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云浮荣发科技有限公司专利技术
云浮荣发科技有限公司共有1项专利
一种薄膜铂电阻传感器及其制备方法和应用技术
本发明公开了一种薄膜铂电阻传感器及其制备方法和应用,涉及传感器技术领域。本发明的薄膜铂电阻传感器具有依次层叠设置的基底层、铂金属层、保护层;所述基底层设置有两个盲槽;所述盲槽内放置有引线;所述引线上方以及所述盲槽表面设置有电极;所述引线...
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