本发明提供一种贴合设备的制造方法及贴合设备的制造装置。能够与各形状无关地以所希望的厚度可靠地贴合第一工件及第二工件。该制造方法隔着粘结剂重叠对置的第一工件与第二工件，通过粘结剂固化来贴合第一工件及第二工件，包括：前工序，沿第一工件的第一...

本发明提供一种贴合设备的制造方法，其控制以第1基板及第2基板夹住的粘结剂的外缘部的伸展，从而以粘结剂涂满整个显示区域。在第1基板(1)或第2基板(2)中的任一个或双方，以配置于显示区域(D)内的方式供给粘结剂(3)之后，以粘度保持粘结性...

本发明提供一种在变压室或贯穿孔与交接部件之间不使用密封部件就能够使交接部件无接触且无限制地移动的密封结构。本发明中，向变压室(1)搬入工件时，通过控制部(7)使闭锁部件(6)进行打开移动，从而使变压室(1)的贯穿孔(12)开口，由此交接...

本发明提供一种以非接触状态无径向振摆地驱动可动件的驱动器及粘附卡盘装置。本发明的驱动器中，向内外以同心状配置具有蛇纹部(11a、11a′)的多个金属波纹管(11、11′)作为伸缩部(10)，通过使金属波纹管(11、11′)伸缩变形，从而...

本发明提供一种工件粘附卡盘装置及工件贴合机，其在大气气氛下，轻松且可靠地从剥离部剥离真空中被粘附剥离的板状工件。本发明中，相对于在粘附部(1)被粘附保持的板状工件(W)，在真空气氛下将剥离部(2)弹性突出变形，而使按压面(2a)与板状工...

本发明提供一种贴合器件的制造装置及制造方法。一对基板在减压至第二真空度的变压室内重叠后，使一方吸盘对一方基板的吸引压力从第一真空度向第二真空度上升，从而一方吸盘的吸引压力和变压室的内压成为均等的第二真空度，所以来自一方吸盘的吸盘面的压力...

本发明提供一种贴合设备的制造装置及贴合设备的制造方法。即使第一基板在真空环境中膨胀，也可压扁膨胀部而与第二基板的相对位置不偏移地贴合。第一基板(1)保持于腔室(14)内的第一保持部件(11)且第二基板(2)保持于第二保持部件(12)后，...

本发明提供一种贴合分离方法及分离装置，其通过真空破坏从支承基板毫不费劲地、轻松地分离薄板基板。在大气压气氛中，在贴合基板(4)的密封件(3)的至少一部分插入贯穿部件来开设出通孔，由此，在此之前密封件(3)的内侧被气密保持成真空状态的真空...

本发明提供一种将基板容纳在输送托盘进行输送且无需将其移载就可以使基板彼此粘合的基板输送装置及基板装配线。本发明的基板输送装置，在内部板(1a)上保持了第一基板(W1)或第二基板(W2)中的任意一方基板的输送托盘(1)被搬入到基板装配线的...

本发明提供一种工件贴合方法及工件贴合装置，其一边抑制工件的变形和粘结剂的固化收缩一边使粘结剂整体正式固化。本发明的工件贴合装置使被夹在重叠的工件（1、2）之间的粘结剂（3）的一部分局部临时固化而工件（1、2）被临时固定。之后，将粘结剂（...

光定向照射装置，具备：偏振单元（3），其具备沿邻接方向邻接而配置的多个单位起偏器（31a～f）；扫描单元，其通过使工作台（4）或偏振光照射单元（2）的至少一方移动，从而相对于载置于所述工作台（4）的基板（9），沿既定的扫描方向扫描来自所...

本发明提供一种流体涂布装置，其能够相对于第一分割头及第二分割头轻松地装卸垫片且高精度地进行对位而安装。本发明的流体涂布装置在第一分割头（1）和第二分割头（2）分离移动以便插入空间（S）比垫片（3）的厚度更宽的状态下，朝向插入空间（S）插...

本发明所涉及的光定向照射装置(1)，其特征在于具备：偏振单元(3)，其具备沿邻接方向邻接而配置的多个单位起偏器(31)；以及扫描单元，其通过使工作台(4)或偏振光照射单元(2)的至少一方移动，从而相对于载置于工作台(4)的基板(9)，使...

本发明的课题在于，将薄板状工件毫无破损地粘附保持来校正薄板状工件的自重挠曲。在被支承部件（1）支承一部分的薄板状工件（W）上，向与薄板状工件（W）交叉的方向靠近移动粘附构件（2）直到其粘附面（2a）的一部分相对于因其自重向下方挠曲变形的...

本发明提供一种贴合器件的制造方法，该贴合器件将粘结剂的外部形状保持为固化时的形状的同时使基板彼此粘合。本发明的贴合器件的制造方法中，在第1基板（1）或第2基板（2）的任一方的内面以与固化时相同的形状涂布粘结剂（3）之后，仅局部性地半固化...

本发明提供一种工作粘附卡盘装置及工件贴合机，其容易构成粘附部件与剥离部件的单元化的同时，提高剥离性能。本发明中，将剥离部件(2)的安装凸部(2c)以无法向变形部(2a)的变形方向移动的方式夹入支承部件(3)的侧面(3b)与环状部件(4)...

本发明提供一种显示面板的制造方法及其制造系统，其在完全无气泡的状态下且以均等的间隙粘接电光面板与基板。首先，通过电光面板(1)和基板(2)的对置面(1a、2a)彼此在真空气氛中夹着液状粘接剂(3)向Z方向重叠，使液状粘接剂(3)沿着对置...

一种基板重合密封方法，是通过静电吸附机构（５ｂ）可自由拆装地将上侧基板（Ａ）保持在上方保持板（１）上，可自由拆装地将与该上侧基板（Ａ）相对的下侧基板（Ｂ）保持在下方保持板（２）上，进行这些上下基板（Ａ、Ｂ）彼此之间的位置对合，在其周围成...

本发明提供一种静电夹盘装置，以简单的处理在短时间内复原为可吸附工件。本发明在与工件（Ｗ）平行的平面内将电极（１）分割成多个区域（１ａ），在这些每个区域（１ａ）分别设置独立的电极图案（１ｂ），同时，在每个区域（１ａ）分别设置向各电极图案（...

一种工件除静电方法及其装置，不论是绝缘体、半导体还是导电体，对由任何物质构成的工件都能够无气流变化且不受设置场所制约地进行除静电。在将工件（Ｗ）从工件保持体（１）的表面（１ｃ）分离的空气中或者规定的低真空中，通过改变在该工件保持体（１）...