本技术公开了一种分段式密封件，包括密封环、定位环和外缠绕件。其中，所述密封环的外壁设有内缠绕件；所述定位环套于所述密封环外，且所述定位环的内壁在所述内缠绕件的作用下与所述密封环的外壁具有预设间隔；所述外缠绕件缠绕于所述定位环的外壁，用于...

本申请提供一种用于半导体工艺的流体流量控制部件，通过设置阀座、散热连接部件和执行器，在阀座与执行器之间设置散热连接部件来将高温阀座的热量释放掉，在执行器工作中内部预设结构使下活塞向上移动，带动连接杆向上运动，以使膜片远离汇聚流道，减少由...

本技术提供一种密封压环及减压装置，密封压环包括压环主体，所述压环主体中心处开设有扳手位，所述压环主体的顶部向上延伸形成至少两组止挡块，所述止挡块远离所述压环主体的一侧形成防护面，相邻所述止挡块之间形成流通槽，所述止挡块和所述流通槽与所述...

本申请提供一种活塞衬套，用于气动执行器中引导活塞的运动，包括：活塞衬套本体及在活塞衬套本体上设置的密封圈；活塞衬套本体设置有中空孔；活塞从活塞衬套本体的一端套设于所述中空孔中；活塞衬套本体的另一端与气动执行器接触设置，存在接触面；接触面...

本技术提供一种减压装置，包括阀体、阀杆、膜片焊接件、膜片压座和施力机构，阀体上设置有开设有进口和出口，膜片压座与膜片焊接件相配合，施力机构设置于膜片压座的上方，减压装置还包括缓冲垫和导向圈，缓冲垫设置于施力机构和膜片压座之间，导向圈设置...

本发明公开了一种交替式气体控制装置，包括阀体和气动执行器，阀体内开设有进气通道和多条出气通道，多条出气通道可分别与进气通道连通；气动执行器设有多个且分别固定在阀体的顶端，多个气动执行器分别一一对应控制多条出气通道与进气通道间的开闭。本发...

本申请提供一种液压快插接头紧固装置，应用于半导体制造设备技术领域，本技术采用锥形销、柔性衬套和扭转套的协同配合，实现了紧固过程中对阀体紧固力的均匀分布，防止了局部应力集中引起的变形或损坏；此外，扭转套设有扳手位、轴向槽和轴向筋，不仅便于...

本申请提供一种梯度温控集成温控器及加热控制方法，包括自整定模式、控温模式、斜率控温模式，其中自整定模式用于设置满幅值输出，并适配不同负载，分别测取延时时间和超调量，根据改进型ZN经验法获取相适应的PID参数；其中K<subgt;u...

本发明提供了一种隔膜阀零件的处理方法，属于零件加工领域，具体包括对隔膜阀零件的表面预处理；将涂料、稀释剂和添加剂混合并进行预搅拌直到无淤泥状沉淀得到涂层涂料，再将涂层涂料密封于容器内持续进行电动搅拌；使用喷枪保持适当的喷涂角度和喷涂距离...

本发明涉及半导体零部件测试技术领域，提供了一种用于半导体零部件的小型测试系统及测试方法，阀岛功能检测模块用于验证阀岛在半导体设备中的功能适配性，控温模块用于接收热电偶和热电阻温度信号的输入，计算出各个测点与控温点的温度偏差，输入信号检测...

本发明提供一种减压装置测试系统及测试方法，测试系统包括：进气管，所述进气管的出气端至少连通有一根分气管；若干根测试管，若干根所述测试管均与所述分气管相连通，若干根所述测试管上均依次设置有第一常闭隔膜阀、压力传感器、减压装置和第二常闭隔膜...

本发明提供了一种耐腐蚀流控装置寿命测试系统和测试方法，属于半导体测试领域，具有壳体以及设置在壳体上的测试控制单元，壳体内部设置有相互独立的腐蚀区以及非腐蚀区：腐蚀区内设置有耐腐蚀液体介质储箱以及高分子液体泵；非腐蚀区内包括控制器管路、耐...

本发明公开了一种机械气测元件启断压力值测试系统及方法，包括气体管路、第一隔膜阀、产品测试接口和泵；气体管路一端与泵连接，另一端为盲端，第一隔膜阀设于气体管路盲端，产品测试接口设于泵和第一隔膜阀之间的气体管路上，用于连接机械气测元件产品；...

本发明公开了一种流控部件的寿命测试系统及测试方法，包括：氮气源；控制器；待测阀体，其进气口与氮气源连接，待测阀体上设有用于启闭待测阀体的电磁阀，电磁阀与控制器电连接，用于接收控制器的打开信号，进而驱动待测阀体内部的阀杆上移，进而使待测阀...

本发明公开了一种半导体气体传输组合装置综合测试系统及测试方法。其中系统具有第一通道和第二通道，第一通道和第二通道用于接入待测半导体气体传输组合装置；所述第一通道的另一端通过第一阀门连接5N‑HE气源，通过第二阀门连接9N‑N2气源，以及...

本申请提供一种真空压力系统、参数辨识方法及参数辨识的建模方法，应用于半导体制造技术领域，通过应用质量守恒定律和理想气体状态方程，构建了一个描述腔室内压力随时间变化的数学模型，不仅能够精确预测腔室内的压力变化，而且能够通过参数辨识过程，实...

本发明涉及管路测试技术领域，具体涉及一种针对复杂气体管路调压阀的测试系统和方法，系统包括多个气体管路、供气模块、抽气模块和主控模块；多个气体管路上均设置一个待测件，待测件包括普通和真空两种调压阀；每个调压阀两侧均连接一个气阀且分别连接供...

本发明公开了一种温控结构和装置，所述温控结构包括多个阀结构，温控结构还包括基体、基体输入管道、温控输入管道、温控输出管道和基体输出管道；基体上包括开设于基体上多个阀孔，多个阀孔包括供给阀孔和回流阀孔，供给阀孔的底端面开设有供给阀通道，回...

本申请提供一种冷却式流量计传感器及其使用方法，应用于流量计传感器技术领域，其中，腔体流入口和腔体流出口分别连通设置在密闭腔体的两端；传感器管、介质流通管以及冷却元件位于密闭腔体内；冷却元件对传感器管进行冷却；第一温度感应元件设置在传感器...

本发明公开了一种利用PIV法检测液体汽化器汽化效果的检测方法，包括：将液体汽化器安装在测试系统的管路上；打开第一手动隔膜阀，利用载气罐中的载气去除管道中的空气；通过温控器控制液体汽化器的混合部140℃、汽化部200℃加热；打开液体质量流...