【技术实现步骤摘要】
本申请涉及半导体制造中特种阀门制造的，具体涉及一种pfa阀体、阀门及制造方法。
技术介绍
1、在半导体制造中，通常需要使用高腐蚀性、高温、有毒害的化学品，需要使用特种阀门进行流量控制，pfa(perfluoroalkoxy，聚四氟乙烯共聚物)是非晶聚合物，具有优异的耐腐蚀性、耐高温性和耐化学性能等优异性能，常常用于制造阀门及其阀门零部件，例如pfa阀门、pfa阀体等。
2、如图1和图2所示，pfa阀门的阀体为pfa阀体，pfa阀体的外侧壁为传统平面。因为pfa阀体的外侧壁由于为传统平面，所以阀体用于散热的表面积较小，而且pfa的传热系数相对较低，导热性差，热传导能力弱等热特性，因而当pfa阀体内用于流通高温超纯液体时(如纯水，氨水，双氧水，盐酸，硫酸，氢氟酸和氟化氢铵等)阀体表面温度得不到及时散发，导致阀体结构积聚较高温度，进而影响pfa阀体的刚性。比如在半导体湿法制程为了要去除硅片表面的有机物，会使用温度在130～150度的spm溶液(硫酸和双氧水的混合物)，在高温操作下热累积在高比热的pfa阀体，长期使用可能造成热变形导致液体泄漏。
3、因此，pfa阀体在连续流通高温超纯液体下，pfa阀体容易因积聚较高温度，发生较大变形，影响了pfa阀体的结构刚性，降低了阀体可靠度。
4、基于此，需要一种新技术方案。
技术实现思路
1、有鉴于此，本说明书实施例提供一种pfa阀体、pfa阀体制造方法及pfa阀。
2、本说明书实施例提供以下技术方案：
3、本说明书实施例提供一种pfa阀体，pfa阀体的内壁用于流通液体；
4、pfa阀体的外壁上开设有多个凹腔，每个所述凹腔的周围设置有至少一个其他所述凹腔，多个所述凹腔用于与pfa阀体所处的散热流体进行接触，以增加pfa阀体的外壁与散热流体的接触面积，以及增强pfa阀体的结构强度。
5、优选的，所述pfa阀体的外壁上的多个凹腔共同构成蜂巢结构。
6、优选的，所述蜂巢结构遍布pfa阀体的外壁设置。
7、优选的，所述凹腔的腔口形状为圆形、椭圆以及多边形中的一种或者任意组合。
8、优选的，所述多边形包括三角形、四边形以及六边形。
9、优选的，所述pfa阀体的外壁上的多个凹腔共同构成阵列结构。
10、本说明书实施例还提供了一种阀门，包括上述实施例任一所述的pfa阀体。
11、本说明书实施例还提供了一种pfa阀体制造方法，用于制造上述实施例任一所述的pfa阀体，包括如下步骤：
12、步骤s1：根据待制造的pfa阀体的结构参数制造模具；
13、步骤s2：将pfa材料注入制造的模具中来注塑pfa阀体。
14、优选的，在所述步骤s2中，控制pfa材料注入的压力和速度，同时控制模具温度。
15、优选的，该方法还包括步骤s3：选择时间和温度冷却固化模具中注塑的pfa阀体。
16、与现有技术相比，本说明书实施例采用的上述至少一个技术方案能够达到的有益效果至少包括：
17、本申请在pfa阀体内流过高温超纯液体时，通过在pfa阀体的外壁上开设多个凹腔，pfa阀体的外壁和凹腔同时与pfa阀体所处的散热流体直接接触，增加了pfa阀体外与散热流体的接触面积，使阀体表面温度可以进一步散发，以此提高了pfa阀体的散热能力，降低了阀体结构的温度积聚，进而降低对pfa阀体刚性的影响，同时每个所述凹腔的周围设置有至少一个其他所述凹腔，相邻凹腔之间形成的腔壁可以增强pfa阀体的结构强度，降低pfa阀体因连续流通高温超纯液体发生变形的概率，提高pfa阀体的可靠性，而且可以降低高温超纯液体发生泄漏的概率。
本文档来自技高网...【技术保护点】
1.一种PFA阀体，其特征在于，所述PFA阀体的内壁用于流通液体；
2.根据权利要求1所述的PFA阀体，其特征在于，所述PFA阀体的外壁上的多个凹腔共同构成蜂巢结构。
3.根据权利要求2所述的PFA阀体，其特征在于，所述蜂巢结构遍布PFA阀体的外壁设置。
4.根据权利要求1所述的PFA阀体，其特征在于，所述凹腔的腔口形状为圆形、椭圆以及多边形中的一种或者任意组合。
5.根据权利要求4所述的PFA阀体，其特征在于，所述多边形包括三角形、四边形以及六边形。
6.根据权利要求1所述的PFA阀体，其特征在于，所述PFA阀体的外壁上的多个凹腔共同构成阵列结构。
7.一种阀门，其特征在于，包括权利要求1-6任一所述的PFA阀体。
8.一种PFA阀体制造方法，其特征在于，用于制造权利要求1-6任一所述的PFA阀体，包括如下步骤：
9.根据权利要求8所述的PFA阀体制造方法，其特征在于，在所述步骤S2中，控制PFA材料注入的压力和速度，同时控制模具温度。
10.根据权利要求8所述的PFA阀
...【技术特征摘要】
1.一种pfa阀体，其特征在于，所述pfa阀体的内壁用于流通液体；
2.根据权利要求1所述的pfa阀体，其特征在于，所述pfa阀体的外壁上的多个凹腔共同构成蜂巢结构。
3.根据权利要求2所述的pfa阀体，其特征在于，所述蜂巢结构遍布pfa阀体的外壁设置。
4.根据权利要求1所述的pfa阀体，其特征在于，所述凹腔的腔口形状为圆形、椭圆以及多边形中的一种或者任意组合。
5.根据权利要求4所述的pfa阀体，其特征在于，所述多边形包括三角形、四边形以及六边形。
6.根据权利要求1所述的p...
【专利技术属性】
技术研发人员：邓建龙，张翠花，宣少杰，
申请(专利权)人：星奇上海半导体有限公司，
类型：发明
国别省市：
还没有人留言评论。发表了对其他浏览者有用的留言会获得科技券。