本实用新型公开了一种洁净室及用于防治传递区交叉污染的传递箱，包括箱体，箱体的两端各设有一传递门，其中一端的传递门设于高压传递区，其中另一端的传递门设于低压传递区；所述箱体的侧面设有至少一个正压结构，所述正压结构的一端与所述箱体的内部连通...

本实用新型公开了一种空调箱及其空气分散装置，所述空调箱具有出风口，所述出风口处设有空气分散装置，所述空气分散装置包括第一冲孔板、第二冲孔板；沿空调箱的出风方向，在所述出风口前方依次设置所述第一冲孔板和第二冲孔板；所述出风口和第一冲孔板的...

本实用新型涉及一种新型集成多功能洁净室龙骨库板，包括天轨、地轨、墙体、库板和转动部件，所述墙体和库板位于所述天轨和地轨之间，所述墙体和库板上均设置有龙骨，所述墙体包括外框横立料，所述外框横立料上设置有凹槽，所述凹槽与龙骨之间通过连接件连...

本实用新型涉及一种天花板的安装结构，包括龙骨框架，所述龙骨框架上设置有安装槽、连接件接头、内六角螺丝、龙骨固定装置和第一气密条安装槽，所述龙骨框架的下端连接有盲板，所述盲板上设置有第二气密条安装槽；所述盲板还包括盲板本体、第一折边、第二...

本实用新型公开了一种利于回风的洁净室猫道，包括若干顺次连接的猫道单元，猫道单元包括：四个矩形钢板的长边依次紧挨着并排布置形成矩形状的猫道单元，第一、二钢板之间及第三、四钢板之间通过第一、二铰链连接，第一、三钢板的左侧外端部分别向下设有多...

本实用新型公开了一种洁净室猫道，包括若干顺次连接的猫道单元，所述猫道单元包括：四个矩形钢板顺次并排布置形成矩形状猫道单元，第一、二钢板之间及第三、第四钢板之间通过第一、二铰链连接，第一、三钢板的左侧外端部分别向下设有多个第一、三连接件，...

本实用新型公开了一种利于洁净室回风的猫道，包括若干顺次连接的猫道单元，猫道单元包括第一钢板、第二钢板、第一导轨、第二导轨、第一长轴、第二长轴，第一和第二钢板均为矩形且二者通过铰链连接，第一与第二导轨平行分布于猫道单元两侧，第一钢板外端部...

本实用新型公开了一种用于洁净室的猫道，包括若干顺次连接的猫道单元，猫道单元包括第一钢板、第二钢板、第一导轨、第二导轨、第一长轴、第二长轴和连杆扶手，第一和第二钢板均为矩形且二者通过铰链连接，第一与第二导轨平行分布于猫道单元两侧，第一钢板...

本发明公开了一种基于半导体生产线中不良产品的污染源查找方法，包括如下步骤：(1)先判断该不良原因是不良品相关联的机台造成的还是环境造成的；(2)确定污染物的物种；(3)排查待监测的洁净室空间内的机台，排除不涉及的污染物物种的机台；(4)...

本发明公开了一种基于半导体生产线中不良产品的污染源查找方法，包括如下步骤：(1)先判断该不良原因是不良品相关联的机台造成的还是环境造成的，若是后者，则进行下一步；(2)确定污染物的物种；(3)排查待监测的洁净室空间内的机台，排除不涉及的...

本发明公开了一种基于AMC在线监测系统的污染源查找方法：(1)当AMC在线监测系统的某一采样点测出异常值时，先确定污染物的物种；(2)排查待监测的洁净室空间内的污染物源头，排除不会产生步骤(1)涉及的污染物物种的污染物源头；(3)根据气...

本实用新型公开了一种用于洁净室的支撑基座，包括至少1个支撑柱、以及架设于所述支撑柱上的支撑板；支撑板包括上下两层，上层为钢筋混凝土层，下层包括至少一层支撑结构层；所述支撑结构层由交错设置的上层钢管组层和下层钢管组层构成，所述上层钢管组层...

本实用新型公开了一种用于离子交换树脂的干燥系统，包括干燥罐、第一级空气干燥系统和第二级空气干燥系统；所述干燥罐内从上至下依次设有第一级干燥流化床装置和第二级干燥流化床装置；所述第一级空气干燥系统的送风口与所述第一级干燥流化床装置下方的进...

本实用新型公开了一种洁净室系统，所述洁净空间从上到下包括架构空间和洁净空间，架构空间和洁净空间之间设有天花板，所述架构空间和洁净空间的天花板为天花库板结构；天花库板结构上设有至少1个进气口和至少1个出气口，所述进气口的上方设有风机，所述...

本实用新型公开了一种用于空调箱的风量测定装置，所述空调箱内设有正立式的离心式风机，离心式风机的出风口位于其转子轴心线的上方，包括全压测压点、静压测压点，以及连接所述全压测压点和静压测压点的压差传感器。本实用新型完全避免了采用昂贵的皮托管...

本实用新型公开了一种化学过滤器，包括框架和过滤单元，还包括检测机构，所述检测机构包括由腐蚀试片A、腐蚀试片B、电阻R

本发明公开了一种用于洁净室的支撑基座，包括至少1个支撑柱、以及架设于所述支撑柱上的支撑板；支撑板包括上下两层，上层为钢筋混凝土层，下层包括至少一层支撑结构层；所述支撑结构层由交错设置的上层钢管组层和下层钢管组层构成，所述上层钢管组层和下...

本实用新型公开了一种新型推拉平开联动机构，包括外框和开闭体，外框的包括上边框、下边框以及侧边框，上边框处设有第一导向配合部，下边框处设有第二导向配合部，侧边框处设有第一转动配合部；开闭体包括上边缘、下边缘以及侧边缘，上边缘处设有可升降的...

本实用新型公开了一种新型推拉平开窗，包括一外框和两窗扇，外框包括上边框、下边框以及两侧边框，上边框处设有前后布置的两第一导向配合部，下边框处设有前后布置的两第二导向配合部，侧边框处设有第一转动配合部；窗扇包括上边缘、下边缘以及两侧边缘，...

本实用新型公开了一种机电设备用抗震支撑装置，包括支撑底座，所述支撑底座的顶部四角外壁均开设有第一凹槽，且四个第一凹槽的内壁均固定安装有套管，套管的内壁固定安装有第二弹簧，第二弹簧的顶部外壁固定安装有插柱，四个所述插柱分别插接于四个套管的...