等离子体反应器容器（100）包括真空腔室（30）；在所述真空腔室（30）中的第一电极（2）；在所述真空腔室（30）中、与所述第一电极（2）相对并且与所述第一电极（2）间隔的第二电极（8）；电连接至所述第一或第二电极的其中之一的电源（33...