本说明书实施例提供一种药液阀高温测试装置及测试方法，装置包括：加热循环机构、压力调节机构、温度测量机构和药液阀，加热循环机构、压力调节机构、温度测量机构和药液阀之间通过管道组件相连接；加热循环机构用于对介质进行加热；压力调节机构设置于加...

本说明书实施例提供一种真空控压装置，其结构包括阀体、蝶板和阀杆，蝶板安装于阀杆上，置于阀体内部，阀杆上部和下部分别穿过阀体，还包括：蝶板与阀体之间存在着第一间隙，蝶板为可调直径蝶板，以实现对第一间隙的尺寸进行调节；支架，支架安装于阀体上...

本申请提供一种PFA阀体、阀门及制造方法，应用于半导体制造中特种阀门制造的技术领域，其中，本申请在PFA阀体内流过高温超纯液体时，通过在PFA阀体的外壁上开设多个凹腔，PFA阀体的外壁和凹腔同时与PFA阀体所处的散热流体直接接触，增加了...

本申请提供一种流道开闭装置，应用于流道开闭技术领域，其中，包括装置盖、装置本体、螺纹杆件、缓冲圈、锁紧盖以及开闭件；装置本体与流道连通，以流通流体介质；装置盖连通装置本体；螺纹杆件通过螺纹连接的方式上下移动连接装置盖的内壁；开闭件连接螺...

本申请提供一种组合开闭装置及半导体设备，应用于开闭装置技术领域，该组合开闭装置用于控制流体介质的流通或阻隔；包括多个开闭体；开闭体上均设置有流体通道口，且相邻开闭体之间的流体通道口对应设置；相邻开闭体之间设置有密封件，且密封件围绕相邻开...

本发明公开了一种膜片组件的高分子阀座安装装置，包括：冲压机，其上的冲压杆下端面上开设有冲压槽口；压装夹台，其位于冲压杆下方，压装夹台上压装有膜片组件，膜片组件顶端上开设有安装槽，安装槽内放置有阀座，冲压槽口的内壁面与安装槽的外槽沿压接，...

本说明书实施例提供一种双重密封阀门接口结构，包括：阀体，阀体第一侧设置有阀体接口；连接管，连接管包括一体成型的直管段、扩张段和连接段，连接段至少部分套设于阀体接口上；密封部，密封部包括一体成型的安装段、第一密封段和第二密封段，安装段向靠...

本发明公开了一种特种流控部件寿命测试系统和测试方法，测试系统包括气瓶；第一管路，其一端与气瓶的出气口连接，第一管路上依次连接第一减压阀

本发明公开了一种高分子液体流控部件寿命测试系统，包括：液体介质罐，其出口通过第一管道连接有气液增压泵的入口，气液增压泵的出口连接有第二管道；第三测试管道，其为并联在第二管道上的多个，每个第三测试管道上均安装有第一开关阀

本发明公开了一种应用高分子膜片结构的单向流控部件，包括：阀体，其内部具有进气通道、出气通道和阀芯安装槽，进气通道的第一末端通道口位于阀芯安装槽的槽底面上，出气通道的第二末端通道口位于阀芯安装槽的一侧壁上；阀芯，其固定在阀芯安装槽内部，阀...

本实用新型公开了一种自适应高可靠性蜂窝结构金属密封件，包括：不锈钢圈，不锈钢圈的外周侧壁上开设有环形槽，环形槽的槽底面上均布开设有多个蜂窝孔。该密封件采用不锈钢材质，其强度比较好，不易出现挤压破损的问题，确保了密封性，并且环形槽和蜂窝孔...

本发明公开了一种弹簧外置式的超高纯气体压力调节器，包括：阀体，其底部设有进气通道和出气通道；阀芯组件，其设置在阀体内部，阀芯组件上设有阀腔，阀腔的腔底分别开设有用于连通进气通道和阀腔的阀芯孔以及用于连通阀腔和出气通道的连通孔；升降式阀杆...

本实用新型公开了一种针对气控部件寿命测试的高精度多模安全平台，包括：测试柜，其上设有测试室，测试室的前侧设有密封柜门，密封柜门上设有观察窗，测试室内部固定有进气管、出气管，进气管的进气端与外部的特定气体源连接，进气管另一端和出气管一端连...

本发明公开了一种使用气体测试流控部件Cv值的测试系统和测试方法，包括：气源瓶体；测试管路，测试管路一端与气源瓶体的出气阀连接，测试管路上沿其气体移动方向依次设置有第一温度计、第一过滤减压阀、第一压力表、待测流控部件、第二压力表、流量计、...

本发明公开了一种用于液体汽化器综合性能测试的平台及测试方法，该平台包括：载气罐、液罐、液体汽化器、气体流量控制器、液体流量计、真空泵、真空计、蒸汽流量计、调压阀、温控器、气溶胶监测仪、控制终端，液体汽化器出口的蒸汽管上设有观察窗。该测试...