本技术公开了一种用于高真空镀膜设备的真空度自动调节系统，包括：真空腔、真空自动调节阀、高真空插板阀和高真空分子泵，所述高真空分子泵与高真空插板阀固定，所述高真空插板阀与真空自动调节阀通过真空法兰固定，所述真空自动调节阀与真空腔连接；流动...

本技术公开了镀膜设备技术领域内的一种用于高真空镀膜设备的观察窗磁吸挡板结构，其安装在高真空镀膜设备的门板上，包括：挡板座，安装门板上，用以安装挡板轴；挡板轴，安装在挡板座内部的空腔内，用以安装挡板并带动其转动，其可转动的安装在所述空降内...

本技术公开了镀膜设备技术领域内的一种用于高真空镀膜设备的挡片同步升降结构，包括：基片台升降组件，安装在真空腔上，用以驱动基片台升降，包括伸入真空腔设置的基片台以及控制基片台升降的基片台驱动组件；挡片升降组件，安装在真空腔上，用于驱动挡片...