【技术实现步骤摘要】
本技术属于高真空镀膜，尤其涉及一种用于高真空镀膜设备的真空度自动调节系统。
技术介绍
1、真空镀膜设备是一种利用真空蒸发技术、溅射技术等方法，在物体表面形成薄膜的装置，真空镀膜设备在运行时，对真空度要求很高，且不同工艺需求不同的真空度，所以需要进行自动调整。
2、然而现有技术存在一些问题：现有技术是通过真空泵和调整补气量来实现的，真空度不能精确调整，导致镀膜效果不佳，存在一定的局限性，因此我们提出一种用于高真空镀膜设备的真空度自动调节系统。
技术实现思路
1、针对现有技术存在的问题，本技术的目的是提供一种用于高真空镀膜设备的真空度自动调节系统，通过真空自动调节阀的设计，调整调节阀主体内部调节挡板的开合角度，来减少高真空分子泵的抽气速度，实现真空度的精确控制，同时通过流动微调组件的设计，可以辅助真空自动调节阀，进一步的提高真空度的精准控制。
2、本技术是这样实现的，一种用于高真空镀膜设备的真空度自动调节系统，包括：
3、真空腔、真空自动调节阀、高真空插板阀...
【技术保护点】
1.一种用于高真空镀膜设备的真空度自动调节系统，其特征在于：包括：
2.根据权利要求1所述的一种用于高真空镀膜设备的真空度自动调节系统，其特征在于：所述真空自动调节阀（2）包括调节阀主体（21），所述调节阀主体（21）上表面设置有调节电机（22），所述调节电机（22）输出轴的一端固定安装有调节主轴（24），所述调节主轴（24）通过螺钉可拆卸连接有调节挡板（25），且调节挡板（25）通过调节主轴（24）转动安装于调节阀主体（21）内部，所述调节主轴（24）上方设置有两组传感器（23），多组所述流动部件和驱动部件（52）均设置于调节挡板（25）一侧。
<...【技术特征摘要】
1.一种用于高真空镀膜设备的真空度自动调节系统，其特征在于：包括：
2.根据权利要求1所述的一种用于高真空镀膜设备的真空度自动调节系统，其特征在于：所述真空自动调节阀（2）包括调节阀主体（21），所述调节阀主体（21）上表面设置有调节电机（22），所述调节电机（22）输出轴的一端固定安装有调节主轴（24），所述调节主轴（24）通过螺钉可拆卸连接有调节挡板（25），且调节挡板（25）通过调节主轴（24）转动安装于调节阀主体（21）内部，所述调节主轴（24）上方设置有两组传感器（23），多组所述流动部件和驱动部件（52）均设置于调节挡板（25）一侧。
3.根据权利要求2所述的一种用于高真空镀膜设备的真空度自动调节系统，其特征在于：所述流动部件包括贴合板（51）和多组调节板（55），所述贴合板（51）固定安装于调节挡板（25）一侧，且多组调节板（55）呈等距设置，多组所述调节板（55）均与贴合板（51）转动连接，多组所述调节板（55）的同一端均呈倾斜设置。
4.根据权利要求3所述的一种用于高真空镀膜设备的真空度自动调节系统，其特征在于：多组所述调节板（55）的同一侧的中部均固定安装有第三齿轮（57），所述贴合板（51）一侧开设有多组转动槽，所述第三齿轮（57）转动安装于转动槽内部，所述贴合板（51）内部开设有联动槽，且多组转动槽均与联动槽内部连通，多组所述第三齿轮（57）上表面均啮合连接有第三齿板（56），且第三齿板（56）滑动安装于联动槽内部，相邻的两组第三齿板（56）之间固定安装有连接杆（58），且其中一组第三齿板（56）与驱动部件（52）传动连接。
5.根据权利要求4所述的一种用于高真空镀膜设备的真空度自动调节系统，其特征在于：所述驱动部件（52）包括多组安装壳（5203），所述安装壳（5203）设置于对称设置的两组贴合板（51...
【专利技术属性】
技术研发人员：戚增欣，
申请(专利权)人：芯纳扬州微电子设备有限公司，
类型：新型
国别省市：
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