本发明公开了一种硅片上料输送装置，料框输送模块用于将料框输送至分片模块，分片模块包括喷水部和立式输送部，喷水部用于对料框内的硅片进行喷水分片，立式输送部用于将完成分片后的硅片逐一地以立式姿态向上输送，翻转输送模块用于接收由立式输送部输送...

本发明公开了一种硅片生产线，在切割工位上，切割后的硅片连同晶托一起放入料框中，料框由转运小车转运至脱胶工位；脱胶工位上将晶托与硅片脱离；料框水平输送工位上设有料框输送模块，用于将料框水平输送至分片翻转工位；分片翻转工位上设有分片模块和翻...

本发明公开了一种硅片料框，用于盛装转运硅片单元，硅片单元包括晶托和粘贴在晶托上待分离的多片硅片，多片硅片划分为多个硅片组，料框的框架上设有夹紧组件，夹紧组件包括多个沿盛装空间的长度方向依次布置的夹紧部，多个夹紧部与多个硅片组一一对应，以...

本发明公开了一种硅片转运装置，用于转运硅片单元，硅片单元包括晶托和硅片，硅片划分为多个硅片组，转运装置包括料框和转运小车，料框包括夹紧组件和解锁触发部，夹紧组件包括活动板，活动板上设置多个间隔布置的夹紧部，多个夹紧部与多个硅片组一一对应...

本实用新型公开了一种硅片花篮升降与切换机构，包括：底座；旋转切换组件，转动设于底座的上方，其包括立柱和旋转部，旋转部用于驱动立柱在竖直方向上旋转；至少两组升降组件，间隔固设于立柱的侧部，其包括花篮放置架和升降部，花篮放置架用于放置硅片花...