通过配置粘接部件（２）使得每单位面积的粘接力向伴随剥离装置（３）的作动的工件（Ａ）相对粘接部件（２）的剥离进行方向增加，从而伴随剥离装置（３）的作动以较小的剥离力从粘接部件（２）开始剥离工件（Ａ），其剥离顺利进行，并向与该剥离进行方向不...

一种准分子ＵＶ光反应装置，自反应性气体供应机构（１）将反应性气体（Ｃ）仅集中供应至被照射体（Ａ）上的活性区域（Ａ１），从而在低温环境气氛下促进准分子ＵＶ与反应性气体（Ｃ）的光化学反应，由于对该化学反应不活泼的区域（Ａ２）不供应反应性气体...

本发明的工件移送方法的特征在于，用附着部件３使静电吸盘２附着到保持板１上；用附着的静电吸盘２吸附保持工件Ａ，同时用隔离部件４将静电吸盘２和工件Ａ作为一体地从保持板１隔离，据此工件Ａ不变为自由状态，所以可以不受重力等的影响地被输送到释放位...

提供一种平面板用基板之粘合装置，其不须使用ＸＹθ台即可在真空中从外部使两基板顺畅进行ＸＹθ移动而完成对位。以移动密封机构（４）使两保持板（１、２）的周缘部（１ａ、２ａ）间维持密闭状态并使密闭空间（Ｓ）内维持真空状态下，用配设于密闭空间（...

本发明涉及一种不使用ＸＹθ平台而精密地对准位置的基板位置对准装置。本发明的基板位置对准装置中，作为在２个基板（Ａ，Ｂ）相互维持平行的状态下，将上下保持板（１，２）中的一个相对于另一个向ＸＹθ方向自由地支撑调整移动的机构，从上下保持板（１...

一种粘结卡盘装置，通过简单结构的气动机构确实地装卸基板。在保持板（１）的基板侧设有可动膜（３）和粘结部件（４），该可动膜（３）在开设于该基板侧面（１ａ）的开口部（１ｂ）内可向与该基板侧面（１ａ）交叉的方向变形，该粘结构部件（４）与基板（...

本发明提供一种基板保持结构，即使作为弹性材料使用橡胶时也能够达到所要求的保持面侧的平面度。在保持面（１）上分散地凹入设置多个空隙部（２），将这些空隙部（２）的开口分别用固定板（３）覆盖，在各固定板（３）的大致中央，朝向基板（Ｄ）突出而安...

本发明提供一种显示装置的制造方法，此方法，在由大气压力而形成间隙时，以节省空间来确保减压面积，并提高主密封件的耐力。在贴合两基板（１、５）时，由于通过压力调整阀机构（７），间隙形成空间（６）被真空减压，因此，两基板（１、５）在大气压被压...

一种粘结卡盘装置，以简单的结构切实地装卸基板，在保持板（１）的基板侧，设有粘结部件（３）和变形膜（４），该粘结部件（３）与基板（Ａ）的反面（Ａ１）相对地粘结保持，该变形膜（４）可向与该基板侧面（１ａ）交叉的方向出入变形，通过该变形膜（４...