本实用新型的电弧等离子体炬用引燃气体分配环，具有上环体、中环体和下环体；所述上环体的上表面呈具有凹凸结构的异形面，能够与绝缘套的下端面匹配，所述下环体的下表面具有与其外部阳极匹配压紧的圆锥面；所述中环体上绕轴均匀开设有若干切向孔，所述切...

本发明的电弧等离子体炬用引燃气体分配环，具有上环体、中环体和下环体；所述上环体的上表面呈具有凹凸结构的异形面，能够与绝缘套的下端面匹配，所述下环体的下表面具有与其外部阳极匹配压紧的圆锥面；所述中环体上绕轴均匀开设有若干切向孔，所述切向孔...

本发明提供一种多用途化学气相沉积装置，顶部为等离子体源，装置内空腔中部设置换热器，所述换热器将装置内部腔体分隔为上部的沉积反应室和下部的气体收集室两部分；所述换热器设有能够使所述沉积反应室和气体收集室连通的通孔；所述沉积反应室内设有沉积...