一种洁净室系统技术方案

本实用新型专利技术公开了一种洁净室系统，所述洁净空间从上到下包括架构空间和洁净空间，架构空间和洁净空间之间设有天花板，所述架构空间和洁净空间的天花板为天花库板结构；天花库板结构上设有至少1个进气口和至少1个出气口，所述进气口的上方设有风机，所述出气口处密封设有高效过滤器，由风机从进气口抽出的气流经过所述高效过滤器过滤后回到洁净空间内。通过采用天花库板结构，避免了现有技术中需要采用大量的钢铁龙骨而存着的施工难、成本高等问题，大大节约了洁净室的成本，因此可以用于一些低成本的场合和低端市场。

【技术实现步骤摘要】
一种洁净室系统
本技术涉及一种洁净室系统，主要用于半导体的生产场合。
技术介绍
洁净室(CleanRoom)，亦称无尘车间、无尘室或清净室。洁净室的主要功能为室内污染控制，没有洁净室，污染敏感零件不可能批量生产。在FED-STD-2里面，洁净室被定义为具备空气过滤、分配、优化、构造材料和装置的房间，其中特定的规则的操作程序以控制空气悬浮微粒浓度，从而达到适当的微粒洁净度级别。洁净程度和控制污染的持续稳定性，是检验洁净室质量的核心标准，该标准根据区域环境、净化程度等因素，分为若干等级，常用的有国际标准和国内区域行业标准。现有技术中，通常在洁净室中安装风机过滤机组(英文全称为FanFilterUnit，简称FFU)来进行空气过滤。目前，FFU广泛应用于洁净室、洁净工作台、洁净生产线、组装式洁净室和局部百级等应用场合。它可以为不同尺寸大小，不同洁净度等级的洁净室、微环境提供高质量的洁净空气。现有的风机过滤机组适用于在各种环境中获得高级别的洁净环境；在新建洁净室、洁净厂房式改造翻新中，即可提高洁净度级别，降低噪音和振动，也可大大降低造价，安装维本文档来自技高网...

【技术保护点】
1.一种洁净室系统，所述洁净室从上到下包括架构空间和洁净空间，架构空间和洁净空间之间设有天花板，其特征在于，/n所述架构空间和洁净空间的天花板为天花库板结构；天花库板结构上设有至少1个进气口和至少1个出气口，所述进气口的上方设有风机，所述出气口处密封设有高效过滤器，由风机从进气口抽出的气流经过所述高效过滤器过滤后回到洁净空间内。/n

【技术特征摘要】
1.一种洁净室系统，所述洁净室从上到下包括架构空间和洁净空间，架构空间和洁净空间之间设有天花板，其特征在于，
所述架构空间和洁净空间的天花板为天花库板结构；天花库板结构上设有至少1个进气口和至少1个出气口，所述进气口的上方设有风机，所述出气口处密封设有高效过滤器，由风机从进气口抽出的气流经过所述高效过滤器过滤后回到洁净空间内。


2.如权利要求1所述的洁净室系统，其特征在于，所述进气口的上方密封设有风箱，风箱内设有风机。


3.如权利要求2所述的洁净室系统，其特征在于，所述风箱的侧面设有与风机配合的出风口，出风口处设有干盘管。


4.如权利要求2所述的洁净室系统，其特征在于，所述风机为叶轮风机...

【专利技术属性】
技术研发人员：杨政谕，
申请(专利权)人：亚翔系统集成科技苏州股份有限公司，
类型：新型
国别省市：江苏;32