗槽，所述实验台上安装有仪器架，所述实验台的台面设有操作区域，所述操作区域设有可升降操作台。根据本实用新型提供的一种化学实验工作台，在操作区域设有可升降操作台，学生或老师根据需要可...

一种十字型的单刀三掷开关，主要结构由衬底、微波传输线、驱动电极、上电极、下电极、固定锚点和空气桥组成，微波传输线和驱动电极设置在衬底上，上电极为T型直板型结构，下电极采用带弹性梁的单触点、双触点、三触点，从力学方面讲，可以减小上电极因静...

本发明提供了一种可维修抗高g值加速度撞击的遥测记录器，为多层套筒结构，从外至内依次为外层、一层以上的吸能护罩层、一层以上的防形变层以及存储层，上述各层均由筒体和封盖组成，各封盖均设有通孔；最外层的吸能护罩层的外壁环套有采编记录器，所述存...

本发明属于温度传感器技术领域，为解决现有温度传感器无法准确测量超高温环境下的温度参数的技术问题，提供了一种超高温无源薄膜温度传感器及其制作方法，包括介质基底和平面螺旋电感，平面螺旋电感位于介质基底的一侧，平面螺旋电感存在寄生电容，平面螺...

一种隧道磁阻非谐振式三轴MEMS陀螺，主要结构由键合基板、支撑框架、敏感质量块、检测梁、连接块、检测磁体、隧道磁阻元件、信号线组成，在支撑框架上设置敏感质量块、检测组合梁，在敏感质量块上设置检测磁体，检测组合梁由检测梁、连接块组成，隧道...

本实用新型涉及家庭电路安全领域。一种安全自动断电系统，在门框上对应门锁紧锁舌的头部安装有压力开关，压力开关、第一电磁开关线圈、时间继电器、直流电源构成一个串联回路，插板与第一电磁开关串联后连接在家庭供电电源上，插板用于给炊具、电视、电灯...

本发明提供了一种检测混凝土超灌的方法，采用机械及电子手段相互配合测量，结果更加准确；根据所确定的测量高度组装检测超灌装置；将阳极电阻抗检测探头和阴极电阻抗检测探头分别安装在支撑杆件下端面上，进行混凝土灌浆，待流态混凝土到达阳极电阻抗检测...

本发明涉及吸水保水型缓控释化肥领域，本发明公开了一种纤维素基吸水保水型生物降解多营养元素高分子缓控释肥的制备方法。具体为：使甲醛和尿素在一定温度下反应得到羟甲基脲溶液；向另一反应器中加入计算量的丙烯酸、丙烯酰胺单体和纤维素，并加入一定量...